產品詳情
邁浦特機械高低溫一體機專為半導體芯片制造中對溫度極度敏感的工藝環(huán)節(jié)開發(fā)。其工作原理基于全封閉的超純水循環(huán)系統(tǒng)與自適應PID控制算法的深度融合。系統(tǒng)通過鈦合金管路和PFA內襯輸送超純水，避免金屬離子污染；氮氣密封系統(tǒng)確保水質純度。制冷單元采用多級壓縮機制冷，加熱單元采用低干擾的管道式加熱器。工作時，溫度傳感器實時監(jiān)測反應釜或工藝腔體內的溫度，并將數(shù)據(jù)反饋至中央控制器。控制器通過PID算法動態(tài)調節(jié)制冷劑流量和加熱功率，例如在光刻過程中，需將光刻膠的溫度維持在22℃±0.005℃的極窄范圍內，設備能快速抵消因曝光熱帶來的微小波動，確保線寬均勻性。其集成振動抑制模塊，有效隔離外部振動，為EUV光刻機等高端裝備提供寧靜的溫場
。整機運行穩(wěn)定，據(jù)客戶反饋，芯片良品率可提升約10%
溫度范圍：-40℃ ~ +150℃
控溫精度：±0.1℃
制冷功率：5.5kW
循環(huán)系統(tǒng)：鈦合金主管路，氮氣密封
