Edwards愛德華STP-iXA 2206渦輪分子泵-廣州潽拓維修

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第3年

廣州潽拓光電科技有限公司

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詳細(xì)參數(shù)
品牌Edwards型號(hào)STP-iXA2206
輸送介質(zhì)水泵驅(qū)動(dòng)方式電動(dòng)泵
介質(zhì)溫度類型高溫泵材質(zhì)不銹鋼
最大出口壓力類型咨詢葉片式泵葉輪級(jí)數(shù)多級(jí)泵
葉片式泵吸入方式單吸泵葉片式泵葉輪形式半開式葉輪
葉片式泵殼體型式節(jié)段式葉片式泵泵軸位置立式泵
結(jié)構(gòu)類型咨詢顏色其他

產(chǎn)品詳情

Edwards愛德華STP-iXA 2206系列磁懸浮渦輪分子泵可提供業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的性能，可將小型電源供給集成到機(jī)載控制器內(nèi)（成熟的STP-iXA2205系列的新技術(shù)）。該泵的高度等于STP-A2203C的高度，也等于STP-iXA2205系列（不帶其電源供給(iPS-1200)）的高度。這一完全集成的產(chǎn)品易于安裝且占地面積小，可作為所有應(yīng)用工具的一體化解決方案。

用途

· 金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）

· 電子回旋共振(ECR)刻蝕

· 薄膜沉積CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD

· 濺射

· 離子注入源，射束線泵送和站

功能與優(yōu)勢

· 緊湊型設(shè)計(jì)，包括完全集成的控制器

· 創(chuàng)新性自傳感軸承系統(tǒng)

· 數(shù)字化5軸控制

· 與現(xiàn)有渦輪泵相比振動(dòng)級(jí)別降低了50%

· 可以配置為運(yùn)行腐蝕性制程

溫馨提示

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