產(chǎn)品詳情
LabSpin8顯影機(jī)SUSS MicroTec
詳詢請致電：吳工 132，4667.5433
LabSpin系列旋涂機(jī)和顯影機(jī)：驗(yàn)室涂膠顯影方案，最大尺寸6”到8”
SUSS MicroTec的labSpin平臺推出下一代手動涂膠/顯影系統(tǒng)。該系統(tǒng)根據(jù)實(shí)驗(yàn)室和研發(fā)用途定制開發(fā)，針對不同類型的光刻化學(xué)試劑設(shè)計(jì)，通過先進(jìn)的腔體設(shè)計(jì)，提供均勻、精確和重復(fù)性高的涂膠結(jié)果。
亮點(diǎn)：
工藝種類繁多，包括旋涂和水坑顯影
邊緣珠子的移除
分裝定位可靈活調(diào)整
介紹：
LabSpin系統(tǒng)提供兩種型號的設(shè)備，分別是桌上型（table-top，TT）和集成型（集成在濕化學(xué)槽中，Bench Module，BM），都可以完成最大尺寸為150mm或200mm的襯底涂覆功能。LabSpin涂膠機(jī)可以應(yīng)用于非常廣泛的襯底材料，從碎片到150/200mm圓片或100x100mm/150x150mm方片。非常小的設(shè)備尺寸只需要很小的占地空間。
LabSpin設(shè)計(jì)了大量的選配件，適用于不同應(yīng)用的需求。該涂膠系統(tǒng)可以裝配針筒或自動滴膠臂、邊緣涂覆、去厚膠邊、積水式顯影等等多種配置。
德國SUSS MicroTec主要產(chǎn)品：
一、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)和噴霧涂膠機(jī)：
自動涂膠機(jī)與顯影機(jī)：ACS300 Gen3、ACS300 Gen2、ACS200 Gen3、ACS200 Gen3TE
半自動涂膠與顯影機(jī)：RCD8、ECD8、HP8熱板
手動涂膠機(jī)與顯影機(jī)：LabSpin6 / LabSpin8
二、噴墨打印機(jī)
JETxSM24噴墨打印機(jī)、JETx噴墨打印機(jī)、LP50打印機(jī)
三、光刻機(jī)、掩模對準(zhǔn)機(jī)
全自動：MA300 Gen3、MA200 Gen3、MA100/150e Gen2
半自動：MA12 Gen3、MA8 Gen5、MA/BA Gen4 Series
手動：MJB4
四、測量系統(tǒng)
全自動:DSM8/200 Gen2
五、晶圓結(jié)合系統(tǒng)、自動貼片機(jī)
全自動：XBC300 Gen2 D2W/W2W、XBC300 Gen2、XBS300、XBS300W2W、XBS200
半自動： BA Gen4 Serie、DB12T、LD12、SB6/8Gen2、XB8
六、光掩模設(shè)備
全自動：MaskTrack Pro系列、ASx Serie
半自動：HMx Serie
七、投影掃描光刻機(jī)
全自動：DSC300 Gen3
蘇斯微SUSS MicroTec 晶圓鍵合系統(tǒng)
德國suss AS8勻膠機(jī)，HP8熱板還有l(wèi)abspin8（labspin6）勻膠機(jī)
德國Polytec掃描儀、激光測振儀、光學(xué)頭、光學(xué)振動測量系統(tǒng)主要型號：
激光振動計(jì)、光學(xué)測振儀
激光多普勒測振儀
激光測振計(jì)
（激光）多普勒振動傳感器
非接觸式振動傳感器/測量儀
光學(xué)振動測量系統(tǒng)
【一】單點(diǎn)式激光測振儀
CLV-2534-3激光測振儀
IVS-500 工業(yè)用激光測振儀
VFX-F-110激光測振儀
VibroFlex QTec VFX-I-160超低噪聲光學(xué)頭
VibroGo便攜式激光測振儀
【二】全場掃描式激光測振儀
VibroScan QTec Xtra、VibroScan QTec Xtra 3D全場掃描式激光測振儀
PSV QTec 3D超低噪聲三維掃描式激光測振儀
PSV QTec超低噪聲掃描式激光測振儀
ROBOVIB 機(jī)器人測振站
PSV-500-3D 掃描式激光測振儀：PSV-500-3D-H、PSV-500-3D-M、PSV-500-3D-HV
PSV-500 掃描式激光測振儀：PSV-500-B增強(qiáng)型、PSV-500-B高分率型、PSV-500-H、PSV-500-M、PSV-500-HV
MPV-800 多點(diǎn)式激光測振儀
【三】特殊應(yīng)用激光測振儀
VibroFlex Range 超遠(yuǎn)距離激光測振儀
RLV-5500 旋轉(zhuǎn)式激光測振儀
HSV-100 高速型激光測振儀
IPV-100 面內(nèi)激光測振儀
【四】顯微式激光測振儀
MSA-650 IRIS顯微式激光測振儀
MSA-600 顯微式激光測振儀 ：MSA-600-M (標(biāo)準(zhǔn)) MSA-600-V (帶寬擴(kuò)展)
MSA-100-3D顯微式測振儀
MSA-050顯微式激光測振儀
【五】形貌測量儀
Pro.Surf大視場3D輪廓儀
Micro.View白光干涉儀
關(guān)于 Polytec已停產(chǎn)的型號（具體停產(chǎn)時(shí)間可能因產(chǎn)品線更新而異）：
【1. 激光測振儀（Laser Vibrometers）】
OFV-5000系列 （早期型號，已被OFV-5500/OFV-6000替代）
OFV-3000系列 （較老版本）
RSV-150 （遠(yuǎn)程振動傳感系統(tǒng)，部分功能由新系統(tǒng)替代）
【2. 工業(yè)傳感器（Industrial Sensors）】
ILD 1400/1700 （舊版激光位移傳感器）
ILD 2200 （早期型號，后續(xù)被ILD 2300等替代）
OADM 12/I （舊版光學(xué)距離傳感器）
【3. 其他光學(xué)系統(tǒng)】
PSV-300/400 （掃描式激光測振儀，已被PSV-500系列取代）
VibroFlex （某些舊型號）
