產(chǎn)品詳情
HMDS烘箱，晶圓涂膜HMDS真空烘箱系列電腦式HMDS真空烘箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前預(yù)處理，增黏劑HMDS涂覆作業(yè)。本設(shè)備適用于在涂膠前對(duì)晶片進(jìn)行預(yù)處理，集真空、烘烤、充氮、潔凈、HMDS加液多功能與一體。設(shè)備由箱體、真空、加熱、充氮、加液及控制等系統(tǒng)組成。通過(guò)多次預(yù)抽真空，充氮加熱循環(huán)進(jìn)行，既能達(dá)到使硅片表面干燥、潔凈的效果，又能夠防止硅片的氧化和雜質(zhì)的擴(kuò)散，并且可以通過(guò)加液系統(tǒng)在硅片表面開(kāi)成HDMS保護(hù)膜，從而使硅片具有良好的涂膠性能。和手工涂布HMDS相比，具有重復(fù)性好，節(jié)省藥液，環(huán)保，對(duì)人體無(wú)害的顯著優(yōu)點(diǎn)；也可用于晶片其它工藝的清洗。
| 設(shè)備型號(hào) | HMDS-90 |
| 溫度范圍 | RT+25~200°C |
| 溫度分辨率 | ±0.1°C |
| 極限真空度 | ＜10pa |
| 抽氣速率 | 4L/S 常壓~100pa時(shí)間＜5min |
| 氧含量 |
＜10ppm |
| 潔凈度 | class10 |
| 控制方式 | PLC+觸摸屏（人機(jī)交互界面） |
| 內(nèi)腔尺寸 | W450mm*D450mm*H450mm |
| 氮?dú)饬髁?/span> | 0-100L/min |
| 電源功耗 | AC220V 50HZ 4.5KW |
| 箱體 | 3mm優(yōu)質(zhì)SUS316#潔凈不銹鋼內(nèi)膽 |
| 外殼 | SS41#中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆 |
| 保溫材料 | 環(huán)保無(wú)油型陶瓷纖維防火阻燃材料 |
| 安全保護(hù)措施 | 1.接地保護(hù) 2.過(guò)載保護(hù) 3.超溫保護(hù) |
