產(chǎn)品詳情
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項(xiàng)目 |
數(shù)據(jù) |
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基本規(guī)格 |
機(jī)臺(tái)封面：聚丙烯瓷白PP板材（厚度≥10mm） 機(jī)臺(tái)主體強(qiáng)度結(jié)構(gòu)：整體骨架表面噴涂處理Or China SUS 矩形材 機(jī)臺(tái)視窗：透明、抗靜電透明PVC（厚度≥5mm） |
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適用對(duì)象 |
名稱 規(guī)格（mm） 長(zhǎng)度（mm） 每批清洗量（預(yù)估） 多晶硅芯 Φ7-10 2000-2800 24-26支 橫梁 Φ7-10 300-500 若干 基座料 Φ40-50 250-300 若干 硅芯原料 Φ120-150 2000-2800 1支 |
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選配模塊 |
l 采用純水隔離式或風(fēng)簾隔離式可選 l 更全面的全自動(dòng)干燥系統(tǒng) l 可結(jié)合客戶端通訊協(xié)定資料存儲(chǔ)、CIM系統(tǒng)、資料分析存儲(chǔ)建立管理 |
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排風(fēng)系統(tǒng) |
排風(fēng)強(qiáng)勁合理設(shè)計(jì)，為了排風(fēng)效果達(dá)到，排風(fēng)通道內(nèi)設(shè)有風(fēng)量導(dǎo)流板，為了方便操作人員及時(shí)根據(jù)情況調(diào)節(jié)排風(fēng)量，操作人員可小范圍調(diào)節(jié)機(jī)臺(tái)排風(fēng)背板上的可拆卸式排風(fēng)口再配合機(jī)臺(tái)視窗上的可調(diào)節(jié)進(jìn)氣模塊，從而達(dá)到使用效果 |
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機(jī)臺(tái)特點(diǎn) |
l 刻蝕工藝自動(dòng)補(bǔ)藥液保證了工藝槽在運(yùn)行過程中濃度的穩(wěn)定性 l QDR沖洗模塊非常見排序式，可根據(jù)制程工藝設(shè)定 l 更全面的自動(dòng)干燥系統(tǒng) l 管路系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、伺服電機(jī)及絲杠導(dǎo)軌等關(guān)鍵核心部件均采用進(jìn)口標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品 l 保修便利，非庫(kù)存品工廠內(nèi)均建立安全庫(kù)存品 l 全程自動(dòng)化控制，幾何曲線加減速運(yùn)動(dòng)，沖擊小運(yùn)行平穩(wěn)，機(jī)械臂定位精度高 l 多級(jí)別用戶工藝數(shù)據(jù)庫(kù)，可供用戶使用和存儲(chǔ) l 作業(yè)區(qū)內(nèi)有害氣體多種安全主動(dòng)及被動(dòng)保護(hù)相結(jié)合，保證操作人員作業(yè)環(huán)境及人身安全 l 客制化設(shè)計(jì)能力佳，搞設(shè)計(jì)能力滿足客戶制程工藝需要 |
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機(jī)械臂裝置 |
Robot的工藝路徑種類 N種（設(shè)備出廠前載入PLC內(nèi)） 機(jī)械手傳送定位精度 ≤0.3mm 機(jī)械臂走向 右進(jìn)做出或左進(jìn)右出 |
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制程控制 |
PLC控制方式 |
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操作界面 |
全圖形化中文彩色人機(jī)界面（10.4彩屏） |
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槽體數(shù)量 |
根據(jù)制程要求選擇定制 |
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設(shè)備制造 |
蘇州尚純半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 |
