應(yīng)用介紹

設(shè)備主體機(jī)構(gòu)為龍門雙驅(qū)，龍門長度2m、跨度1m，一共配備12個軸的運動控制，其中7個軸為點到點移動，另外5個軸為脈沖控制，結(jié)構(gòu)設(shè)計分為兩端，每端各有2軸，其中1軸橫跨，同步運動進(jìn)行晶圓搬運。

課題

1、當(dāng)前的控制周期長，無法進(jìn)行高精度的指令運算，導(dǎo)致龍門控制精度難以提升。

2、當(dāng)前系統(tǒng)由多個控制器構(gòu)成，難以實現(xiàn)高度的同步控制。

3、當(dāng)前控制系統(tǒng)僅支持專用語言，其他功能難以實現(xiàn)；且內(nèi)部處理為黑盒，客戶無法自定義。

解決方案

1、高速控制周期實現(xiàn)更高精度的加工

歐姆龍可編程多軸運動控制器ck3m/ck5m系列，通過控制周期25μs / 5軸的超高速伺服周期運算，能夠以超高速的控制周期進(jìn)行順暢的指令運算，實現(xiàn)理想的軌跡。

只要存在高精度的指令，即可通過追蹤指令，實現(xiàn)高精度的運動控制。通過高速接收并補(bǔ)償反饋值，實現(xiàn)更接近指令值的軌跡控制。

2、支持不同接口，實現(xiàn)理想設(shè)備構(gòu)成

輸入接口支持a/b相信號、正弦波信號、串行數(shù)據(jù)i/f，而控制指令接口也支持模擬指令（dac）、基于direct pwm*2的軸控制。該系統(tǒng)可連接高精度的標(biāo)尺、精密的直線電機(jī)、高精度的掃描振鏡等，能自由選擇適合客戶應(yīng)用的設(shè)備構(gòu)成。還能通過各執(zhí)行器之間的高精度同步控制實現(xiàn)高精度的加工。

3、高自由度的開發(fā)實現(xiàn)各種各樣的應(yīng)用

使用pmac專用腳本語言，可對客戶自有的復(fù)雜、高級算法進(jìn)行編程。還支持c語言，可輕松實現(xiàn)非常復(fù)雜的算法和處理控制器內(nèi)的日志文件等普通控制器難以實現(xiàn)的功能。此外，通過定義子程序，不僅可以自定義標(biāo)準(zhǔn)g代碼，還能實現(xiàn)具有客戶專屬功能的g代碼。

內(nèi)部處理為白盒，可在客戶端進(jìn)行自定義加工數(shù)據(jù)坐標(biāo)系和執(zhí)行器機(jī)械坐標(biāo)系的關(guān)系，輕松實現(xiàn)需要復(fù)雜執(zhí)行器機(jī)構(gòu)的應(yīng)用，（例如：機(jī)器人機(jī)構(gòu)和on the fly激光加工等）。

實現(xiàn)價值

1、龍門速度：2m/s

2、定位精度：10μs

3、晶圓搬運同步精度：5μs

客戶的心聲

通過25μs / 5軸的超高速伺服周期運算，實現(xiàn)高精度的指令運算和高精度的指令追蹤，使設(shè)備達(dá)到更高性能，打造核心競爭力。另外，通過支持不同執(zhí)行器 / 標(biāo)尺的接口和控制模式，可以擺脫外圍設(shè)備的限制，靈活應(yīng)對當(dāng)前多供應(yīng)商的設(shè)備構(gòu)成。對于工程師而言，內(nèi)置pmac架構(gòu)可進(jìn)行高自由度的開發(fā)，通過高自由度的軟件結(jié)構(gòu)輕松構(gòu)建客戶自有算法，并實現(xiàn)以往難以實現(xiàn)的應(yīng)用。

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