產(chǎn)品詳情
晶圓結(jié)合系統(tǒng)ASx系列全自動(dòng)掩模機(jī)
詳詢請(qǐng)致電：吳工 132，4667.5433
ASx系列
SUSSs ASx系列為加工掩模和250nm至90nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)提供了先進(jìn)的烘烤、顯影和清潔方法。其可靠性、穩(wěn)定性和高性能使平臺(tái)能夠滿足無損加工掩模的要求，用于 248 nm 和 193 nm 光刻工藝。
型號(hào)：ASC 5500、APB9500、ASP5500
亮點(diǎn)：
的第一遍清洗效果，從而延長光掩模的使用壽命
占地面積?。?200 x 1200 mm），低總體擁有成本
高可靠性和可用性
已售出超過250臺(tái)Asx
最尖端的先進(jìn)烘烤技術(shù)——適合最小14 nm節(jié)點(diǎn)及以上
一、先進(jìn)的單基板清洗機(jī)ASC 5500
產(chǎn)品特點(diǎn)：
晶圓尺寸：4、6、8英寸
小片的專用工具
二、曝光后烘烤系統(tǒng)APB9500
標(biāo)準(zhǔn)、曝光后烘烤
符合 SEMI S2、S8、S13
CE認(rèn)證
符合歐洲標(biāo)準(zhǔn)和機(jī)械指令 2006/42/EC、EMC- 2004/108/EC 和低電壓指令 2006/95/EC
DIN ISO 14.644 2 級(jí)
SECS/GEM 200/300 mm 工廠自動(dòng)化標(biāo)準(zhǔn)接口
三、顯影系統(tǒng)ASP5500
采用A+噴嘴在整個(gè)掩模上連續(xù)涂布介質(zhì)，使顯影的沖擊力最小化。
顯影劑主動(dòng)脫氣，可防止微氣泡的產(chǎn)生，實(shí)現(xiàn)低的缺陷計(jì)數(shù)。
將PEB升級(jí)為含APB的集群設(shè)備
高效的化學(xué)過濾（胺/酸）和精確的溫、濕度控制
含SMIF裝/卸載的全自動(dòng)化
增強(qiáng)的工藝控制與監(jiān)測(cè)功能
與曝光后烘烤系統(tǒng)APB9500結(jié)合，獲得效果
德國SUSS MicroTec主要產(chǎn)品：
一、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)和噴霧涂膠機(jī)：
自動(dòng)涂膠機(jī)與顯影機(jī)：ACS300 Gen3、ACS300 Gen2、ACS200 Gen3、ACS200 Gen3TE
半自動(dòng)涂膠與顯影機(jī)：RCD8、ECD8、HP8熱板
手動(dòng)涂膠機(jī)與顯影機(jī)：LabSpin6 / LabSpin8
二、噴墨打印機(jī)
JETxSM24噴墨打印機(jī)、JETx噴墨打印機(jī)、LP50打印機(jī)
三、光刻機(jī)、掩模對(duì)準(zhǔn)機(jī)
全自動(dòng)：MA300 Gen3、MA200 Gen3、MA100/150e Gen2
半自動(dòng)：MA12 Gen3、MA8 Gen5、MA/BA Gen4 Series
手動(dòng)：MJB4
四、測(cè)量系統(tǒng)
全自動(dòng):DSM8/200 Gen2
五、晶圓結(jié)合系統(tǒng)、自動(dòng)貼片機(jī)
全自動(dòng)：XBC300 Gen2 D2W/W2W、XBC300 Gen2、XBS300、XBS300W2W、XBS200
半自動(dòng)： BA Gen4 Serie、DB12T、LD12、SB6/8Gen2、XB8
六、光掩模設(shè)備
全自動(dòng)：MaskTrack Pro系列、ASx Serie
半自動(dòng)：HMx Serie
七、投影掃描光刻機(jī)
全自動(dòng)：DSC300 Gen3
蘇斯微SUSS MicroTec 晶圓鍵合系統(tǒng)
德國suss AS8勻膠機(jī)，HP8熱板還有l(wèi)abspin8（labspin6）勻膠機(jī)
德國Polytec掃描儀、激光測(cè)振儀、光學(xué)頭、光學(xué)振動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)主要型號(hào)：
激光振動(dòng)計(jì)、光學(xué)測(cè)振儀
激光多普勒測(cè)振儀
激光測(cè)振計(jì)
（激光）多普勒振動(dòng)傳感器
非接觸式振動(dòng)傳感器/測(cè)量儀
光學(xué)振動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)
【一】單點(diǎn)式激光測(cè)振儀
CLV-2534-3激光測(cè)振儀
IVS-500 工業(yè)用激光測(cè)振儀
VFX-F-110激光測(cè)振儀
VibroFlex QTec VFX-I-160超低噪聲光學(xué)頭
VibroGo便攜式激光測(cè)振儀
【二】全場(chǎng)掃描式激光測(cè)振儀
VibroScan QTec Xtra、VibroScan QTec Xtra 3D全場(chǎng)掃描式激光測(cè)振儀
PSV QTec 3D超低噪聲三維掃描式激光測(cè)振儀
PSV QTec超低噪聲掃描式激光測(cè)振儀
ROBOVIB 機(jī)器人測(cè)振站
PSV-500-3D 掃描式激光測(cè)振儀：PSV-500-3D-H、PSV-500-3D-M、PSV-500-3D-HV
PSV-500 掃描式激光測(cè)振儀：PSV-500-B增強(qiáng)型、PSV-500-B高分率型、PSV-500-H、PSV-500-M、PSV-500-HV
MPV-800 多點(diǎn)式激光測(cè)振儀
【三】特殊應(yīng)用激光測(cè)振儀
VibroFlex Range 超遠(yuǎn)距離激光測(cè)振儀
RLV-5500 旋轉(zhuǎn)式激光測(cè)振儀
HSV-100 高速型激光測(cè)振儀
IPV-100 面內(nèi)激光測(cè)振儀
【四】顯微式激光測(cè)振儀
MSA-650 IRIS顯微式激光測(cè)振儀
MSA-600 顯微式激光測(cè)振儀 ：MSA-600-M (標(biāo)準(zhǔn)) MSA-600-V (帶寬擴(kuò)展)
MSA-100-3D顯微式測(cè)振儀
MSA-050顯微式激光測(cè)振儀
【五】形貌測(cè)量儀
Pro.Surf大視場(chǎng)3D輪廓儀
Micro.View白光干涉儀
關(guān)于 Polytec已停產(chǎn)的型號(hào)（具體停產(chǎn)時(shí)間可能因產(chǎn)品線更新而異）：
【1. 激光測(cè)振儀（Laser Vibrometers）】
OFV-5000系列 （早期型號(hào)，已被OFV-5500/OFV-6000替代）
OFV-3000系列 （較老版本）
RSV-150 （遠(yuǎn)程振動(dòng)傳感系統(tǒng)，部分功能由新系統(tǒng)替代）
【2. 工業(yè)傳感器（Industrial Sensors）】
ILD 1400/1700 （舊版激光位移傳感器）
ILD 2200 （早期型號(hào)，后續(xù)被ILD 2300等替代）
OADM 12/I （舊版光學(xué)距離傳感器）
【3. 其他光學(xué)系統(tǒng)】
PSV-300/400 （掃描式激光測(cè)振儀，已被PSV-500系列取代）
VibroFlex （某些舊型號(hào)）
韓國Allsensor壓力變送器、壓力傳感器、數(shù)字壓力表、液位開關(guān)
完整型號(hào)：
P201DHV0001MMPD、P204GH0010MPAM
P601GH0010MPET、P601SGH01MPTT、P601NGH01MPTT
PS101DM0015KAD、PS101DM0012KAD、PS101M0015KDAD、PS100M003KGID
P801HV0001MDAD、P400GH0010MPAT
【一】液位計(jì)：HT100、HI4200（電容式液位傳感器），適用于工業(yè)液體監(jiān)測(cè)
液位開關(guān)系列：LS400、L201、L101、L102、L103、LT301、D400TK、HI 4200
有防爆認(rèn)證的壓力傳感器：
P603DH-03PG-J1EKT1、P601、P400、P400S、P601S
【二】壓力傳感器系列：
P206、P701、P604N、P201、P201S、P204、P203
P601N、P601RN、P601L1、P301、P202、P201D、PS101、PS100、HI4200
【三】溫度傳感器：
T300H0100CPET、T300RH0100CPRT、T500A0100CPE、T200H0100CPET、T203H0100CPET、T204H0100CPET、T105H0100CP、T150、HI4200數(shù)顯表
【四】液位傳感器、液位變送器系列：
LS400N0000TT、L201DHL4000HMFT、L101GHL1000HPAC、L102GHL1000HPAT、L103GHL1000HPBC、LT301N1000MST、D400TKXXX
【五】食品行業(yè)用壓力傳感器：
P601SGH0010MPUT防爆壓力傳感器
P400SGH0010MPAT防爆壓力傳感器
P201SGH0010MPAD隔膜壓力傳感器
【六】隔膜閥
FFS系列、FCS系列、EFS系列、PFS系列、PES系列、DFS系列、RFS系列
RBS50系列、RBS80系列、DSS系列、DSI系列、STS系列、SHS系列、DRD系列、FTS系列
P601GH0010MPET、P801HV0001MDAD、P601SGH0010MPTT/1.5S/316L/DT、PS101M0015KDAD
詳詢請(qǐng)致電：吳工 132，4667.5433
ASx系列
SUSSs ASx系列為加工掩模和250nm至90nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)提供了先進(jìn)的烘烤、顯影和清潔方法。其可靠性、穩(wěn)定性和高性能使平臺(tái)能夠滿足無損加工掩模的要求，用于 248 nm 和 193 nm 光刻工藝。
型號(hào)：ASC 5500、APB9500、ASP5500
亮點(diǎn)：
的第一遍清洗效果，從而延長光掩模的使用壽命
占地面積?。?200 x 1200 mm），低總體擁有成本
高可靠性和可用性
已售出超過250臺(tái)Asx
最尖端的先進(jìn)烘烤技術(shù)——適合最小14 nm節(jié)點(diǎn)及以上
一、先進(jìn)的單基板清洗機(jī)ASC 5500
產(chǎn)品特點(diǎn)：
晶圓尺寸：4、6、8英寸
小片的專用工具
二、曝光后烘烤系統(tǒng)APB9500
標(biāo)準(zhǔn)、曝光后烘烤
符合 SEMI S2、S8、S13
CE認(rèn)證
符合歐洲標(biāo)準(zhǔn)和機(jī)械指令 2006/42/EC、EMC- 2004/108/EC 和低電壓指令 2006/95/EC
DIN ISO 14.644 2 級(jí)
SECS/GEM 200/300 mm 工廠自動(dòng)化標(biāo)準(zhǔn)接口
三、顯影系統(tǒng)ASP5500
采用A+噴嘴在整個(gè)掩模上連續(xù)涂布介質(zhì)，使顯影的沖擊力最小化。
顯影劑主動(dòng)脫氣，可防止微氣泡的產(chǎn)生，實(shí)現(xiàn)低的缺陷計(jì)數(shù)。
將PEB升級(jí)為含APB的集群設(shè)備
高效的化學(xué)過濾（胺/酸）和精確的溫、濕度控制
含SMIF裝/卸載的全自動(dòng)化
增強(qiáng)的工藝控制與監(jiān)測(cè)功能
與曝光后烘烤系統(tǒng)APB9500結(jié)合，獲得效果
德國SUSS MicroTec主要產(chǎn)品：
一、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)和噴霧涂膠機(jī)：
自動(dòng)涂膠機(jī)與顯影機(jī)：ACS300 Gen3、ACS300 Gen2、ACS200 Gen3、ACS200 Gen3TE
半自動(dòng)涂膠與顯影機(jī)：RCD8、ECD8、HP8熱板
手動(dòng)涂膠機(jī)與顯影機(jī)：LabSpin6 / LabSpin8
二、噴墨打印機(jī)
JETxSM24噴墨打印機(jī)、JETx噴墨打印機(jī)、LP50打印機(jī)
三、光刻機(jī)、掩模對(duì)準(zhǔn)機(jī)
全自動(dòng)：MA300 Gen3、MA200 Gen3、MA100/150e Gen2
半自動(dòng)：MA12 Gen3、MA8 Gen5、MA/BA Gen4 Series
手動(dòng)：MJB4
四、測(cè)量系統(tǒng)
全自動(dòng):DSM8/200 Gen2
五、晶圓結(jié)合系統(tǒng)、自動(dòng)貼片機(jī)
全自動(dòng)：XBC300 Gen2 D2W/W2W、XBC300 Gen2、XBS300、XBS300W2W、XBS200
半自動(dòng)： BA Gen4 Serie、DB12T、LD12、SB6/8Gen2、XB8
六、光掩模設(shè)備
全自動(dòng)：MaskTrack Pro系列、ASx Serie
半自動(dòng)：HMx Serie
七、投影掃描光刻機(jī)
全自動(dòng)：DSC300 Gen3
蘇斯微SUSS MicroTec 晶圓鍵合系統(tǒng)
德國suss AS8勻膠機(jī)，HP8熱板還有l(wèi)abspin8（labspin6）勻膠機(jī)
德國Polytec掃描儀、激光測(cè)振儀、光學(xué)頭、光學(xué)振動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)主要型號(hào)：
激光振動(dòng)計(jì)、光學(xué)測(cè)振儀
激光多普勒測(cè)振儀
激光測(cè)振計(jì)
（激光）多普勒振動(dòng)傳感器
非接觸式振動(dòng)傳感器/測(cè)量儀
光學(xué)振動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)
【一】單點(diǎn)式激光測(cè)振儀
CLV-2534-3激光測(cè)振儀
IVS-500 工業(yè)用激光測(cè)振儀
VFX-F-110激光測(cè)振儀
VibroFlex QTec VFX-I-160超低噪聲光學(xué)頭
VibroGo便攜式激光測(cè)振儀
【二】全場(chǎng)掃描式激光測(cè)振儀
VibroScan QTec Xtra、VibroScan QTec Xtra 3D全場(chǎng)掃描式激光測(cè)振儀
PSV QTec 3D超低噪聲三維掃描式激光測(cè)振儀
PSV QTec超低噪聲掃描式激光測(cè)振儀
ROBOVIB 機(jī)器人測(cè)振站
PSV-500-3D 掃描式激光測(cè)振儀：PSV-500-3D-H、PSV-500-3D-M、PSV-500-3D-HV
PSV-500 掃描式激光測(cè)振儀：PSV-500-B增強(qiáng)型、PSV-500-B高分率型、PSV-500-H、PSV-500-M、PSV-500-HV
MPV-800 多點(diǎn)式激光測(cè)振儀
【三】特殊應(yīng)用激光測(cè)振儀
VibroFlex Range 超遠(yuǎn)距離激光測(cè)振儀
RLV-5500 旋轉(zhuǎn)式激光測(cè)振儀
HSV-100 高速型激光測(cè)振儀
IPV-100 面內(nèi)激光測(cè)振儀
【四】顯微式激光測(cè)振儀
MSA-650 IRIS顯微式激光測(cè)振儀
MSA-600 顯微式激光測(cè)振儀 ：MSA-600-M (標(biāo)準(zhǔn)) MSA-600-V (帶寬擴(kuò)展)
MSA-100-3D顯微式測(cè)振儀
MSA-050顯微式激光測(cè)振儀
【五】形貌測(cè)量儀
Pro.Surf大視場(chǎng)3D輪廓儀
Micro.View白光干涉儀
關(guān)于 Polytec已停產(chǎn)的型號(hào)（具體停產(chǎn)時(shí)間可能因產(chǎn)品線更新而異）：
【1. 激光測(cè)振儀（Laser Vibrometers）】
OFV-5000系列 （早期型號(hào)，已被OFV-5500/OFV-6000替代）
OFV-3000系列 （較老版本）
RSV-150 （遠(yuǎn)程振動(dòng)傳感系統(tǒng)，部分功能由新系統(tǒng)替代）
【2. 工業(yè)傳感器（Industrial Sensors）】
ILD 1400/1700 （舊版激光位移傳感器）
ILD 2200 （早期型號(hào)，后續(xù)被ILD 2300等替代）
OADM 12/I （舊版光學(xué)距離傳感器）
【3. 其他光學(xué)系統(tǒng)】
PSV-300/400 （掃描式激光測(cè)振儀，已被PSV-500系列取代）
VibroFlex （某些舊型號(hào)）
韓國Allsensor壓力變送器、壓力傳感器、數(shù)字壓力表、液位開關(guān)
完整型號(hào)：
P201DHV0001MMPD、P204GH0010MPAM
P601GH0010MPET、P601SGH01MPTT、P601NGH01MPTT
PS101DM0015KAD、PS101DM0012KAD、PS101M0015KDAD、PS100M003KGID
P801HV0001MDAD、P400GH0010MPAT
【一】液位計(jì)：HT100、HI4200（電容式液位傳感器），適用于工業(yè)液體監(jiān)測(cè)
液位開關(guān)系列：LS400、L201、L101、L102、L103、LT301、D400TK、HI 4200
有防爆認(rèn)證的壓力傳感器：
P603DH-03PG-J1EKT1、P601、P400、P400S、P601S
【二】壓力傳感器系列：
P206、P701、P604N、P201、P201S、P204、P203
P601N、P601RN、P601L1、P301、P202、P201D、PS101、PS100、HI4200
【三】溫度傳感器：
T300H0100CPET、T300RH0100CPRT、T500A0100CPE、T200H0100CPET、T203H0100CPET、T204H0100CPET、T105H0100CP、T150、HI4200數(shù)顯表
【四】液位傳感器、液位變送器系列：
LS400N0000TT、L201DHL4000HMFT、L101GHL1000HPAC、L102GHL1000HPAT、L103GHL1000HPBC、LT301N1000MST、D400TKXXX
【五】食品行業(yè)用壓力傳感器：
P601SGH0010MPUT防爆壓力傳感器
P400SGH0010MPAT防爆壓力傳感器
P201SGH0010MPAD隔膜壓力傳感器
【六】隔膜閥
FFS系列、FCS系列、EFS系列、PFS系列、PES系列、DFS系列、RFS系列
RBS50系列、RBS80系列、DSS系列、DSI系列、STS系列、SHS系列、DRD系列、FTS系列
P601GH0010MPET、P801HV0001MDAD、P601SGH0010MPTT/1.5S/316L/DT、PS101M0015KDAD
