產(chǎn)品詳情
圖形化工藝是半導(dǎo)體工藝過(guò)程中最重要的工序之一,日本HD集成伺服諧波FHA-40C-100-E250-BC它是用來(lái)在不同的器件和電路表面上建立平面圖形的工藝過(guò)程。這個(gè)工藝過(guò)程的目標(biāo)有兩個(gè),首先是在晶圓表面上產(chǎn)生圖形,這些圖形的尺寸在集成電路或器件設(shè)計(jì)階段建立;第二個(gè)目標(biāo)是將電路圖形正確地定位于晶圓表面。整個(gè)電路圖形必須被正確地置于晶圓表面,日本HD集成伺服諧波FHA-40C-100-E250-BC它們與晶圓襯底的相對(duì)晶向,以及電路圖形上單獨(dú)的每一部分之間的相對(duì)位置也必須是正確的。
圖形化工藝是一種基本操作,在操作結(jié)束時(shí),晶圓表面層上日本HD集成伺服諧波FHA-40C-100-E250-BC將剩下孔洞或島區(qū)。圖形化工藝也經(jīng)常被稱(chēng)為光刻( Photolithography )。圖形化工藝過(guò)程主要分為光刻工藝和刻蝕工藝。