歐姆龍成功事例 | ecvd設備腔體的溫度均衡控制方案
應用介紹
【行業(yè)】pv
【設備】pecvd
【用途】在太陽能電池表面沉積薄膜，提高電池的效率和性能
應用場景
單臺設備分為5個爐管，每個爐管分為6個溫區(qū)，通過串級控制實現(xiàn)對腔體內(nèi)部的控溫。
解決課題
1、關乎鍍膜效率的核心數(shù)據(jù)：升溫和回溫速度較慢，從0度升到目標500度需要40分鐘以上；加入氣體以及硅片回溫到目標溫度需要15分鐘。
2、溫控精度影響鍍膜的均勻度以及電池效率，目前設備只能達到±5℃。
價值提案
核心產(chǎn)品：溫度控制單元 nx-tc
■自帶外部干擾抑制功能，能夠針對可預測的外部干擾預先抑制溫度變化。實現(xiàn)升溫時間（40min→35min）與回溫時間（15min→13min）的縮短。
■啟動時自動調(diào)整pid，有效削減繁瑣調(diào)整的工時。溫控穩(wěn)定（ ±5℃ → ±3℃）
相關產(chǎn)品
nx系列 溫度控制單元 nx-tc
https://www.fa.omron.com.cn/products/family/3699/
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