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交叉滾子導(dǎo)軌:超高精度導(dǎo)向的“精密標(biāo)桿”

圖片
其核心結(jié)構(gòu)特點(diǎn)是導(dǎo)軌與滑塊間的滾子呈 90° 交叉排列,且滾子與導(dǎo)軌接觸面為線接觸,而非滾珠的點(diǎn)接觸。這種結(jié)構(gòu)使交叉滾子導(dǎo)軌在徑向、軸向及傾覆方向均具有極高的剛性,剛性值可達(dá)普通滾珠導(dǎo)軌的 2-3 倍;同時(shí),線接觸形式減少了接觸應(yīng)力,提升了耐磨性與使用壽命,在額定載荷下,使用壽命可達(dá) 5000km 以上。


精度參數(shù)上,交叉滾子導(dǎo)軌的直線度誤差可控制在 0.001mm/100mm 以內(nèi),重復(fù)定位精度可達(dá) ±0.0005mm,旋轉(zhuǎn)精度(偏擺、俯仰)可控制在 1 角秒以內(nèi),遠(yuǎn)高于普通直線導(dǎo)軌。此外,它通過(guò)特殊的預(yù)緊工藝,可實(shí)現(xiàn)無(wú)間隙運(yùn)動(dòng),滿足超高精度定位需求。


典型應(yīng)用中,交叉滾子導(dǎo)軌是半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)設(shè)備的核心導(dǎo)向部件,帶動(dòng)檢測(cè)探頭實(shí)現(xiàn)納米級(jí)精度的移動(dòng),確保對(duì)晶圓表面缺陷的精準(zhǔn)識(shí)別;在光學(xué)鏡頭研磨機(jī)中,它能保證研磨頭的運(yùn)動(dòng)軌跡精度,使鏡頭表面粗糙度控制在 Ra0.001μm 以下;在航空航天領(lǐng)域的慣性導(dǎo)航設(shè)備中,交叉滾子導(dǎo)軌為陀螺儀提供穩(wěn)定的導(dǎo)向支撐,確保導(dǎo)航精度符合嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)。

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交叉滾子滑臺(tái):集成化的超高精度運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

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