產(chǎn)品詳情
DF-200系列是一款高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器，可在1秒（全范圍）內(nèi)實(shí)現(xiàn)±1％SP的精度和響應(yīng)。
此外，它兼容多氣體和多量程，可輕松更換包括參考?xì)怏w在內(nèi)的7種氣體及其流量范圍，使其成為具有出色通用性的產(chǎn)品。
- 高精度（±1％SP），高速響應(yīng)（1秒內(nèi)所有區(qū)域）
- 支持多量程和多種氣體
- 標(biāo)準(zhǔn)配備通訊功能（RS485）
- RoHS。符合CE標(biāo)準(zhǔn)
DF-200C標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | ||
|---|---|---|---|
| 閥門方式 | 比例電磁閥（未通電時(shí)關(guān)閉） | ||
| 目標(biāo)氣體（* 1） |
多氣體： N2（空氣，H2，He，Ar，O2，CO2）（* 2） |
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| 流量范圍（* 3） | 10/30/50/100/300/500 SCCM，1/3/5/10 SLM（* 2） | ||
| 控制范圍 | 2至100％（F.S.） | ||
| 反應(yīng)能力（* 4） | 總流量控制范圍在1秒內(nèi)（±2％F.S.） | ||
| L：50kPa~149kPa H:150kPa~300kPa | |||
| 精度（* 5） |
±1.0％SP（> 35％F。S.）， ±0.35％F。S.（≦35％F。S.） |
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| 再現(xiàn)性 | ±0.25％FS | ||
| 工作壓差（* 6） | 50至300 kPa（Ar，CO2：100.300 kPa） | ||
| 入口壓力 | 500kPa（G） | ||
| 耐壓 | 980kPa（G） | ||
| He泄漏率（* 7） | 1 x 10-8 Pa.m3 / sec以下 |
