產(chǎn)品詳情
代理德國蘇斯微SUSS MicroTec噴墨打印機(jī)、涂膠機(jī)與顯影機(jī)、光刻機(jī)、貼片機(jī)、俺膜機(jī)
詳詢請致電：吳工 132，4667.5433
AS8手動噴霧涂膠機(jī)：
適用于崎嶇表面的手動噴霧涂膠機(jī)
AS8涂膠機(jī)可以滿足實驗室和試產(chǎn)環(huán)境下常用工藝的需要，對于起伏臺階幾微米到600微米以上的三維微結(jié)構(gòu)加工，都是理想的工具。
SUSS AS8涂膠機(jī)也可用于生產(chǎn)環(huán)境。
亮點：
頂部邊緣覆蓋的保形涂膠，且能避免溝槽中堆
噴霧設(shè)計，可實現(xiàn)工藝穩(wěn)定性與重復(fù)性的優(yōu)化
跨越大起伏形貌的圖案化賦能技術(shù)膠
基板尺寸最大直徑為200 mm，方形基板最大邊長為 6
最多可有2個獨立的噴霧噴膠系統(tǒng)，以避免交叉污染
帶有MMC控制器軟件的觸摸屏
全部工藝參數(shù)可在工藝菜單中編程
詳細(xì)情況 : 涂膠
噴涂
在噴涂法中，噴嘴將要涂抹的溶液噴在晶圓上。 經(jīng)過優(yōu)化后的晶圓上方噴嘴移動路徑可以實現(xiàn)在襯底上均勻的涂層。 噴涂所用的液體通常粘度極低，以確保形成細(xì)小的液滴。
噴涂法即使在凹凸圖形上也能形成均勻涂層，因此它是這種結(jié)構(gòu)的方法。 噴涂法還能噴涂方形的襯底。
德國SUSS MicroTec主要產(chǎn)品：
一、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)和噴霧涂膠機(jī)：
自動涂膠機(jī)與顯影機(jī)：ACS300 Gen3、ACS300 Gen2、ACS200 Gen3、ACS200 Gen3TE
半自動涂膠與顯影機(jī)：RCD8、ECD8
手動涂膠機(jī)與顯影機(jī)：LabSpin6 / LabSpin8
二、噴墨打印機(jī)
JETxSM24噴墨打印機(jī)、JETx噴墨打印機(jī)、LP50打印機(jī)
三、光刻機(jī)、掩模對準(zhǔn)機(jī)
全自動：MA300 Gen3、MA200 Gen3、MA100/150e Gen2
半自動：MA12 Gen3、MA8 Gen5、MA/BA Gen4 Series
手動：MJB4
四、測量系統(tǒng)
全自動:DSM8/200 Gen2
五、晶圓結(jié)合系統(tǒng)、自動貼片機(jī)
全自動：XBC300 Gen2 D2W/W2W、XBC300 Gen2、XBS300、XBS300W2W、XBS200
半自動： BA Gen4 Serie、DB12T、LD12、SB6/8Gen2、XB8
六、光掩模設(shè)備
全自動：MaskTrack Pro系列、ASx Serie
半自動：HMx Serie
七、投影掃描光刻機(jī)
全自動：DSC300 Gen3
韓國AUTOFLOW：
一、氣體流量計
AMF-4003、AMF-4008
AMF-5003、AMF-5006、AMF-5008、AMF-5012、AMF-5019
AMF-6012、AMF-6019
二、質(zhì)量流量計 AVA-420
三、超聲波流量計
AUDS系列：
AUDS-100P-1/AUDS-100P-2
AUDS-100H/AUDS-100M/AUDS-100Y
四、熱式質(zhì)量流量傳感器：VA 420
五、渦街流量計： AVT2000 AVT4000 AVT5000
六、渦輪流量計:Vision 1000 Vision 2000
德國Polytec掃描儀、激光測振儀、光學(xué)頭、光學(xué)振動測量系統(tǒng)主要型號：
激光振動計、光學(xué)測振儀
激光多普勒測振儀
激光測振計
（激光）多普勒振動傳感器
非接觸式振動傳感器/測量儀
光學(xué)振動測量系統(tǒng)
【一】單點式激光測振儀
CLV-2534-3激光測振儀
IVS-500 工業(yè)用激光測振儀
VFX-F-110激光測振儀
VibroFlex QTec VFX-I-160超低噪聲光學(xué)頭
VibroGo便攜式激光測振儀
【二】全場掃描式激光測振儀
VibroScan QTec Xtra、VibroScan QTec Xtra 3D全場掃描式激光測振儀
PSV QTec 3D超低噪聲三維掃描式激光測振儀
PSV QTec超低噪聲掃描式激光測振儀
ROBOVIB 機(jī)器人測振站
PSV-500-3D 掃描式激光測振儀：PSV-500-3D-H、PSV-500-3D-M、PSV-500-3D-HV
PSV-500 掃描式激光測振儀：PSV-500-B增強(qiáng)型、PSV-500-B高分率型、PSV-500-H、PSV-500-M、PSV-500-HV
MPV-800 多點式激光測振儀
【三】特殊應(yīng)用激光測振儀
VibroFlex Range 超遠(yuǎn)距離激光測振儀
RLV-5500 旋轉(zhuǎn)式激光測振儀
HSV-100 高速型激光測振儀
IPV-100 面內(nèi)激光測振儀
【四】顯微式激光測振儀
MSA-650 IRIS顯微式激光測振儀
MSA-600 顯微式激光測振儀 ：MSA-600-M (標(biāo)準(zhǔn)) MSA-600-V (帶寬擴(kuò)展)
MSA-100-3D顯微式測振儀
MSA-050顯微式激光測振儀
【五】形貌測量儀
Pro.Surf大視場3D輪廓儀
Micro.View白光干涉儀
關(guān)于 Polytec已停產(chǎn)的型號（具體停產(chǎn)時間可能因產(chǎn)品線更新而異）：
【1. 激光測振儀（Laser Vibrometers）】
OFV-5000系列 （早期型號，已被OFV-5500/OFV-6000替代）
OFV-3000系列 （較老版本）
RSV-150 （遠(yuǎn)程振動傳感系統(tǒng)，部分功能由新系統(tǒng)替代）
【2. 工業(yè)傳感器（Industrial Sensors）】
ILD 1400/1700 （舊版激光位移傳感器）
ILD 2200 （早期型號，后續(xù)被ILD 2300等替代）
OADM 12/I （舊版光學(xué)距離傳感器）
【3. 其他光學(xué)系統(tǒng)】
PSV-300/400 （掃描式激光測振儀，已被PSV-500系列取代）
VibroFlex （某些舊型號）
