產(chǎn)品詳情
深圳市玥祥隆科技有限公司生產(chǎn)的硅溶膠拋光液產(chǎn)品特點如下：
1.分散性好、不結晶 。2.粒徑分布廣泛：5-100nm。3.高純度(Cu2+含量小于50 ppb)，有效減小對電子類產(chǎn)品的沾污。
4.經(jīng)特殊工藝合成的化學機械拋光液，納米顆粒呈球形，單分散，大小均勻，粒徑分布窄，可獲得高質量的拋光精度。5.適合與各種拋光墊、合成材料配合拋光使用。
6.PH、粒徑、穩(wěn)定離子等可以根據(jù)客戶定制(10-150 nm)
應用領域
硅片、硬盤基片、二氧化硅、藍寶石、精密光學器件等的拋光。
拋光過程中具有：
1.高拋光速率，利用大粒徑的膠體二氧化硅粒子達到高速拋光的目的。（可以生產(chǎn)150 nm）。
2.高平坦度加工，本品拋光是利用SiO2的膠體粒子，不會對加工件造成物理損傷，達到高平坦化加工。
拋光過程后具有：
1.精度可以達到埃級
2.劃傷和挖傷可以達到0/0
拋光液物性表
主要成分： 外觀： 密度： pH值：
SiO2 白色液體 1.15±0.05 9.8±0.5
拋光溫度： 稀釋率＜1： 拋光壓力：
10～38℃ 1～10 150～250g／cm＆sup2
使用方法：
1.可根據(jù)拋光操作條件用去離子水進行5-20倍稀釋。
2.稀釋后，粗拋時調節(jié)PH至11左右，精拋時調節(jié)PH至9.5左右。
3.循環(huán)拋光可以用原液。
儲存方法：
1.貯存時應避免曝曬，貯存溫度為5-35℃
2.低于0℃以上儲存，防止結冰，在零度以下因產(chǎn)生不可再分散結塊而失效。
3.避免敞口長期與空氣接觸。
