高真空蒸鍍儀

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西安萊安工貿(mào)有限公司

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產(chǎn)品詳情

K950X高真空蒸鍍儀在使用碳棒蒸鍍時可給出連續(xù)的碳膜,并且使用渦輪分子泵時*。它可用于TEM和X-Ray分析中的覆膜,以及SEM中的導(dǎo)電涂層。

在厚度為2nm (20埃)或更厚時膜是連續(xù)的。*通常的沉積形式是加熱碳或石墨棒。棒具有特定的形狀以達(dá)到*大電流密度,使得它具有足夠的溫度來引起蒸發(fā)?;谶@點(diǎn),出現(xiàn)了細(xì)小的、亮的、熱的碳顆粒。此系統(tǒng)需要用擴(kuò)散泵或渦輪分子泵達(dá)到1x10-4 mbar或更高的真空度。

渦輪分子泵在K950X中作為標(biāo)準(zhǔn)配置,此泵作為機(jī)械真空泵的后級泵,真空為全自動控制,真空度優(yōu)于1x10-5 mbar??蛇M(jìn)行預(yù)熱及除氣控制,同時用瞬時蒸發(fā)開關(guān)使脈沖蒸發(fā)在用戶控制下進(jìn)行。

標(biāo)準(zhǔn)的旋轉(zhuǎn)樣品臺可進(jìn)行傾斜調(diào)節(jié),非常容易適應(yīng)各種樣品座??蛇x的樣品臺具有特殊的凹槽,可放置標(biāo)準(zhǔn)的載玻片,這在“石棉分析”需要鍍碳層時尤為有利。

碳棒頭在儀器中作為標(biāo)準(zhǔn)件。這是一個“快速釋放頭”,使用戶在選擇金屬蒸發(fā)附件、碳絲及光闌清洗頭時可方便地更換。放氣系統(tǒng)具有互鎖裝置,避免樣品受到干擾。渦輪分子泵可安裝在任何軸上,并且可安全地“關(guān)閉”直接通大氣。

主要特點(diǎn)

全自動抽氣系統(tǒng)
旋轉(zhuǎn)樣品臺
菜單驅(qū)動式“用戶”鍵盤輸入
快速釋放頭方便選擇不同的頭
● 約束的排氣控制
● 渦輪分子泵抽真空


容易操作
均勻的樣品涂層
方便多用戶操作
可用于蒸碳及蒸鍍金屬
● 在排氣過程中可防止樣品損壞
碳棒或碳絲蒸發(fā)

儀器尺寸:450mm W x 350mm D x 175mm H (Overall height with Work Chamber 750mm) 重量:28Kg

工作腔室:硼硅酸鹽玻璃165mm Dia x 125mm H

安全鐘罩:聚碳酸酯

鋁機(jī)座:110mm Dia x 115mm H

碳  源:直徑3.2mm碳棒

旋轉(zhuǎn)樣品臺:直徑為60 mm,傾斜0-90o
                  到電極距離為110mm 到 130mm

真空計(jì)范圍:ATM - 1x10-5 mbar

操作真空:1x10-2 to 1x10-5 mbar

安培計(jì):0-50 Amps

低電壓選擇:0-5V-15V-25V

除氣電流:0-25 Amps

渦輪分子泵:50L/Second 

Services -Argon - Nominal 4psi. Rotary Backing Pump -Two Stage Vacuum Pump No. 2, 35L/Min 
complete with Vacuum Hose & Oil Mist Filter. 2m3/Hr

電源:230V 50Hz (包括泵*大電流8 安培);115V 60Hz(包括泵*大電流16 安培)

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