白光干涉表面輪廓儀

數(shù)量(臺) 面議
99
  • 最小起訂: 1臺
  • 發(fā)貨地址: 廣東 深圳市
  • 發(fā)布日期:2023-07-25
  • 訪問量:426
咨詢電話:189-2846-3988
打電話時請告知是在機電之家網(wǎng)上看到獲取更多優(yōu)惠。謝謝!
10

深圳市中圖儀器股份有限公司

實名認證 企業(yè)認證
  • 聯(lián)系人:羅建
  • 手機:18928463988
  • 電話:0755-83311192
  • 營業(yè)執(zhí)照:已審核 營業(yè)執(zhí)照
  • 經(jīng)營模式: 生產(chǎn)加工-私營有限責任公司
  • 所在地區(qū):廣東 深圳市
  • 家家通積分:1441分

更多>>推薦產(chǎn)品

詳細參數(shù)
品牌CHOTEST中圖儀器型號SuperViewW1
類型白光干涉儀用途一鍵測量微納米三維形貌
加工定制產(chǎn)地深圳

產(chǎn)品詳情

CHOTEST中圖儀器SuperViewW1白光干涉表面輪廓儀是以白光干涉技術原理,對各種精密器件表面進行納米級測量的儀器,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。它具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點,測量單個精細器件的過程用時2分鐘以內(nèi),確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

531.jpg

應用領域

SuperViewW1白光干涉表面輪廓儀對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。


技術指標


型號

W1

光源 白光LED
影像系統(tǒng) 1024×1024
干涉物鏡

標配:10×

選配:2.5×、5×、20×、50×、100×

光學ZOOM

標配:0.5×

選配:0.375×、0.75×、1×

標準視場 0.98×0.98㎜(10×物鏡,光學ZOOM 0.5×)


XY位移平臺

尺寸
320×200㎜
移動范圍 140×100㎜
負載 10kg
控制方式 電動
Z軸聚焦 行程 100㎜
控制方式 電動
形貌重復性 0.1nm
粗糙度RMS重復性 0.005nm
臺階測量

準確度:0.3%;重復性:0.08%(1σ)

可測樣品反射率 0.05%~100%
主機尺寸 700×606×920㎜


產(chǎn)品功能

1)設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;

2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能;

3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能;

4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

結果組成:

1、三維表面結構:粗糙度,波紋度,表面結構,缺陷分析,晶粒分析等;

2、二維圖像分析:距離,半徑,斜坡,格子圖,輪廓線等;

3、表界面測量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;

4、薄膜和厚膜的臺階高度測量;

5、劃痕形貌,摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量;

6、微電子表面分析和MEMS表征。

超精密加工.jpg

超精密加工


針對芯片封裝測試流程的測量需求,白光干涉表面輪廓儀的X/Y方向標準行程為140*100mm,滿足減薄后晶圓表面大范圍多區(qū)域的粗糙度自動化檢測、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺階高等微納米級別精度的測量。而SuperViewW1-Pro 型號增大了測量范圍,可覆蓋8英寸及以下晶圓,定制版真空吸附盤,穩(wěn)定固定Wafer;氣浮隔振+殼體分離式設計,隔離地面震動與噪聲干擾。

白光干涉儀是目前三維形貌測量領域高精度的檢測儀器之一。在同等放大倍率下,測量精度和重復性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。在一些納米或者亞納米級別的超高精度加工領域,除了白光干涉儀,其它儀器達不到檢測的精度要求。


溫馨提示

  • 還沒找到想要的產(chǎn)品嗎? 立即發(fā)布采購信息,讓供應商主動與您聯(lián)系!

免責聲明:所展示的信息由會員自行提供,內(nèi)容的真實性、準確性和合法性由發(fā)布會員負責,機電之家網(wǎng)對此不承擔任何責任。機電之家網(wǎng)不涉及用戶間因交易而產(chǎn)生的法律關系及法律糾紛,糾紛由您自行協(xié)商解決。
友情提醒:本網(wǎng)站僅作為用戶尋找交易對象,就貨物和服務的交易進行協(xié)商,以及獲取各類與貿(mào)易相關的服務信息的平臺。為避免產(chǎn)生購買風險,建議您在購買相關產(chǎn)品前務必確認供應商資質及產(chǎn)品質量。過低的價格、夸張的描述、私人銀行賬戶等都有可能是虛假信息,請采購商謹慎對待,謹防欺詐,對于任何付款行為請您慎重抉擇!如您遇到欺詐等不誠信行為,請您立即與機電之家網(wǎng)聯(lián)系,如查證屬實,機電之家網(wǎng)會對該企業(yè)商鋪做注銷處理,但機電之家網(wǎng)不對您因此造成的損失承擔責任!
您也可以進入“消費者防騙指南”了解投訴及處理流程,我們將竭誠為您服務,感謝您對機電之家網(wǎng)的關注與支持!

您是不是在找