產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品名稱:BOC EDWARDS-渦輪分子泵-STP-iXA4506
產(chǎn)品型號:STP-iXA4506
產(chǎn)品介紹:Edwards STP-iXA4506 系列磁懸浮渦輪分子泵 (TMP) 采用先進的技術(shù),為當今具有挑戰(zhàn)性的應用提供良好的性能、改進的氣流能力和高溫管理。 STP-iXA4506 TMP 在 12-16 英寸(300-400 毫米)入口法蘭上實現(xiàn)了 4300 l/s (N2) 的抽速和高達 4300 sccm (N2) 的吞吐量,使 STP-iXA4506 TMP 成為 廣泛的大容量、高流量應用,包括半導體蝕刻、LCD 蝕刻、玻璃涂層、太陽能 PVD 和涂層 PVD。其緊密集成的設計包括一個完全密封的電子模塊,可在苛刻的工廠環(huán)境中實現(xiàn)穩(wěn)健、可靠的運行。 而且,與我們所有的磁懸浮 TMP 一樣,無機械軸承實際上去除了定期維護的成本。
性能特點:
溫度管理系統(tǒng)(TMS)單元可用于產(chǎn)生副產(chǎn)品的過程。
可選的 B* 涂層可適用于使用 TMS 的高通量工藝。
完全集成的控制器和電源去除了對電纜和單獨的控制器機架的需求,從而形成了具有成本效益的緊湊型 TMP 封裝,安裝速度快、安裝方便、占地面積小。
該泵將在冷卻水供應高達 35°C 的情況下運行。
參數(shù):
出口法蘭:KF40
允許背壓:266(2)Pa(Torr)
max氣體流量N2:4300
max氣體流量Ar:2600
額定轉(zhuǎn)速:24,240rpm
啟動時間:≤11分鐘
安裝位置:任意方向
輸入電壓:200-240V
不帶TMS的max輸入功率:1700VA
有TMS的max輸入功率:2200VA
上海連航機電科技有限公司專注于為中國工業(yè)企業(yè)供應進口備品備件,提供過程控制技術(shù)詢問,工業(yè)自動化集成設計與改造,成套設備與技術(shù)引進等工業(yè)技術(shù)應用及產(chǎn)品供應服務。為緊跟工業(yè)科技發(fā)展步伐,連航分別在德國和美國設立了公司和倉儲,一舉鞏固了采購能力,擴大了由工廠直采加產(chǎn)品集散帶來的二度成本優(yōu)勢,進而提升了終端服務效率與水平。
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