3d光學(xué)干涉輪廓儀,一鍵測(cè)量微納米三維形貌

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深圳市中圖儀器股份有限公司

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  • 經(jīng)營模式: 生產(chǎn)加工-私營有限責(zé)任公司
  • 所在地區(qū):廣東 深圳市
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詳細(xì)參數(shù)
品牌 中圖儀器 規(guī)格型號(hào) 900x700x604mm
編號(hào) 齊全 計(jì)量單位 1臺(tái)
付款方式 面議 參考價(jià)格 0
價(jià)格單位 人民幣 供貨量 不限
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產(chǎn)地 深圳 發(fā)貨地 深圳

產(chǎn)品詳情

信息化時(shí)代下,測(cè)量技術(shù)是科學(xué)技術(shù)發(fā)展和國民經(jīng)濟(jì)提高的關(guān)鍵與基礎(chǔ),尤其是測(cè)量型儀器儀表,可以說是信息產(chǎn)業(yè)的源頭和重要組成部分?,F(xiàn)代化工業(yè)數(shù)字化測(cè)量要求高精度化、低成本和小型化,因?yàn)橹T如汽車發(fā)動(dòng)機(jī)等均要求其組成零部件必須具有非常高的精度,以便減少噪聲、防止環(huán)境污染和節(jié)省能耗,這些都是時(shí)代對(duì)制造業(yè)提出的緊迫要求。目前在3D檢測(cè)領(lǐng)域中,在同等系統(tǒng)放大倍率下,3d光學(xué)干涉輪廓儀的檢測(cè)精度和重復(fù)精度都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡,是精度的檢測(cè)儀器之一,在一些納米級(jí)和亞納米級(jí)的超精密加工領(lǐng)域,除了表面形貌干涉儀,其他儀器都沒有辦法達(dá)到其測(cè)量精度要求。


白光干涉原理


中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的SuperView W1 3d光學(xué)干涉輪廓儀讓輪廓測(cè)量?jī)r(jià)格更為實(shí)惠,分辨率0.1μm,重復(fù)性0.1%,應(yīng)用領(lǐng)域廣泛,操作簡(jiǎn)便,可自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù),應(yīng)用領(lǐng)域廣泛,操作簡(jiǎn)便。


產(chǎn)品參數(shù)


技術(shù)指標(biāo)


測(cè)量應(yīng)用
以測(cè)量單刻線臺(tái)階為例:

1、在檢查儀器的各線路接頭都準(zhǔn)確插到對(duì)應(yīng)插孔后,開啟儀器電源開關(guān),啟動(dòng)計(jì)算機(jī),將單刻線臺(tái)階工件放置在載物臺(tái)中間位置,先手動(dòng)調(diào)整載物臺(tái)大概位置,對(duì)準(zhǔn)白光干涉儀目鏡的下方。
2、在計(jì)算機(jī)上打開測(cè)量軟件,在軟件界面上設(shè)置好目鏡下行點(diǎn),再微調(diào)鏡頭與被測(cè)單刻線臺(tái)階表面的距離,調(diào)整到計(jì)算機(jī)屏幕上可以看到兩到三條干涉條紋為佳,此時(shí)設(shè)置好要掃描的距離。

3、按開始按鈕,儀器可自動(dòng)進(jìn)行掃描測(cè)量,測(cè)量完成后,轉(zhuǎn)件自動(dòng)生成3D圖像,測(cè)量人員可以對(duì)3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)分析,獲得被測(cè)器件表面線、面粗糙度和輪廓的2D、3D參數(shù)。

標(biāo)準(zhǔn)配置


SuperView W1 3d光學(xué)干涉輪廓儀具有測(cè)量精度高、功能全、操作便捷、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn),測(cè)量單個(gè)精密器件的過程用時(shí)2分鐘以內(nèi),確保了高款率檢測(cè)。并且其特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測(cè)量。

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