產(chǎn)品詳情
工廠專業(yè)回收／出售國(guó)內(nèi)外各種型號(hào)真空鍍膜機(jī)/磁控電鍍機(jī)/ITO電鍍膜線500/900/1100/1300/1350/1550/1600/1800/2050/2700（萊寶 光弛 韓一 友誠(chéng) 龍翩 昭和 南光等品牌），有專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)，含安裝調(diào)試，保修，培訓(xùn)，設(shè)備可租可售可代加工產(chǎn)品，舊設(shè)備還可以折扣置換機(jī)械，歡迎來電咨詢:181 030 45976
主要由真空室、蒸發(fā)源、膜厚監(jiān)測(cè)儀、樣品臺(tái)、真空獲得系統(tǒng)、真空測(cè)量系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、 PLC+觸摸屏自動(dòng)控制系統(tǒng)等組成。
主機(jī)與控制一體化設(shè)計(jì)，操控方便;結(jié)構(gòu)緊湊，
HDPE占地面積小。
主要用途:
1.開發(fā)納米級(jí)單層、多層及復(fù)合膜層等。
2.制備金屬膜、合金膜、半導(dǎo)體膜、陶瓷膜及介質(zhì)膜等，例:銀、鋁、銅、C60、BCP......
應(yīng)用領(lǐng)域:
1.高校、科研院所的教學(xué)、科研實(shí)驗(yàn)及生產(chǎn)型企業(yè)前期探索性實(shí)驗(yàn)及開發(fā)新產(chǎn)品等。
2.鈣鈦礦太陽能電池、OLED、OPV太陽能電池等行業(yè)。
產(chǎn)品參數(shù)
外形 尺 寸 3100mm(W)*2800mm(D)*3200mm(H)
電 壓 380V
功 率 ≤10.5KW
基 片 臺(tái) 140mm*140mm(可根據(jù)客戶基片定制)
真 空 室 1500mm(W)*1500mm(D)*1500mm(H)
SUS304不銹鋼方形腔體，前后開門結(jié)構(gòu)，可獨(dú)立使用，也可與手套箱對(duì)接使用
真空系統(tǒng) 分子泵+機(jī)械泵
極限真空 優(yōu)于3*10·5Pa
恢復(fù)真空時(shí)間 達(dá)到7x10-4Pa≤25min
金屬蒸發(fā)源 2-4組蒸發(fā)源(可選)
有機(jī)蒸發(fā)源 束源爐式有機(jī)蒸發(fā)源自帶控溫0-700℃可調(diào)
2-4組蒸發(fā)源(可選)
電控 系 統(tǒng) PLC觸摸屏控制，程序互鎖保護(hù)及異常報(bào)警
選 配 冷卻循環(huán)水機(jī)/膜厚監(jiān)控儀/基片臺(tái)加熱或水冷
掩膜板mask/蒸發(fā)電源/鎢舟鉬舟
