產(chǎn)品詳情
全自動(dòng)RCA清洗機(jī)
適用產(chǎn)業(yè)：半導(dǎo)體等
控制模式：手動(dòng)控制模式、自動(dòng)控制模式
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項(xiàng)目 |
數(shù)據(jù) |
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適用對(duì)象 |
硅片 2-12inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 藍(lán)寶石晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 砷化鎵晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 碳化硅晶片2-8inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 其它襯底晶片 |
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基本規(guī)格 |
機(jī)臺(tái)封面：聚丙烯瓷白PP板材（厚度≥10mm）Or China SUS板材（厚度≥2mm） 機(jī)臺(tái)主體強(qiáng)度結(jié)構(gòu)：整體骨架表面噴涂處理Or China SUS 矩形材 機(jī)臺(tái)視窗：透明、抗靜電透明PVC（厚度≥5mm）Or China 鋼化玻璃（厚度≥2mm） |
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選配模塊 |
l 腐蝕液恒溫系統(tǒng) l 腐蝕液循環(huán)過(guò)濾系統(tǒng) l 超（兆聲）系統(tǒng) l 全自動(dòng)供液系統(tǒng) l 更全面的全自動(dòng)烘干系統(tǒng) l 消防系統(tǒng) l 可結(jié)合客戶(hù)端通訊協(xié)定資料存儲(chǔ)、CIM系統(tǒng)、資料分析存儲(chǔ)建立管理 |
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機(jī)臺(tái)特點(diǎn) |
l 刻蝕工藝自動(dòng)補(bǔ)藥液保證了工藝槽在運(yùn)行過(guò)程中濃度的穩(wěn)定性 l QDR沖洗模塊非常見(jiàn)排序式，可根據(jù)制程工藝設(shè)定 l 集成自動(dòng)干燥系統(tǒng) l 管路系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、伺服電機(jī)及絲杠導(dǎo)軌等關(guān)鍵核心部件均采用進(jìn)口標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品 l 保修便利，庫(kù)存品工廠內(nèi)均建立安全庫(kù)存品 l 全程自動(dòng)化控制，幾何曲線加減速運(yùn)動(dòng)，沖擊小運(yùn)行平穩(wěn)，機(jī)械臂定位精度高 l 多級(jí)別用戶(hù)工藝數(shù)據(jù)庫(kù)，可供用戶(hù)使用和存儲(chǔ) l 作業(yè)區(qū)內(nèi)有害氣體多種安全主動(dòng)及被動(dòng)保護(hù)相結(jié)合，保證操作人員作業(yè)環(huán)境及人身安全 l 客制化設(shè)計(jì)能力佳，搞設(shè)計(jì)能力滿足客戶(hù)制程工藝需要 |
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機(jī)械臂裝置 |
Robot的工藝路徑種類(lèi) N種（設(shè)備出廠前載入PLC內(nèi)） 機(jī)械手傳送定位精度 ≤0.3mm 機(jī)械臂走向 右進(jìn)做出或左進(jìn)右出 |
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制程控制 |
PLC控制方式 |
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操作界面 |
全圖形化中文彩色人機(jī)界面（10.4彩屏） |
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槽體數(shù)量 |
根據(jù)制程要求選擇定制 |
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設(shè)備制造 |
蘇州尚純半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 |
