產(chǎn)品詳情
製品名シリコンウェハ溫度測定用放射溫度計型番IS12-Si
IS12Siはシリコンウェハ用フルデジタル放射溫度計です。
最速8msecの高速応答、短波長での検出で、シリコンウェハの溫度を高精度で測定できます。
用 途
- シリコンウェハ専用に設(shè)計された放射溫度計です。
特 長
- シリコンウェハ専用の放射溫度測定器
- 高速応答（最速10msec）が可能なので、溫度変化の激しい試料や高速で移動する試料の溫度測定に適しています。応答速度は10sまで設(shè)定できます。
- 小スポット測定を?qū)g現(xiàn)しているので、小さい試料（サンプル）でも測定できます。
- 6種類の固定焦點レンズ、3種類の可動焦點レンズを備えていますので、正確な溫度測定が可能となります。
- 完全デジタル回路で高い精度と安定性自由な溫度範(fàn)囲をスケーリングします。
- 値保持回路を內(nèi)蔵しているので、移動物體の測定にも適しています。
- 固定焦點レンズと可動焦點レンズを選択できます。
- 標(biāo)準(zhǔn)添付の専用計測ソフト（Windows用）でデータの記録とパラメータ設(shè)定ができます。
-
直視ファインダー內(nèi)の焦點スポットで、測定対象の位置を正確に家訓(xùn)できます。
また、より正確な位置確認(rèn)のためのレーザーパイロットライトもオプションで使用できるようになります。
仕 様
| 溫度範(fàn)囲 | 400～1300℃、400～900℃、350～1000℃、500～1800℃ |
|---|---|
| 検出波長 |
近赤外の狹波長域（シリコンウェハの溫度測定用に最適な波長を選択しています。） |
- インターフェースは、RS232またはバス接続ができるRS485を切り替え可能です。
基本システム構(gòu)成図
5/12/140シリーズ
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アクセサリー
 冷卻ジャケット |
 冷卻板 |
 エアパージ管 |
 ROT10 回転ミラースキャニング |
 ボール＆ソケット固定臺 鋼製 |
 ボール ソケット固定臺 |
 LED デジタル表示器 |
 NG 0 DC24V電源裝置 |
