1  引言
         南陽中光學機電裝備有限公司真空技術公司產(chǎn)品涉及光學鍍膜、激光薄膜、金屬薄膜、樹脂鍍膜等多個領域。自主研發(fā)的omc-200b光學膜厚控制儀、ebg系列電子槍等鍍膜設備的核心部件，已經(jīng)趕超世界先進水平。自動鍍膜屬于半導體行業(yè)的實際情況，當時客戶對控制系統(tǒng)提出了以下幾點要求：系統(tǒng)要穩(wěn)定可靠，可長時間無人值守自動運行?？梢员４娑嘟M配方，并能按預先設定的配方自動鍍膜。工藝參數(shù)實時可調(diào)。數(shù)據(jù)參數(shù)可以保留。要為以后的組網(wǎng)余留通訊接口。

2  鍍膜自動化系統(tǒng)
2.1 系統(tǒng)分析
         根據(jù)客戶提出的控制要求，系統(tǒng)要能夠手動自動靈活控制。因此我們選用了穩(wěn)定可靠的hitech觸摸屏人機界面，該人機界面不但能保存大量的工作數(shù)據(jù)，而且可用cf卡的方式供用戶保存工藝及膜系數(shù)據(jù)，也可以將鍍膜數(shù)據(jù)在電腦上修改后經(jīng)由cf卡傳回觸摸屏，這樣管理數(shù)據(jù)非常方便。另外，由于hitech人機提供了強大的宏指令，而且宏指令的編輯非常簡單易學，所以通過宏指令使人機來和晶體膜厚監(jiān)控儀通訊很容易。觸摸屏接收到監(jiān)控儀上的數(shù)據(jù)后，通過宏指令進行算術運算，然后進行邏輯判斷，再發(fā)信號給plc，來控制設備的自動運行。經(jīng)過上述分析，提出控制方案如圖1所示。

圖1  控制系統(tǒng)框圖

2.2 電氣結構和配置設計
         (1) 數(shù)值量輸入輸出，實現(xiàn)現(xiàn)場信號的采集和按工藝要求做邏輯控制輸出。
         (2) 利用屏的雙串口雙驅(qū)功能和plc，晶體控制儀器同時通訊。用通訊方式實現(xiàn)儀器的命令控制，省去很多硬接線麻煩，簡化了控制系統(tǒng)結構。各工藝參數(shù)設定，實時數(shù)據(jù)顯示，報警提示等都可以在人機上直接操作，真正體現(xiàn)了人際交互功能。
2.3 觸摸屏提升鍍膜機能力
         鍍膜機自動化水平的高低也是衡量其現(xiàn)代化水平的重要標志。提高自動化水平，不僅可以減輕操作人員的勞動強度和看管負擔，還可減少鍍膜機的人為故障、提高機器的運轉(zhuǎn)率及產(chǎn)品的質(zhì)量。采用工藝參數(shù)的在線調(diào)整：如在鍍膜機正常運轉(zhuǎn)時，若基片的某項質(zhì)量指標出現(xiàn)問題，可直接通過hmi進行工藝參數(shù)調(diào)整。一旦故障產(chǎn)生，顯示機器出故障的位置，以便現(xiàn)場人員維護，十分人性化。
2.4 工藝參數(shù)畫面及宏指令設計案例

圖2  工藝參數(shù)畫面宏指令

圖3  基于宏指令通訊的工藝參數(shù)畫面

         所用部分宏指令截圖參見圖2。此系統(tǒng)可實現(xiàn)客戶要求，并保存當前的實際膜系要求信息到晶體膜厚控制器中的工藝及材料參數(shù)中。下一步，用戶要求也可以根據(jù)自己膜系軟件計算的結果，通過cf卡直接讀取到觸摸屏上，也可以把工藝參數(shù)和材料參數(shù)保存到cf卡中，方便用戶把數(shù)據(jù)保存，供人們在計算機上查詢。

3  結束語
         真空鍍膜系統(tǒng)中hitech觸摸屏使得大量的數(shù)據(jù)存儲功能，供客戶存儲3個月的數(shù)據(jù)。方便的宏指令功能，可通過串口模式把存儲的數(shù)據(jù)傳送到控制儀器上(plc和晶體末后監(jiān)控儀)。6萬4千色的真彩顯示，可方便的組態(tài)豐富的畫面。余留有串口和以太網(wǎng)接口，為以后的系統(tǒng)擴充留下空間。cf卡的數(shù)據(jù)存儲提供了極大的便利。系統(tǒng)在北方夜視昆明有限公司已經(jīng)穩(wěn)定的運行了半年的時間，得到客戶高度評價。