哈默納科涂布機諧波齒輪SHF-40-80-2UH

數(shù)量(臺) 價格
100 23456.00元/臺
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第13年

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詳細參數(shù)
品牌HarmonicDrive型號SHF-40-80-2UH
類型諧波減速器載荷狀態(tài)強沖擊載荷
傳動比級數(shù)單級軸的相對位置臥式減速器
傳動布置形式擺線式加工定制否
樣品或現(xiàn)貨現(xiàn)貨齒面硬度軟齒面
布局形式三環(huán)式用途減速機
輸入轉速3000rpm額定功率360kw
輸出轉速范圍50rpm許用扭矩691N.m
使用范圍化工減速比98
產(chǎn)地日本

產(chǎn)品詳情

是真正涂布粘著在晶圓上之數(shù)十甚至數(shù)百倍，極其可惜；哈默納科涂布機諧波齒輪SHF-40-80-2UH因為甩到晶圓外的光阻中有機溶劑迅速揮發(fā)逸散，成份大變，不能回收再使用。

5、厚光阻

德國Karl-Suss公司開發(fā)了一種新型的光阻涂布機，哈默納科涂布機諧波齒輪SHF-40-80-2UH稱為GYRSET? ，其賣點在于強調可減少一半的光阻用量，且得出更均厚的光阻分布。其原理極為單純：只是在真空轉臺上加裝了跟著同步旋轉的蓋子。如此一來，等于強迫晶圓與蓋子之間的空氣跟著旋轉，那么光阻上便無高轉速差哈默納科涂布機諧波齒輪SHF-40-80-2UH的粘性旋轉拖曳作用。故光阻在被涂布時，其與周遭流體之相對運動并不明顯

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