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外部空氣由管道經(jīng)過防爆裝置進入降壓段，降低風速后進入等離子段，和中性粒子組成。等離子分為平衡等離子和非平衡等離子，低溫等離子體主要由氣體放電產生氣體經(jīng)過等離子氣體凈化裝置的反應器區(qū)域時，等子體中的活性自由基可以有效的破壞各種病毒、組菌中的核酸，蛋白質，使其不能進行正常的代謝和生物合成，從而導致其死亡。在高能電子和自由基強氧化等多重作用下，氣體中的有機物分子鏈被斷開，發(fā)生一系列復雜的氧化還原反應，生產C02，H20等無害物質，正負離子可以清新空氣。另外，借助等離子體中的離子與物體的凝并作用，可以對小至亞微米級的細微顆粒物（0.1-3微米）進行有效的收集。在經(jīng)過光氧催化段，進行氧化還原反應，利用特制的高能高臭UV紫外線光束照射廢氣，裂解工業(yè)廢氣，臭氧是一種強氧化劑，也是世界公認的光譜高效殺菌消毒劑。臭氧比氧分子多了一個活躍的氧原子，化學性質特別活躍。其強大氧化性，既可以氧化分解有機物，也可以分解無機物，對主要臭氧氨、C3H9N、甲苯、二甲苯、甲硫醇、甲硫醚、二硫化碳、苯乙烯都可以裂解。在臭氧的作用下，這些有機污染物由大分子物質被分解為小分子物質，沒有任何有毒殘留，不會形成二次污染，被譽為“最清潔的氧化劑和消毒劑”，在特定波長的高能UV紫外線的照射下產生催化作用，使周圍的水分子及空氣激發(fā)生成ji具活性的自由基、臭氧等。這些基團氧化能力很強，能裂解氧化廢氣中揮發(fā)性有機物質分子鏈，改變物質結構，將高分子污染物質裂解、氧化為低分子無害物質，其去除效率可99%。
低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應以達到降解污染物的目的。一般氣體放電，將會產生等離子，而這種放電現(xiàn)像就是通過某種機制使一個或者多個電子從氣體原理或分子中分離出來，形成氣體媒質，這種媒質就稱為電離氣體，如果外電場產生了電離氣體，傳導電流就形成了，這種現(xiàn)象就被稱為氣體放電。而這種凈化設備的技術，就是工業(yè)廢氣處理最新的一種原理。
