產(chǎn)品詳情
電子行業(yè)超純水設(shè)備適用于集成電路芯片、單晶硅、顯像管、液晶顯示器、計(jì)算機(jī)硬盤、線路板等工藝所需的純水和超純水制備。在嚴(yán)格執(zhí)行ISO-9001國(guó)際質(zhì)量體系標(biāo)準(zhǔn)的前提下,采用世界上進(jìn)的反滲透膜元件。壓力容器和高壓泵、配以合理而又高效的前處理設(shè)備及后處理設(shè)備,使產(chǎn)品出水符合各類電子行業(yè)生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)的超純水??刂葡到y(tǒng)選用PLC程序控制,可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)起停、加藥及沖洗,自動(dòng)監(jiān)測(cè)各種運(yùn)行參數(shù),并可實(shí)現(xiàn)運(yùn)行參數(shù)的儲(chǔ)存及打印廣泛適用于:?半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路?LCD、EL、PDP、TFT、玻殼、顯像管?超純材料和超純化學(xué)試劑光導(dǎo)纖維、光盤等。
電子行業(yè)超純水設(shè)備典型工藝流程:
1.預(yù)處理系統(tǒng)-反滲透系統(tǒng)-中間水箱-純水泵-粗混合床-精混合床-紫外線殺菌器-精密過(guò)濾器-用水對(duì)象(≥15MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)
2.預(yù)處理系統(tǒng)-反滲透系統(tǒng)-中間水箱-粗混合床-精混合床-純水箱-純水泵-紫外線殺菌器-拋光混床-精密過(guò)濾器-用水對(duì)象?(≥18MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)?
3.預(yù)處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-拋光混床-0.2或0.5μm精密過(guò)濾器-用水對(duì)象(≥18MΩ.CM)(工藝)?
4.預(yù)處理-一級(jí)反滲透-加藥機(jī)(PH調(diào)節(jié))-中間水箱-第二級(jí)反滲透(正電荷反滲膜)-純水箱-純水泵-EDI裝置-紫外線殺菌器-精密過(guò)濾器(0.2或0.5μm)-用水對(duì)象(≥17MΩ.CM)?(工藝)?
5.預(yù)處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過(guò)濾器-用水對(duì)象(≥15MΩ.CM)(工藝)?