產(chǎn)品詳情
ACS200 Gen3TE涂膠顯影機SUSS MicroTec
詳詢請致電：吳工 132，4667.5433
ACS200 Gen3 TE涂膠顯影機：最大化產(chǎn)能的全自動平臺
SUSS ACS200 Gen3 TE平臺將ACS200 Gen3這款非常成功且市場熟知的產(chǎn)品提升到了一個新的高度。不僅在產(chǎn)能上有了顯巨提高，在操作和維護上也更加舒適。SUSS ACS200 Gen3 TE能夠提供非常靈活的模塊和技術配置，以滿足先進封裝、MEMS、LED和其他市場的要求，并為研發(fā)和HVM提供服務。
介紹：
基礎框架經(jīng)過重新設計，可配置多達6個旋轉(zhuǎn)工藝模塊，并可在這些模塊上方配置冷熱板組。此外，動態(tài)對中（IMOC）功能的引入，即晶圓傳送時的“動態(tài)”定心，進一步提高了整體產(chǎn)能。
為了滿足最新的ESD標準，并為操作員和技術人員提供更高的舒適度，該平臺已經(jīng)進行更新。第二屏幕可根據(jù)個人需要進行配置，可以用來顯示攝像頭以及設備/模塊的狀態(tài)，并且可以處理測量數(shù)據(jù)。外圍配套設備也得到了顯著改進，特別是新推出的Flexi Media Cabinet，整潔、標準化程度高。
由于采用PiXDRO技術的SUSS JETx噴墨模塊已完全集成到該平臺中，使得該平臺支持下一代材料沉積技術，且仍具有添加其他模塊的能力。同時，已經(jīng)引入了標準制造接口（SMIF）加載端口。此外，流量控制器系統(tǒng)為有機溶劑和顯影工藝應用提供了非常出色的噴液精度。
ACS200 Gen3 TE平臺將繼續(xù)提供的敞開式腔體涂布和SUSS專有的GYRSET?閉蓋式涂布技術。廣為接受的腔體設計將保持不變，因此能夠?qū)崿F(xiàn)將工藝從之前的平臺到現(xiàn)在的輕松轉(zhuǎn)移。
亮點：
多達6個旋轉(zhuǎn)工藝模塊
采用動態(tài)對中(IMOC)提高晶圓傳送效率
超高的配置靈活性
可實現(xiàn)自動化系統(tǒng)的噴墨技術
操作舒適性高
標準制造接口(SMIF)負載端口
詳細情況 : 顯影工藝
浸置式顯影
噴霧顯影
在此工藝中，一定量的顯影劑被滴在曝光后的襯底上，并通過適度的旋轉(zhuǎn)分散開。 顯影液因其表面張力在晶圓上形成凸狀的液面（“Puddle”）。 當顯影時間結束后，通過提高旋轉(zhuǎn)速度甩干晶圓上的顯影液。 然后，用去離子水沖洗晶圓并同樣提高轉(zhuǎn)速甩干。 這種方法的優(yōu)點是，只需使用少量顯影液，就能提供優(yōu)異的顯影結果。
浸置式顯影法不得用于顯影液達到飽和時，例如當必須除去大量顯的光刻膠時或者凹凸圖形阻礙了更換顯影液時。 在這些情況下，需多步使用浸置式顯影或者使用噴涂式顯影 。
德國SUSS MicroTec主要產(chǎn)品：
一、旋轉(zhuǎn)涂膠機和噴霧涂膠機：
自動涂膠機與顯影機：ACS300 Gen3、ACS300 Gen2、ACS200 Gen3、ACS200 Gen3TE
半自動涂膠與顯影機：RCD8、ECD8、HP8熱板
手動涂膠機與顯影機：LabSpin6 / LabSpin8
二、噴墨打印機
JETxSM24噴墨打印機、JETx噴墨打印機、LP50打印機
三、光刻機、掩模對準機
全自動：MA300 Gen3、MA200 Gen3、MA100/150e Gen2
半自動：MA12 Gen3、MA8 Gen5、MA/BA Gen4 Series
手動：MJB4
四、測量系統(tǒng)
全自動:DSM8/200 Gen2
五、晶圓結合系統(tǒng)、自動貼片機
全自動：XBC300 Gen2 D2W/W2W、XBC300 Gen2、XBS300、XBS300W2W、XBS200
半自動： BA Gen4 Serie、DB12T、LD12、SB6/8Gen2、XB8
六、光掩模設備
全自動：MaskTrack Pro系列、ASx Serie
半自動：HMx Serie
七、投影掃描光刻機
全自動：DSC300 Gen3
蘇斯微SUSS MicroTec 晶圓鍵合系統(tǒng)
德國suss AS8勻膠機，HP8熱板還有l(wèi)abspin8（labspin6）勻膠機
德國Polytec掃描儀、激光測振儀、光學頭、光學振動測量系統(tǒng)主要型號：
激光振動計、光學測振儀
激光多普勒測振儀
激光測振計
（激光）多普勒振動傳感器
非接觸式振動傳感器/測量儀
光學振動測量系統(tǒng)
【一】單點式激光測振儀
CLV-2534-3激光測振儀
IVS-500 工業(yè)用激光測振儀
VFX-F-110激光測振儀
VibroFlex QTec VFX-I-160超低噪聲光學頭
VibroGo便攜式激光測振儀
【二】全場掃描式激光測振儀
VibroScan QTec Xtra、VibroScan QTec Xtra 3D全場掃描式激光測振儀
PSV QTec 3D超低噪聲三維掃描式激光測振儀
PSV QTec超低噪聲掃描式激光測振儀
ROBOVIB 機器人測振站
PSV-500-3D 掃描式激光測振儀：PSV-500-3D-H、PSV-500-3D-M、PSV-500-3D-HV
PSV-500 掃描式激光測振儀：PSV-500-B增強型、PSV-500-B高分率型、PSV-500-H、PSV-500-M、PSV-500-HV
MPV-800 多點式激光測振儀
【三】特殊應用激光測振儀
VibroFlex Range 超遠距離激光測振儀
RLV-5500 旋轉(zhuǎn)式激光測振儀
HSV-100 高速型激光測振儀
IPV-100 面內(nèi)激光測振儀
【四】顯微式激光測振儀
MSA-650 IRIS顯微式激光測振儀
MSA-600 顯微式激光測振儀 ：MSA-600-M (標準) MSA-600-V (帶寬擴展)
MSA-100-3D顯微式測振儀
MSA-050顯微式激光測振儀
【五】形貌測量儀
Pro.Surf大視場3D輪廓儀
Micro.View白光干涉儀
關于 Polytec已停產(chǎn)的型號（具體停產(chǎn)時間可能因產(chǎn)品線更新而異）：
【1. 激光測振儀（Laser Vibrometers）】
OFV-5000系列 （早期型號，已被OFV-5500/OFV-6000替代）
OFV-3000系列 （較老版本）
RSV-150 （遠程振動傳感系統(tǒng)，部分功能由新系統(tǒng)替代）
【2. 工業(yè)傳感器（Industrial Sensors）】
ILD 1400/1700 （舊版激光位移傳感器）
ILD 2200 （早期型號，后續(xù)被ILD 2300等替代）
OADM 12/I （舊版光學距離傳感器）
【3. 其他光學系統(tǒng)】
PSV-300/400 （掃描式激光測振儀，已被PSV-500系列取代）
VibroFlex （某些舊型號）
