產(chǎn)品詳情
“AGV+機械臂”(復合機器人)在半導體行業(yè)應用
伴隨著自動化改造熱潮的興起，AGV+機械手集“手腳”兩項功能于一身的復合型機器人也越來越被各行業(yè)追捧。從行業(yè)需求上來看，汽車和半導體等電子設備對機器人的需求日益增長，其中復合機器人成為半導體行業(yè)應用較為成熟的智能設備。
半導體行業(yè)對機器人的應用要求
半導體行業(yè)包括了眾多領域，在這些領域當中又有著很多復雜的工序，比如前期的晶體制造、中期的封裝集成，還有后期的組裝包裝、運輸?shù)鹊?。機器人進軍半導體行業(yè)既是一種挑戰(zhàn)也是一種趨勢，機器人本身需要具有易使用、性能靈活輕便，不僅要滿足無塵空間的等級要求，還要小心易碎的產(chǎn)品，對極為細微的器件需要高度精準地定位、放置和組裝。
半導體行業(yè)對工業(yè)機器人的要求十分嚴格，在真空環(huán)境下，要保證機器人的潔凈度，因為半導體產(chǎn)品的特殊性，還要求機器人防震，防抖動，靜音生產(chǎn)，能夠有精準到5mm的重復定位等等。
復合型機器人在半導體行業(yè)中的應用
復合型機器人作為新型物流設備，柔性程度高，適應能力強，融合了智能驅(qū)動導航技術(shù)等關(guān)鍵技術(shù)，可實現(xiàn)物料的自動搬運、智能分揀，已廣泛應用在國際知名半導體行業(yè)中，并取得了較好應用效果。
根據(jù)中國移動機器人（AGV）產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟、新戰(zhàn)略機器人產(chǎn)業(yè)研究所數(shù)據(jù)統(tǒng)計，目前全球半導體行業(yè)中AGV和機械手組合的復合型機器人的應用已經(jīng)達到約5000臺，松下、西門子、富士通、環(huán)旭電子、華通科技、晶元光電等半導體企業(yè)，都將相關(guān)的AGV機器人應用到了生產(chǎn)中。
在半導體行業(yè)中AGV移動機器人應用最普遍，AGV傳送自動化也是傳送系統(tǒng)自動化的一項內(nèi)容，它已成為了現(xiàn)代化半導體工廠自動化系統(tǒng)中最大的單項投資項目。
移動搬運機器人（AGV）為半導體產(chǎn)品提供物流支持，可以實現(xiàn)車間內(nèi)、車間與車間的自由移動。物流設備自動化通常和傳統(tǒng)流水線，自動立體庫，AGV小車等其他傳送相關(guān)的執(zhí)行器，包括如何將其運送到工藝設備端或者在不同的存儲區(qū)域之間進行調(diào)度，以及晶片在工藝設備內(nèi)部的傳送（包括物料緩沖區(qū)，裝載端口，晶片傳送機械手臂等）。
半導體加工環(huán)境要求在其內(nèi)運行的設備需要具有高潔凈等級、防靜電、高可靠性等特點。所以在IC環(huán)境下所用的復合機器人在滿足基本搬運要求的同時還要兼顧上述特點。
在半導體生產(chǎn)車間中，AGV移動機器人的輪子要符合標準，調(diào)控必須便利，還必須是無軌導航。這樣一系列的高標準讓不少機器人企業(yè)望而卻步，但從另一個角度看，這說明半導體行業(yè)“門檻較高”，這也給復合機器人企業(yè)的進入設定了一定的條件。
庫崎智能復合機器人采用MiR移動機器人底盤，在上部集成了UR機械臂和視覺定位模組，移動平臺+機械臂+視覺定位模塊的組合方式，無需人工干預，即可由機械臂完成物料的取放工作;同時還滿足了車間多工位多種物料運輸、裝卸的需求;由于沒有固定的產(chǎn)線設備，MiR移動機器人可以隨時根據(jù)生產(chǎn)計劃的變化而調(diào)整工作流程，轉(zhuǎn)換時間極短。有效節(jié)省客戶的人工投入，以及生產(chǎn)不同產(chǎn)品的調(diào)整時間。
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