產(chǎn)品詳情
代理德國蘇斯微SUSS MicroTec噴墨打印機(jī)、涂膠機(jī)與顯影機(jī)、光刻機(jī)、貼片機(jī)、俺膜機(jī)
ACS300 Gen3自動(dòng)涂膠與顯影機(jī)
詳詢請致電：吳工 132，4667.5433
ACS300 Gen3自動(dòng)涂膠與顯影機(jī)：用于先進(jìn)封裝應(yīng)用的強(qiáng)大解決方案
ACS300 Gen3作為模塊化系統(tǒng)，是為滿足量產(chǎn)環(huán)境而專門設(shè)計(jì)的。它提供了復(fù)雜的涂膠、顯影和烘烤功能，可輕松地適應(yīng)各種工藝。其最大程度的工藝控制，有效地支持廣泛的使用領(lǐng)域。結(jié)合這一優(yōu)點(diǎn)，再加上有8個(gè)旋涂器模塊，該系統(tǒng)仍然是市面上占地面積最小的系統(tǒng)；這些品質(zhì)都有利于減小購置成本，使得該設(shè)備對于任何具有挑戰(zhàn)性的先進(jìn)封裝應(yīng)用(如圓片級芯片封裝、扇出圓片級封裝、銅柱倒裝芯片封裝和3D封裝)都不可或缺。
亮點(diǎn)：
占地面積小
高效的化學(xué)品處理
靈活的工藝配置
高吞吐量的能力
穩(wěn)定的工藝結(jié)果
介紹：
1、一個(gè)工具適用于所有先進(jìn)的包裝應(yīng)用
通過在一個(gè)系統(tǒng)中提供多種工藝技術(shù)，如光阻劑、聚酰亞胺和PBO涂層，ACS300 Gen3提供了高效率。它還為每個(gè)模塊提供了多達(dá)五種抗蝕劑或四種顯影劑的能力，以實(shí)現(xiàn)的工藝靈活性。此外，通用的熱板設(shè)計(jì)消除了對不同抗蝕劑或PI類型的特定熱板的需要。ACS300 Gen3允許同時(shí)處理200和300毫米的晶圓，而不需要進(jìn)行機(jī)械轉(zhuǎn)換。
2、一致的過程監(jiān)控導(dǎo)致高產(chǎn)量
ACS300 Gen3可以實(shí)現(xiàn)高效的模塊堆疊，從而節(jié)省了潔凈室中昂貴的空間。多達(dá)12個(gè)模塊可以方便地在三層模塊系統(tǒng)中相互排列，而該工具的多種節(jié)省化學(xué)品的功能實(shí)現(xiàn)了進(jìn)一步的節(jié)約。無論是SUSS MicroTec公司專有的GYRSET技術(shù)、新穎的分配技術(shù)還是化學(xué)品再循環(huán)系統(tǒng)，該工具都能經(jīng)濟(jì)地使用化學(xué)品，并符合最嚴(yán)格的可持續(xù)發(fā)展標(biāo)準(zhǔn)。
3、在吞吐量方面表現(xiàn)出色
當(dāng)使用可選的第二個(gè)機(jī)器人系統(tǒng)時(shí)，ACS300 Gen3在三步流程中達(dá)到了高達(dá)240 wph的吞吐率。一個(gè)先進(jìn)的過程控制系統(tǒng)優(yōu)化了處理時(shí)間：調(diào)度算法可以有選擇地交換，以確保瓶頸步驟的時(shí)間段得到充分的利用。此外，諸如在高溫下的顯影劑和流動(dòng)模式的特點(diǎn)也減少了加工時(shí)間。
4、一致的過程監(jiān)控導(dǎo)致高產(chǎn)量
使ACS300 Gen3脫穎而出的是其高度的過程控制。它可以連續(xù)記錄所有相關(guān)參數(shù)的過程數(shù)據(jù)，如溫度、流量、壓力、體積、清洗率等。數(shù)據(jù)記錄允許精確調(diào)整過程參數(shù)、可重復(fù)的結(jié)果和快速識別潛在的薄弱點(diǎn)。過程變得更加穩(wěn)定和可重復(fù)，產(chǎn)量也可以顯著提高
德國SUSS MicroTec主要產(chǎn)品：
一、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)和噴霧涂膠機(jī)：
自動(dòng)涂膠機(jī)與顯影機(jī)：ACS300 Gen3、ACS300 Gen2、ACS200 Gen3、ACS200 Gen3TE
半自動(dòng)涂膠與顯影機(jī)：RCD8、ECD8、HP8熱板
手動(dòng)涂膠機(jī)與顯影機(jī)：LabSpin6 / LabSpin8
二、噴墨打印機(jī)
JETxSM24噴墨打印機(jī)、JETx噴墨打印機(jī)、LP50打印機(jī)
三、光刻機(jī)、掩模對準(zhǔn)機(jī)
全自動(dòng)：MA300 Gen3、MA200 Gen3、MA100/150e Gen2
半自動(dòng)：MA12 Gen3、MA8 Gen5、MA/BA Gen4 Series
手動(dòng)：MJB4
四、測量系統(tǒng)
全自動(dòng):DSM8/200 Gen2
五、晶圓結(jié)合系統(tǒng)、自動(dòng)貼片機(jī)
全自動(dòng)：XBC300 Gen2 D2W/W2W、XBC300 Gen2、XBS300、XBS300W2W、XBS200
半自動(dòng)： BA Gen4 Serie、DB12T、LD12、SB6/8Gen2、XB8
六、光掩模設(shè)備
全自動(dòng)：MaskTrack Pro系列、ASx Serie
半自動(dòng)：HMx Serie
七、投影掃描光刻機(jī)
全自動(dòng)：DSC300 Gen3
蘇斯微SUSS MicroTec 晶圓鍵合系統(tǒng)
德國suss AS8勻膠機(jī)，HP8熱板還有l(wèi)abspin8（labspin6）勻膠機(jī)
德國Polytec掃描儀、激光測振儀、光學(xué)頭、光學(xué)振動(dòng)測量系統(tǒng)主要型號：
激光振動(dòng)計(jì)、光學(xué)測振儀
激光多普勒測振儀
激光測振計(jì)
（激光）多普勒振動(dòng)傳感器
非接觸式振動(dòng)傳感器/測量儀
光學(xué)振動(dòng)測量系統(tǒng)
【一】單點(diǎn)式激光測振儀
CLV-2534-3激光測振儀
IVS-500 工業(yè)用激光測振儀
VFX-F-110激光測振儀
VibroFlex QTec VFX-I-160超低噪聲光學(xué)頭
VibroGo便攜式激光測振儀
【二】全場掃描式激光測振儀
VibroScan QTec Xtra、VibroScan QTec Xtra 3D全場掃描式激光測振儀
PSV QTec 3D超低噪聲三維掃描式激光測振儀
PSV QTec超低噪聲掃描式激光測振儀
ROBOVIB 機(jī)器人測振站
PSV-500-3D 掃描式激光測振儀：PSV-500-3D-H、PSV-500-3D-M、PSV-500-3D-HV
PSV-500 掃描式激光測振儀：PSV-500-B增強(qiáng)型、PSV-500-B高分率型、PSV-500-H、PSV-500-M、PSV-500-HV
MPV-800 多點(diǎn)式激光測振儀
【三】特殊應(yīng)用激光測振儀
VibroFlex Range 超遠(yuǎn)距離激光測振儀
RLV-5500 旋轉(zhuǎn)式激光測振儀
HSV-100 高速型激光測振儀
IPV-100 面內(nèi)激光測振儀
【四】顯微式激光測振儀
MSA-650 IRIS顯微式激光測振儀
MSA-600 顯微式激光測振儀 ：MSA-600-M (標(biāo)準(zhǔn)) MSA-600-V (帶寬擴(kuò)展)
MSA-100-3D顯微式測振儀
MSA-050顯微式激光測振儀
【五】形貌測量儀
Pro.Surf大視場3D輪廓儀
Micro.View白光干涉儀
關(guān)于 Polytec已停產(chǎn)的型號（具體停產(chǎn)時(shí)間可能因產(chǎn)品線更新而異）：
【1. 激光測振儀（Laser Vibrometers）】
OFV-5000系列 （早期型號，已被OFV-5500/OFV-6000替代）
OFV-3000系列 （較老版本）
RSV-150 （遠(yuǎn)程振動(dòng)傳感系統(tǒng)，部分功能由新系統(tǒng)替代）
【2. 工業(yè)傳感器（Industrial Sensors）】
ILD 1400/1700 （舊版激光位移傳感器）
ILD 2200 （早期型號，后續(xù)被ILD 2300等替代）
OADM 12/I （舊版光學(xué)距離傳感器）
【3. 其他光學(xué)系統(tǒng)】
PSV-300/400 （掃描式激光測振儀，已被PSV-500系列取代）
VibroFlex （某些舊型號）
ACS300 Gen3自動(dòng)涂膠與顯影機(jī)
詳詢請致電：吳工 132，4667.5433
ACS300 Gen3自動(dòng)涂膠與顯影機(jī)：用于先進(jìn)封裝應(yīng)用的強(qiáng)大解決方案
ACS300 Gen3作為模塊化系統(tǒng)，是為滿足量產(chǎn)環(huán)境而專門設(shè)計(jì)的。它提供了復(fù)雜的涂膠、顯影和烘烤功能，可輕松地適應(yīng)各種工藝。其最大程度的工藝控制，有效地支持廣泛的使用領(lǐng)域。結(jié)合這一優(yōu)點(diǎn)，再加上有8個(gè)旋涂器模塊，該系統(tǒng)仍然是市面上占地面積最小的系統(tǒng)；這些品質(zhì)都有利于減小購置成本，使得該設(shè)備對于任何具有挑戰(zhàn)性的先進(jìn)封裝應(yīng)用(如圓片級芯片封裝、扇出圓片級封裝、銅柱倒裝芯片封裝和3D封裝)都不可或缺。
亮點(diǎn)：
占地面積小
高效的化學(xué)品處理
靈活的工藝配置
高吞吐量的能力
穩(wěn)定的工藝結(jié)果
介紹：
1、一個(gè)工具適用于所有先進(jìn)的包裝應(yīng)用
通過在一個(gè)系統(tǒng)中提供多種工藝技術(shù)，如光阻劑、聚酰亞胺和PBO涂層，ACS300 Gen3提供了高效率。它還為每個(gè)模塊提供了多達(dá)五種抗蝕劑或四種顯影劑的能力，以實(shí)現(xiàn)的工藝靈活性。此外，通用的熱板設(shè)計(jì)消除了對不同抗蝕劑或PI類型的特定熱板的需要。ACS300 Gen3允許同時(shí)處理200和300毫米的晶圓，而不需要進(jìn)行機(jī)械轉(zhuǎn)換。
2、一致的過程監(jiān)控導(dǎo)致高產(chǎn)量
ACS300 Gen3可以實(shí)現(xiàn)高效的模塊堆疊，從而節(jié)省了潔凈室中昂貴的空間。多達(dá)12個(gè)模塊可以方便地在三層模塊系統(tǒng)中相互排列，而該工具的多種節(jié)省化學(xué)品的功能實(shí)現(xiàn)了進(jìn)一步的節(jié)約。無論是SUSS MicroTec公司專有的GYRSET技術(shù)、新穎的分配技術(shù)還是化學(xué)品再循環(huán)系統(tǒng)，該工具都能經(jīng)濟(jì)地使用化學(xué)品，并符合最嚴(yán)格的可持續(xù)發(fā)展標(biāo)準(zhǔn)。
3、在吞吐量方面表現(xiàn)出色
當(dāng)使用可選的第二個(gè)機(jī)器人系統(tǒng)時(shí)，ACS300 Gen3在三步流程中達(dá)到了高達(dá)240 wph的吞吐率。一個(gè)先進(jìn)的過程控制系統(tǒng)優(yōu)化了處理時(shí)間：調(diào)度算法可以有選擇地交換，以確保瓶頸步驟的時(shí)間段得到充分的利用。此外，諸如在高溫下的顯影劑和流動(dòng)模式的特點(diǎn)也減少了加工時(shí)間。
4、一致的過程監(jiān)控導(dǎo)致高產(chǎn)量
使ACS300 Gen3脫穎而出的是其高度的過程控制。它可以連續(xù)記錄所有相關(guān)參數(shù)的過程數(shù)據(jù)，如溫度、流量、壓力、體積、清洗率等。數(shù)據(jù)記錄允許精確調(diào)整過程參數(shù)、可重復(fù)的結(jié)果和快速識別潛在的薄弱點(diǎn)。過程變得更加穩(wěn)定和可重復(fù)，產(chǎn)量也可以顯著提高
德國SUSS MicroTec主要產(chǎn)品：
一、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)和噴霧涂膠機(jī)：
自動(dòng)涂膠機(jī)與顯影機(jī)：ACS300 Gen3、ACS300 Gen2、ACS200 Gen3、ACS200 Gen3TE
半自動(dòng)涂膠與顯影機(jī)：RCD8、ECD8、HP8熱板
手動(dòng)涂膠機(jī)與顯影機(jī)：LabSpin6 / LabSpin8
二、噴墨打印機(jī)
JETxSM24噴墨打印機(jī)、JETx噴墨打印機(jī)、LP50打印機(jī)
三、光刻機(jī)、掩模對準(zhǔn)機(jī)
全自動(dòng)：MA300 Gen3、MA200 Gen3、MA100/150e Gen2
半自動(dòng)：MA12 Gen3、MA8 Gen5、MA/BA Gen4 Series
手動(dòng)：MJB4
四、測量系統(tǒng)
全自動(dòng):DSM8/200 Gen2
五、晶圓結(jié)合系統(tǒng)、自動(dòng)貼片機(jī)
全自動(dòng)：XBC300 Gen2 D2W/W2W、XBC300 Gen2、XBS300、XBS300W2W、XBS200
半自動(dòng)： BA Gen4 Serie、DB12T、LD12、SB6/8Gen2、XB8
六、光掩模設(shè)備
全自動(dòng)：MaskTrack Pro系列、ASx Serie
半自動(dòng)：HMx Serie
七、投影掃描光刻機(jī)
全自動(dòng)：DSC300 Gen3
蘇斯微SUSS MicroTec 晶圓鍵合系統(tǒng)
德國suss AS8勻膠機(jī)，HP8熱板還有l(wèi)abspin8（labspin6）勻膠機(jī)
德國Polytec掃描儀、激光測振儀、光學(xué)頭、光學(xué)振動(dòng)測量系統(tǒng)主要型號：
激光振動(dòng)計(jì)、光學(xué)測振儀
激光多普勒測振儀
激光測振計(jì)
（激光）多普勒振動(dòng)傳感器
非接觸式振動(dòng)傳感器/測量儀
光學(xué)振動(dòng)測量系統(tǒng)
【一】單點(diǎn)式激光測振儀
CLV-2534-3激光測振儀
IVS-500 工業(yè)用激光測振儀
VFX-F-110激光測振儀
VibroFlex QTec VFX-I-160超低噪聲光學(xué)頭
VibroGo便攜式激光測振儀
【二】全場掃描式激光測振儀
VibroScan QTec Xtra、VibroScan QTec Xtra 3D全場掃描式激光測振儀
PSV QTec 3D超低噪聲三維掃描式激光測振儀
PSV QTec超低噪聲掃描式激光測振儀
ROBOVIB 機(jī)器人測振站
PSV-500-3D 掃描式激光測振儀：PSV-500-3D-H、PSV-500-3D-M、PSV-500-3D-HV
PSV-500 掃描式激光測振儀：PSV-500-B增強(qiáng)型、PSV-500-B高分率型、PSV-500-H、PSV-500-M、PSV-500-HV
MPV-800 多點(diǎn)式激光測振儀
【三】特殊應(yīng)用激光測振儀
VibroFlex Range 超遠(yuǎn)距離激光測振儀
RLV-5500 旋轉(zhuǎn)式激光測振儀
HSV-100 高速型激光測振儀
IPV-100 面內(nèi)激光測振儀
【四】顯微式激光測振儀
MSA-650 IRIS顯微式激光測振儀
MSA-600 顯微式激光測振儀 ：MSA-600-M (標(biāo)準(zhǔn)) MSA-600-V (帶寬擴(kuò)展)
MSA-100-3D顯微式測振儀
MSA-050顯微式激光測振儀
【五】形貌測量儀
Pro.Surf大視場3D輪廓儀
Micro.View白光干涉儀
關(guān)于 Polytec已停產(chǎn)的型號（具體停產(chǎn)時(shí)間可能因產(chǎn)品線更新而異）：
【1. 激光測振儀（Laser Vibrometers）】
OFV-5000系列 （早期型號，已被OFV-5500/OFV-6000替代）
OFV-3000系列 （較老版本）
RSV-150 （遠(yuǎn)程振動(dòng)傳感系統(tǒng)，部分功能由新系統(tǒng)替代）
【2. 工業(yè)傳感器（Industrial Sensors）】
ILD 1400/1700 （舊版激光位移傳感器）
ILD 2200 （早期型號，后續(xù)被ILD 2300等替代）
OADM 12/I （舊版光學(xué)距離傳感器）
【3. 其他光學(xué)系統(tǒng)】
PSV-300/400 （掃描式激光測振儀，已被PSV-500系列取代）
VibroFlex （某些舊型號）
