產(chǎn)品詳情
處理方式:
通過(guò)高壓震蕩風(fēng)吹出把工作物表面粉塵吹離膜面,再利用負(fù)壓風(fēng)同時(shí)帶離
表面,造成無(wú)接觸式除塵,是一種高效安全清潔的干式去除粉塵設(shè)備
需要去除的產(chǎn)品表面的污染物類(lèi)型:主要是干燥的顆粒浮塵; (粘性塵埃
及水跡不能處理)
除去率:1.6 um, 3μm-5μm≥98%
工作尺寸:點(diǎn)狀或長(zhǎng)度L=20-500mm(超過(guò)500mm亦可訂制)
干式清洗特點(diǎn):
- 干式清洗不需要更換水或藥液,洗后不用干燥,降低運(yùn)行成本
- 非接觸式系統(tǒng)不會(huì)污染基板及損傷基板表面膜
- 由于清洗機(jī)是閉循環(huán)系統(tǒng),不會(huì)污染凈化間