產(chǎn)品詳情
日本樫山kashiyama 真空泵 SD系列
型號與規(guī)格
常見型號：包括 SDX600、SDT600、SDX1200、SDT1200、SDX1800、SDT1800、SDH3000、SDH6000 等。
電源電壓：三相 AC200-220V，50/60Hz。
抽氣速率：不同型號抽氣速率不同，如 SDX600 型為 10,000L/min，SDT600 系列為 18,000L/min，SDH6000 可達(dá) 60,000L/min。
功耗：范圍從 1.5kW 到 3.7kW 不等，例如 SDX600 功耗為 1.5kW，SDH6000 功率為 3.7kW。
外形尺寸：以 SDH6000 為例，長度為 1050mm、寬度為 515mm，高度為 950mm。
產(chǎn)品特點
節(jié)能性好：SDX 系列屬于節(jié)能型產(chǎn)品，通過新型加熱器系統(tǒng)與機(jī)械結(jié)構(gòu)優(yōu)化，實現(xiàn)低功耗化，在降低能源消耗的同時，也有助于降低使用成本。
工藝耐性強(qiáng)：SDT/SDH 系列具有 Super Hirsch 對應(yīng)和工藝耐性的特點，能夠適應(yīng)各種復(fù)雜工藝環(huán)境，可在高顆粒負(fù)載、強(qiáng)化學(xué)腐蝕性、高工藝氣體流量等惡劣條件下穩(wěn)定運(yùn)行。
無油干式設(shè)計：采用無潤滑油機(jī)械結(jié)構(gòu)，可避免介質(zhì)污染，能保持泵腔內(nèi)部清潔，防止油蒸汽對被抽氣體的污染，適用于超潔凈工藝環(huán)境，如半導(dǎo)體晶圓制造、液晶顯示制造等對真空環(huán)境要求極高的領(lǐng)域。
吹掃功能靈活：部分型號支持氮氣吹掃功能，氮氣流量可在一定范圍內(nèi)調(diào)節(jié)，如 SDH6000 的氮氣流量可在 0 至 80SLM 范圍內(nèi)調(diào)節(jié)，這有助于增強(qiáng)工藝靈活性，可用于清除泵內(nèi)殘留氣體、防止氣體反擴(kuò)散等，提高真空泵的性能和穩(wěn)定性。
抽氣能力強(qiáng)勁：該系列真空泵抽氣速度快，極限壓力低，如 SDH6000 最大抽速可達(dá) 60,000L/min，極限壓力為 0.5Pa，能快速有效地抽取氣體，滿足不同應(yīng)用場景的真空需求，可在短時間內(nèi)將真空腔室抽到所需的真空度。
冷卻需求較低：冷卻水流量需求較低，例如 SDH6000 的冷卻水流量僅需 4.0L/min，對冷卻系統(tǒng)要求不高，可降低運(yùn)行成本和設(shè)備復(fù)雜度，減少了因冷卻系統(tǒng)故障而導(dǎo)致的設(shè)備停機(jī)風(fēng)險。
安全可靠穩(wěn)定：符合工業(yè)安全標(biāo)準(zhǔn)，配備高安全性防護(hù)設(shè)計，如過載保護(hù)、過熱保護(hù)、漏電保護(hù)等功能，能在各種工況下穩(wěn)定運(yùn)行，保障設(shè)備和操作人員的安全。
產(chǎn)品兼容性佳：支持與同系列設(shè)備協(xié)同工作，可擴(kuò)展應(yīng)用場景，通過多臺真空泵的組合使用，可以滿足更大抽氣速率和更高真空度的要求，例如 SDH6000 可與 SDT600 或 SDX1200 等搭配使用。
日本樫山kashiyama 真空泵 SD系列
日本樫山kashiyama 真空泵 SD系列
型號與規(guī)格
常見型號：包括 SDX600、SDT600、SDX1200、SDT1200、SDX1800、SDT1800、SDH3000、SDH6000 等。
電源電壓：三相 AC200-220V，50/60Hz。
抽氣速率：不同型號抽氣速率不同，如 SDX600 型為 10,000L/min，SDT600 系列為 18,000L/min，SDH6000 可達(dá) 60,000L/min。
功耗：范圍從 1.5kW 到 3.7kW 不等，例如 SDX600 功耗為 1.5kW，SDH6000 功率為 3.7kW。
外形尺寸：以 SDH6000 為例，長度為 1050mm、寬度為 515mm，高度為 950mm。
產(chǎn)品特點
節(jié)能性好：SDX 系列屬于節(jié)能型產(chǎn)品，通過新型加熱器系統(tǒng)與機(jī)械結(jié)構(gòu)優(yōu)化，實現(xiàn)低功耗化，在降低能源消耗的同時，也有助于降低使用成本。
工藝耐性強(qiáng)：SDT/SDH 系列具有 Super Hirsch 對應(yīng)和工藝耐性的特點，能夠適應(yīng)各種復(fù)雜工藝環(huán)境，可在高顆粒負(fù)載、強(qiáng)化學(xué)腐蝕性、高工藝氣體流量等惡劣條件下穩(wěn)定運(yùn)行。
無油干式設(shè)計：采用無潤滑油機(jī)械結(jié)構(gòu)，可避免介質(zhì)污染，能保持泵腔內(nèi)部清潔，防止油蒸汽對被抽氣體的污染，適用于超潔凈工藝環(huán)境，如半導(dǎo)體晶圓制造、液晶顯示制造等對真空環(huán)境要求極高的領(lǐng)域。
吹掃功能靈活：部分型號支持氮氣吹掃功能，氮氣流量可在一定范圍內(nèi)調(diào)節(jié)，如 SDH6000 的氮氣流量可在 0 至 80SLM 范圍內(nèi)調(diào)節(jié)，這有助于增強(qiáng)工藝靈活性，可用于清除泵內(nèi)殘留氣體、防止氣體反擴(kuò)散等，提高真空泵的性能和穩(wěn)定性。
抽氣能力強(qiáng)勁：該系列真空泵抽氣速度快，極限壓力低，如 SDH6000 最大抽速可達(dá) 60,000L/min，極限壓力為 0.5Pa，能快速有效地抽取氣體，滿足不同應(yīng)用場景的真空需求，可在短時間內(nèi)將真空腔室抽到所需的真空度。
冷卻需求較低：冷卻水流量需求較低，例如 SDH6000 的冷卻水流量僅需 4.0L/min，對冷卻系統(tǒng)要求不高，可降低運(yùn)行成本和設(shè)備復(fù)雜度，減少了因冷卻系統(tǒng)故障而導(dǎo)致的設(shè)備停機(jī)風(fēng)險。
安全可靠穩(wěn)定：符合工業(yè)安全標(biāo)準(zhǔn)，配備高安全性防護(hù)設(shè)計，如過載保護(hù)、過熱保護(hù)、漏電保護(hù)等功能，能在各種工況下穩(wěn)定運(yùn)行，保障設(shè)備和操作人員的安全。
產(chǎn)品兼容性佳：支持與同系列設(shè)備協(xié)同工作，可擴(kuò)展應(yīng)用場景，通過多臺真空泵的組合使用，可以滿足更大抽氣速率和更高真空度的要求，例如 SDH6000 可與 SDT600 或 SDX1200 等搭配使用。
