專業(yè)供應frd-006全自動擴散爐

數(shù)量(臺) 價格
1 1.00元/臺
  • 最小起訂： 1臺
  • 發(fā)貨地址： 山東 青島市
  • 發(fā)布日期：2024-04-07
  • 訪問量：205
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第12年

青島福潤德微電子設備有限公司

實名認證 企業(yè)認證
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  • 手機：15314229122
  • 電話：0532-68017154
  • 營業(yè)執(zhí)照：已審核 營業(yè)執(zhí)照
  • 經(jīng)營模式： 生產(chǎn)加工-私營獨資企業(yè)
  • 所在地區(qū)：山東 青島市
  • 家家通積分：1210分

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詳細參數(shù)
品牌福潤德型號frd-006
加工定制是產(chǎn)地青島

產(chǎn)品詳情

擴散爐主要滿足半導體電力電子器件、大功率集成電路等行業(yè)，對所加工硅片進行擴散、氧化、退火、合金等工藝。主要由擴散爐加熱爐體、氣源系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、超凈化操作系統(tǒng)等組成。選用工控機微控方式或者程控方式操作。  

擴散爐技術指標： t可處理硅片尺寸：212英寸 t外型形式：臥式14管結構 t工作溫度：200℃1300℃ t恒溫區(qū)長度及精度：200mm1100mm≤±0.5℃ t單點溫度穩(wěn)定性、重復性： ≤±1℃/24h t溫度斜變： 可控升溫速率15℃／min t可控降溫速率： 5℃／min t送片裝置：全自動懸臂推拉舟、拉桿式推拉舟 t氣路系統(tǒng)：15路工藝氣體／管 t氣體控制：全自動MFC t控制方式：工控機、觸摸屏

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