Agilent在展會期間宣布,為單芯片系統(tǒng)(SOC)、閃存和參數(shù)測試提供新型的測試解決方案。并將在Versatest內(nèi)存測試系列中增加一款新產(chǎn)品—— Agilent V4000,同時(shí)將推出為中國市場量身定制的新型參數(shù)測試系統(tǒng)。Agilent Versatest V4000,讓工程師在辦公室桌面上即可完成代碼驗(yàn)證。安捷倫科技半導(dǎo)體測試事業(yè)部上海分公司總經(jīng)理于慶鎖介紹,V4000是一套完整的單一平臺系統(tǒng),適用于從工程開發(fā)到大批量生產(chǎn)的完整流程,通過使用與生產(chǎn)測試系統(tǒng)相同的Site模塊和軟件,讓工程師在桌面上或在分布式工作環(huán)境中開發(fā)測試腳本,而不會降低性能及兼容性。
省錢的解決方案
提高自身的市場競爭力,降低成本,提高產(chǎn)出是各半導(dǎo)體制造廠與封裝廠追求的目標(biāo)。設(shè)備廠商也在性價(jià)比方面潛心鉆研,為制造廠商提供了多種省錢的方法。
致力于為用戶提供低成本測試解決方案的Credence提出了設(shè)備“能滿足用戶10年需求”的概念。Credence亞洲區(qū)總經(jīng)理Peter Zung說：“Credence在儀器設(shè)計(jì)階段就以用戶能使用10年為標(biāo)準(zhǔn)�！北ＷC了設(shè)備的使用壽命,設(shè)備的折舊就得到了有效的降低。在一些價(jià)格敏感的測試領(lǐng)域,為了降低測試成本,延長測試設(shè)備的使用時(shí)間,同時(shí)縮短測試周期,Credence的同一平臺測試產(chǎn)品擁有多種測試儀器供用戶選擇,單個(gè)芯片的測試成本有時(shí)可低至幾分錢。Credence的產(chǎn)品以性價(jià)比高為主要特點(diǎn),由于公司專注于ATE市場,順應(yīng)市場變化而將產(chǎn)品轉(zhuǎn)型的速度更快,平臺的更新也較競爭對手有更高的頻率。
Peter Zung （Credence）：在儀器設(shè)計(jì)階段就以用戶能使用10年為標(biāo)準(zhǔn),能有效降低測試成本。
如何通過減少設(shè)備的采購、減少后期的維護(hù)與運(yùn)營成本而達(dá)到更好的檢測效果也是晶圓廠追求的目標(biāo)。此次Applied Materials在SEMICON China期間重點(diǎn)介紹的ComPlus晶圓圖像檢測系統(tǒng)即是對這一追求理念的體現(xiàn)。ComPlus是針對90nm~45nm技術(shù)而設(shè)計(jì)的,用于光刻后線寬的檢測。ComPlus采用全自動化操作,可以7天24小時(shí)運(yùn)行,避免了人為因素的影響。同時(shí)由于提高了設(shè)備的重復(fù)性和穩(wěn)定性,使設(shè)備之間的誤差降低到了1nm以下,從而避免了不同系統(tǒng)間檢測的差異,解決了光刻后檢測的瓶頸。自動化與系統(tǒng)的高重復(fù)和穩(wěn)定性保證了晶圓廠可以使用更少的設(shè)備進(jìn)行檢測�！叭坎捎肅omPlus作為檢測設(shè)備后,與同類產(chǎn)品相比可節(jié)省30％的設(shè)備數(shù)量,同時(shí)減少占地面積,減少操作人員。而且由于設(shè)計(jì)水平已達(dá)到45nm,所以既使在領(lǐng)先的晶圓廠,其使用壽命也將在5年以上�！�
Advanced Energy為了降低了產(chǎn)品的制造成本,已于2003年初在深圳設(shè)立了制造廠,到2004年底,該公司70％的電源和流量計(jì)產(chǎn)品都將在深圳生產(chǎn)�！半m然Advanced Energy的主要客戶是設(shè)備OEM廠商,如Applied Materials、Lam Research、Novellus等公司,但在中國生產(chǎn)的成本降低遠(yuǎn)大于運(yùn)輸?shù)荣M(fèi)用,而且可以為中國客戶提供最有價(jià)格競爭力的高質(zhì)量產(chǎn)品�！� Advanced Energy執(zhí)行副總裁兼市場官員Craig Jeffries說。
FSI也以化學(xué)品消耗少、產(chǎn)量高、靈活性高,使用成本低,一個(gè)系統(tǒng)可以使用多種技術(shù)為追求目標(biāo)。FSI主席兼首席執(zhí)行官Don Mitchell說：“Mercury系統(tǒng)在中國的大量使用,正好說明了我們在中國芯片制造商降低成本中所起的作用,因?yàn)槭褂肍SI設(shè)備的中國工廠都享受到低運(yùn)行成本和低風(fēng)險(xiǎn)的好處�！�
外延設(shè)備供應(yīng)商LPE和刻蝕與清洗設(shè)備供應(yīng)商Stangl由于主要為研究所或分立元器件或6寸以下半導(dǎo)體制造公司提供小型化或簡單設(shè)備,準(zhǔn)確的市場定位避免了為設(shè)備配置不必要的功能,與一些小型化的二手設(shè)備相比,他們的設(shè)備性能更高,技術(shù)更新,也是一些客戶省錢的選擇之一。
一些中國臺灣、新加坡和為數(shù)不多的中國本土廠商的展臺前也經(jīng)常是人頭攢動。相對于歐美公司,他們的產(chǎn)品更具有成本優(yōu)勢。臺灣漢民（Hermes-Epitek）的電子束檢測等設(shè)備、新加坡奕力（ellipsiz）的半導(dǎo)體制造解決方案、三佳集團(tuán)的封裝模具設(shè)備都成為了觀眾關(guān)注的熱點(diǎn)。
GE Global Electronics Solutions中國區(qū)高級設(shè)備銷售經(jīng)理吳應(yīng)煌還向中國客戶推薦了一種“設(shè)備租賃”的國際模式,即不用花太多的錢租賃新設(shè)備,保持技術(shù)的領(lǐng)先性,租賃1~3年后再換更新的設(shè)備。這種模式在一些國際領(lǐng)先的半導(dǎo)體廠有成功的應(yīng)用范例,而當(dāng)中國的技術(shù)水平提高后,也將是一種保持技術(shù)領(lǐng)先性的省錢的解決方案�！笆褂枚衷O(shè)備在產(chǎn)品和技術(shù)還不確定的情況下是一種非常好的解決方案,業(yè)界應(yīng)該轉(zhuǎn)變使用二手設(shè)備代表技術(shù)落后的負(fù)面反應(yīng)�！眳菓�(yīng)煌說。
e化服務(wù)
7×24的生產(chǎn)需要7×24的產(chǎn)品支持,以確保設(shè)備正常運(yùn)行時(shí)間的最大化。KLA-Tencor引入了在線支持的功能－iSupport,在提供傳統(tǒng)現(xiàn)場專家服務(wù)的基礎(chǔ)上提供7×24的在線技術(shù)專家支持。本地化語言,以及遠(yuǎn)程診斷等功能均被嵌入到了每一套KLA-Tencor設(shè)備中。前20位半導(dǎo)體制造商中有17家正在使用iSupport功能。從反饋的情況來看,近30％的問題完全可以利用iSupport解決,大于60％的問題可以通過在線支持的協(xié)助而解決,因此有效的減少了現(xiàn)場工程師的診斷時(shí)間,加快了故障的排除。
伊智（Electroglas）在本屆展會上推出了基于網(wǎng)絡(luò)的工藝分析與控制軟件SORTmanager R4,它提供的網(wǎng)絡(luò)環(huán)境將晶圓探針臺與終測機(jī)械手設(shè)備連接到更廣泛的測試設(shè)備,然后通過網(wǎng)絡(luò)瀏覽器收集、分析重要的測試工藝信息,送給相關(guān)人員,迅速采取行動,以提供測試的總體效果,Electroglas亞洲區(qū)副總裁Dan Fields介紹說。
合作打市場
中國半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)還處于起步階段,中國的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商正在采用與領(lǐng)先設(shè)備廠商合作的方法獲得相關(guān)技術(shù),利用自己的成本優(yōu)勢,迅速進(jìn)入市場。
