產(chǎn)品詳情
外延層質(zhì)量應滿足:晶體結(jié)構(gòu)完整、電阻率精確而均勻、日本HD滑動軌道諧波CSF-11-30-2A-R外延層厚度均勻且在范圍內(nèi)、表面光潔,無氧化和白霧、表面缺陷(角錐體、乳突、星形缺陷等)和體內(nèi)缺陷(位錯、層錯、滑移線等)要少。
外延質(zhì)量檢驗內(nèi)容包括:電阻率、雜質(zhì)濃度分布、外延層厚度、日本HD滑動軌道諧波CSF-11-30-2A-R少子壽命及遷移率、夾層位錯與層錯密度、表面缺陷等。生產(chǎn)中通常檢測項目是缺陷密度、電阻率和外延層厚度。外延層厚度測量方法有層錯法、磨角或滾槽染色法、直讀法、紅外干涉法等。電阻率測量的方法有四探針法、三探針法、電容—電壓法、擴展日本HD滑動軌道諧波CSF-11-30-2A-R電阻法,對于外延層電阻率較高或者厚度較薄的外延層往往采用電容—電壓法、擴展電阻法等。