產(chǎn)品詳情
FS4001系列氣體流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。獨特的封裝技術(shù)使之可用于各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。
FS4001小流量氣體質(zhì)量流量傳感器
產(chǎn)品簡介：FS4001小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。這
系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。獨特的封裝技術(shù)使之可用于各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。
產(chǎn)品特點：
- 傳感器靈敏度高,有極小的始動流量
- 傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計量,無需溫度壓力補償,保證了傳
- 感器的高精度計量
- 在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成,使傳感器的量程比大大提高
- 傳感器的零點穩(wěn)定度高
- 全量程高穩(wěn)定性
- 全量程高精度和優(yōu)良的重復(fù)性
- 低功耗
- 低壓損
- 響應(yīng)時間快
主要參數(shù)：
性能參數(shù)
FS4001
單位
通 徑
1.0
1.8
mm
大流量
30, 100, 200
500, 1000
SCCM
量程比
≥100:1
精 度
±(1.5+0.2FS)
%
重復(fù)性
0.25
%讀數(shù)
零點輸出飄移
±30
mV
輸出飄移
±0.12
%/oC
響應(yīng)時間
4, 8, 16, 33 , 65 , 131
mses
工作電源
8~18Vdc,50mA
輸出方式
線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc
大流量壓損
350
300
pa
大工作壓力
0.5
MPa
工作溫度
-10 ~ +55
oC
存儲溫度
-20 ~ +65
oC
工作濕度
<95%RH（無結(jié)冰、無凝露）
機械接口
可拆式軟管接頭
校準方式
空氣（或其他氣體），20oC，101.325kPa
重量
15
g
