產(chǎn)品詳情
日本TORAY東麗 氧氣分析儀 MS-500
型號：MS-500
MS-500
能夠同時測量多達(dá)8個點
顯示廣泛的濃度范圍，從ppm級別到100%
最適合安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備、真空設(shè)備等中。
直接插入式傳感器（帶真空法蘭的NW 16/25/40）
用于高耐用傳感器的特殊涂層，以提高耐用性
MS-500 規(guī)格
測量原理 鋯英石濃差電池類型
類型 分離式（轉(zhuǎn)換器：壁掛式；傳感器：直插式）
顯示系統(tǒng) 4位數(shù)字顯示（濃度顯示）
測量范圍 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20～10-0atm
自動范圍
重復(fù)性 在滿量程的±0.5%以內(nèi)；范圍為0-1%或更高
在滿量程的±1%或±0.1 ppm，以較大者為準(zhǔn)；范圍小于0-1%
在0-1 ppm，大氣壓范圍內(nèi)的濃度不再保修。
測量點數(shù)量 1～8
樣品氣體要求 壓力 10-3至200千帕（絕對壓力）
流量 0.5至5,000毫升/分鐘或0毫升/分鐘（自然分散狀態(tài)下測量）
濕度 露點低于環(huán)境溫度
溫度 0到100°C
其他 不得含有腐蝕性氣體（氟氣、氯氣、硫酸氣體等）、含有機(jī)硅的氣體、易燃物質(zhì)（包括氣體）、油或水分
參考?xì)怏w 大氣層
錄音機(jī)輸出 僅限變速箱輸出
變速器輸出 RS-232C
報警輸出 無
熱身時間 6分鐘或更少
維度 MS-500（控制器） 92 毫米 (寬) × 44 毫米 (高) × 120 毫米 (深) (不包括突出部分)
MS-510（轉(zhuǎn)換器） 100 毫米 (寬) × 40 毫米 (高) × 88 毫米 (深) (不包括突出部分)
傳感器單元 SD16西北 總長度 100毫米（傳感器 ? 11×39，主體 ? 40×51）
SD25西北 總長度 100毫米（傳感器 ? 11×42，主體 ? 40×48）
SD40西北 總長度 100毫米（傳感器 ? 11×41，主體 ? 40×49）
重量 MS-500（控制器） 約0.6千克
MS-510（轉(zhuǎn)換器） 約0.5千克
傳感器單元 SD16西北 約0.2千克
SD25西北 約0.2千克
SD40西北 約0.35千克
外部連接 任何一種真空法蘭（NW16、25 或 40）
力量 24V直流電±10%
型號：MS-500
MS-500
能夠同時測量多達(dá)8個點
顯示廣泛的濃度范圍，從ppm級別到100%
最適合安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備、真空設(shè)備等中。
直接插入式傳感器（帶真空法蘭的NW 16/25/40）
用于高耐用傳感器的特殊涂層，以提高耐用性
MS-500 規(guī)格
測量原理 鋯英石濃差電池類型
類型 分離式（轉(zhuǎn)換器：壁掛式；傳感器：直插式）
顯示系統(tǒng) 4位數(shù)字顯示（濃度顯示）
測量范圍 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20～10-0atm
自動范圍
重復(fù)性 在滿量程的±0.5%以內(nèi)；范圍為0-1%或更高
在滿量程的±1%或±0.1 ppm，以較大者為準(zhǔn)；范圍小于0-1%
在0-1 ppm，大氣壓范圍內(nèi)的濃度不再保修。
測量點數(shù)量 1～8
樣品氣體要求 壓力 10-3至200千帕（絕對壓力）
流量 0.5至5,000毫升/分鐘或0毫升/分鐘（自然分散狀態(tài)下測量）
濕度 露點低于環(huán)境溫度
溫度 0到100°C
其他 不得含有腐蝕性氣體（氟氣、氯氣、硫酸氣體等）、含有機(jī)硅的氣體、易燃物質(zhì)（包括氣體）、油或水分
參考?xì)怏w 大氣層
錄音機(jī)輸出 僅限變速箱輸出
變速器輸出 RS-232C
報警輸出 無
熱身時間 6分鐘或更少
維度 MS-500（控制器） 92 毫米 (寬) × 44 毫米 (高) × 120 毫米 (深) (不包括突出部分)
MS-510（轉(zhuǎn)換器） 100 毫米 (寬) × 40 毫米 (高) × 88 毫米 (深) (不包括突出部分)
傳感器單元 SD16西北 總長度 100毫米（傳感器 ? 11×39，主體 ? 40×51）
SD25西北 總長度 100毫米（傳感器 ? 11×42，主體 ? 40×48）
SD40西北 總長度 100毫米（傳感器 ? 11×41，主體 ? 40×49）
重量 MS-500（控制器） 約0.6千克
MS-510（轉(zhuǎn)換器） 約0.5千克
傳感器單元 SD16西北 約0.2千克
SD25西北 約0.2千克
SD40西北 約0.35千克
外部連接 任何一種真空法蘭（NW16、25 或 40）
力量 24V直流電±10%
