產(chǎn)品詳情
? ?設備槪況
1.??尺寸(參考)：約?6200W×2000D×2400H（(具體尺寸根據(jù)實際圖紙確定）
2.??清洗件規(guī)格：一次性可清洗8寸晶片 兩籃
3.??典型生產(chǎn)節(jié)拍：5~10min/籃(清洗節(jié)拍連續(xù)可調(diào)）
4.??門：PVC透明視窗
主題構造特點
設備由是在一個
? 設備槪況
1.??尺寸(參考)：約?6200W×2000D×2400H（(具體尺寸根據(jù)實際圖紙確定）
2.??清洗件規(guī)格：一次性可清洗8寸晶片 兩籃
3.??典型生產(chǎn)節(jié)拍：5~10min/籃(清洗節(jié)拍連續(xù)可調(diào)）
4.??門：PVC透明視窗
? 主題構造特點
設備由是在一個腐蝕的環(huán)境，我們設備的排風方式，臺面下抽風，每套工藝清洗槽都有自動開閉的槽蓋，槽蓋下有單獨的抽風裝置。
設備結構外型，整機主要由機架、工藝槽體、機械手傳輸系統(tǒng)、排風系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、水路系統(tǒng)及氣路系統(tǒng)等組成。
由于工藝槽內(nèi)藥液腐蝕性強，設備需要做防腐處埋：
1.??設備機架采用碳鋼結構骨架進口PVC板包塑；
2.??殼體采用鏡面SUS316L不銹鋼焊接，制程區(qū)由耐腐蝕的SUS316L板材組臺焊接而成；
3.??電氣區(qū)設置在設備后上部，與濕區(qū)和管路區(qū)完全隔離；
4.??槽體材料選用耐相應溶液腐蝕的材料；
5.??機械手探入濕區(qū)部分的零部件表面噴氟或套PFA管處埋。
腐蝕的環(huán)境，我們設備的排風方式，臺面下抽風，每套工藝清洗槽都有自動開閉的槽蓋，槽蓋下有單獨的抽風裝置。設備結構外型，整機主要由機架、工藝槽體、機械手傳輸系統(tǒng)、排風系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、水路系統(tǒng)及氣路系統(tǒng)等組成。
由于工藝槽內(nèi)藥液腐蝕性強，設備需要做防腐處埋：
1.??設備機架采用碳鋼結構骨架進口PVC板包塑；
2.??殼體采用鏡面SUS316L不銹鋼焊接，制程區(qū)由耐腐蝕的SUS316L板材組臺焊接而成；
3.??電氣區(qū)設置在設備后上部，與濕區(qū)和管路區(qū)完全隔離；
4.??槽體材料選用耐相應溶液腐蝕的材料；
5.??機械手探入濕區(qū)部分的零部件表面噴氟或套PFA管處埋。
