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    太陽(yáng)能光伏擴(kuò)散爐 廠家直銷

    數(shù)量(臺(tái)) 價(jià)格
    1 1.00元/臺(tái)
    • 最小起訂: 1臺(tái)
    • 發(fā)貨地址: 山東 青島市
    • 發(fā)布日期:2024-09-19
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    1

    青島福潤(rùn)德微電子設(shè)備有限公司

    實(shí)名認(rèn)證 企業(yè)認(rèn)證
    • 聯(lián)系人:徐魯陽(yáng)
    • 手機(jī):13668894181
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    • 營(yíng)業(yè)執(zhí)照:已審核 營(yíng)業(yè)執(zhí)照
    • 經(jīng)營(yíng)模式: -
    • 所在地區(qū):山東 青島市
    • 家家通積分:570分

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    詳細(xì)參數(shù)
    品牌其他型號(hào)擴(kuò)散爐
    類型其他加工定制
    規(guī)格尺寸其他

    產(chǎn)品詳情

    太陽(yáng)能擴(kuò)散爐主要滿足光伏電池生產(chǎn)線對(duì)125mm×125mm、156mm×156mm多晶硅、單晶硅硅片進(jìn)行擴(kuò)散工藝。目前有第二代閉管擴(kuò)散爐和第三代軟著陸擴(kuò)散爐。 
    技術(shù)指標(biāo):
    可處理硅片尺寸:125mm×125mm、156mm×156mm
    外型形式:臥式1—4管結(jié)構(gòu)
    載片量:400片/管
    擴(kuò)散方式:閉管擴(kuò)散、軟著陸全封閉
    工作溫度:200℃—1300℃
    恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度:200mm—1100mm≤±1℃
    單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性、重復(fù)性: ≤±1℃/24h
    溫度控制:5段控溫
    總功率:120KVA
    送片裝置:懸臂推拉舟,碳化硅槳最大載重17kg
    氣路系統(tǒng):1—5路工藝氣體/管
    氣體控制:進(jìn)口MFC
    控制方式:工控機(jī)、觸摸屏
    Thinnerwafers:180Um
    Break rate:0.8%
    方阻均勻度范圍:片內(nèi)±5%,片間±5%,批間±5%

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