產品詳情
微機電制作技術,尤其是最大宗以硅半導體為日本HD半導體加工諧波CSG-20-80-2UH基礎的微細加工技術(silicon-basedmicromachining),原本就肇源于半導體組件的制程技術,所以必須先介紹清楚這類制程,以免淪于夏蟲語冰的窘態(tài)。
一、 潔凈室
一般的機械加工是不需要潔凈室(cleanroom)的,因為加工分辨日本HD半導體加工諧波CSG-20-80-2UH率在數(shù)十微米以上,遠比日常環(huán)境的微塵顆粒為大。但進入半導體組件或微細加工的世界,空間單位都是以微米計算,因此微塵顆粒沾附在制作半導體組件的晶圓上,便有可能影響到其上精密導線布局的樣式,造成電性短路或斷路的嚴重后果。? 為此日本HD半導體加工諧波CSG-20-80-2UH,所有半導體制程設備,都必須安置在隔絕粉塵進入的密閉空間中,這就是潔凈室的來由