哈默納科涂布機(jī)諧波齒輪SHF-40-80-2UH

數(shù)量(臺(tái)) 價(jià)格
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第13年

上海浜田實(shí)業(yè)有限公司

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詳細(xì)參數(shù)
品牌HarmonicDrive型號(hào)SHF-40-80-2UH
類型諧波減速器載荷狀態(tài)強(qiáng)沖擊載荷
傳動(dòng)比級(jí)數(shù)單級(jí)軸的相對(duì)位置臥式減速器
傳動(dòng)布置形式擺線式加工定制否
樣品或現(xiàn)貨現(xiàn)貨齒面硬度軟齒面
布局形式三環(huán)式用途減速機(jī)
輸入轉(zhuǎn)速3000rpm額定功率360kw
輸出轉(zhuǎn)速范圍50rpm許用扭矩691N.m
使用范圍化工減速比98
產(chǎn)地日本

產(chǎn)品詳情

是真正涂布粘著在晶圓上之?dāng)?shù)十甚至數(shù)百倍，極其可惜；哈默納科涂布機(jī)諧波齒輪SHF-40-80-2UH因?yàn)樗Φ骄A外的光阻中有機(jī)溶劑迅速揮發(fā)逸散，成份大變，不能回收再使用。

5、厚光阻

德國(guó)Karl-Suss公司開(kāi)發(fā)了一種新型的光阻涂布機(jī)，哈默納科涂布機(jī)諧波齒輪SHF-40-80-2UH稱為GYRSET??，其賣點(diǎn)在于強(qiáng)調(diào)可減少一半的光阻用量，且得出更均厚的光阻分布。其原理極為單純：只是在真空轉(zhuǎn)臺(tái)上加裝了跟著同步旋轉(zhuǎn)的蓋子。如此一來(lái)，等于強(qiáng)迫晶圓與蓋子之間的空氣跟著旋轉(zhuǎn)，那么光阻上便無(wú)高轉(zhuǎn)速差哈默納科涂布機(jī)諧波齒輪SHF-40-80-2UH的粘性旋轉(zhuǎn)拖曳作用。故光阻在被涂布時(shí)，其與周遭流體之相對(duì)運(yùn)動(dòng)并不明顯

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