產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品特點(diǎn)
l ? 非接觸閉式氣浮結(jié)構(gòu) ? 光柵尺閉環(huán)反饋
l ? 亞微米級重復(fù)定位精度 ? 直線度平面度優(yōu)于1μm
? 優(yōu)化線纜管理 ? 可定制化設(shè)計(jì)
應(yīng)用領(lǐng)域
QFU-A系列是一款閉式氣浮導(dǎo)軌的雙軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺，十字疊層結(jié)構(gòu)用于超精密加工、測試測量、高精度掃描、半導(dǎo)體及光子學(xué)等行業(yè)。
結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
雙軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺采用氧化鋁氣浮導(dǎo)軌、直線電機(jī)和光柵尺組成，十字疊層結(jié)構(gòu)，底軸為三氣浮導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)，上軸的運(yùn)動(dòng)行程尺寸在底軸寬度范圍內(nèi)，防止上軸出現(xiàn)懸空下塌，改善疊層后上軸的精度性能。氣浮運(yùn)動(dòng)臺為非接觸式，隨著時(shí)間地推移，不會出現(xiàn)磨損或性能下降。陶瓷材料彈性模量大、比剛度大，可有效提高系統(tǒng)剛性和帶寬，增加控制系統(tǒng)的相位裕度和幅值裕度。
精度性能
雙軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺的定位精度±0.2μm，重復(fù)定位精度±0.1μm，直線度±0.3μm，平面度±0.5μm，Pitch Roll±2arc sec，Yaw±0.8arc sec。
線纜管理
精心優(yōu)化管線彎曲半徑，防止動(dòng)作過程中線纜的拉伸影響到氣浮運(yùn)動(dòng)臺的性能，使用高質(zhì)量的線纜，以確保無故障操作。
定制化
可定制陶瓷材質(zhì)氣浮導(dǎo)軌，重復(fù)定位精度±15nm。行程可接受定制。
規(guī)格指標(biāo)
|
型號 |
單位 |
QFU-A-200-200 |
QFU-A-300-300 |
QFU-A-400-400 |
||||
|
軸系 |
— |
X |
Y |
X |
Y |
X |
Y |
|
|
行程 |
mm |
200 |
200 |
300 |
300 |
400 |
400 |
|
|
補(bǔ)償后定位精度 |
Plus (1) |
μm |
±0.15 |
±0.15 |
±0.15 |
±0.15 |
±0.2 |
±0.2 |
|
標(biāo)準(zhǔn)值 |
±0.2 |
±0.2 |
±0.3 |
±0.3 |
±0.4 |
±0.4 |
||
|
雙向重復(fù)定位精度 |
Plus (1) |
μm |
±0.075 |
±0.075 |
±0.075 |
±0.075 |
±0.1 |
±0.1 |
|
標(biāo)準(zhǔn)值 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.15 |
±0.15 |
±0.2 |
±0.2 |
||
|
直線度 (2) |
Plus (1) |
μm |
±0.1 |
±0.1 |
±0.15 |
±0.15 |
±0.3 |
±0.3 |
|
標(biāo)準(zhǔn)值 |
±0.4 |
±0.4 |
±0.75 |
±0.75 |
±1 |
±1 |
||
|
平面度 (2) |
Plus (1) |
μm |
±0.2 |
±0.2 |
±0.4 |
±0.4 |
±0.5 |
±0.5 |
|
標(biāo)準(zhǔn)值 |
±0.4 |
±0.4 |
±0.75 |
±0.75 |
±1 |
±1 |
||
|
Yaw (2) |
Plus (1) |
arc sec |
±0.4 |
±0.4 |
±0.75 |
±0.75 |
±0.8 |
±0.8 |
|
標(biāo)準(zhǔn)值 |
±1 |
±1 |
±1.5 |
±1.5 |
±2 |
±2 |
||
|
Pitch Roll (2) |
Plus (1) |
arc sec |
±0.5 |
±1 |
±1 |
±1.5 |
±1.5 |
±2 |
|
標(biāo)準(zhǔn)值 |
±1 |
±2 |
±2 |
±3 |
±3 |
±3.5 |
||
|
電子分辨率 (3) |
nm |
0.3 或 5（選配） |
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|
速度 (空載) (4) |
m/s |
1 |
||||||
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加速度 (空載) (4) |
m/s2 |
5,（10, 20 定制） |
||||||
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負(fù)載 |
kg |
20 |
||||||
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供氣壓力 (5) |
MPa |
0.5±0.05 |
||||||
注：
以上為單軸精度指標(biāo)，在潔凈間內(nèi)測試，溫度20℃±0.5℃，濕度40%~60%RH，振動(dòng)等級VC-F，測試點(diǎn)在負(fù)載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統(tǒng)精度測試與負(fù)載尺寸及測試點(diǎn)高度有關(guān)，環(huán)境的變化會導(dǎo)致精度變化，如要求非標(biāo)準(zhǔn)測試，請咨詢我們。
1. Plus值為高精度指標(biāo)，是標(biāo)準(zhǔn)值的升級版。
2. 取決于平臺安裝表面的平面度。
3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細(xì)分倍數(shù)。
4. 空載條件下指標(biāo)，最大速度和加速度取決于負(fù)載大小。
5. 為保護(hù)氣浮導(dǎo)軌不受壓力影響，建議加裝壓力保護(hù)開關(guān)。壓縮空氣必須是清潔的（過濾至0.25μm或更佳，ISO8573-1），無水（壓力露點(diǎn)-20℃，ISO8573-1級別3）及無油（ISO8573-1級別1）。
