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氧化鋁涂層源
已經(jīng)開發(fā)了氧化鋁涂層蒸發(fā)源以替代氧化鋁坩堝舟，用于某些特定應用。這種蒸發(fā)源的優(yōu)點是傳熱好，氧化鋁對大多數(shù)金屬呈惰性。此外，蒸發(fā)劑不會潤濕氧化鋁，從而在蒸發(fā)劑熔化時不會導致舟皿發(fā)生阻力變化。由于氧化鋁的非潤濕特性，蒸發(fā)劑在熔化時會形成一個球體，從而形成點源。
與未受保護的源相比，這種類型的蒸發(fā)源壽命更長。由于熱傳導的差異，涂層源需要多出 30% 到 50% 的功率來實現(xiàn)蒸發(fā)。氧化鋁是半導體級的，通過等離子噴涂技術應用于舟或籃。應避免 1850°C 的溫度，并且當進行蒸發(fā)時，應稍微降低功率以避免過熱。
帶有氧化鋁屏障的鎢鉬舟
這種類型的光源旨在提供耐火金屬舟和陶瓷屏障的優(yōu)點。舟底暴露的金屬區(qū)域允許蒸發(fā)物與源有良好的熱接觸。氧化鋁屏障將阻止蒸發(fā)物向散熱器蔓延或潤濕整個船。
