1756-HSC/140AII33000
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視需要重復(fù)制程步驟
從薄膜沉積到去除光刻膠,整個(gè)流程為晶圓片覆蓋上一層圖案。而要在晶圓片上形成集成電路,完成芯片制作,這一流程需要不斷重復(fù),可多達(dá)100次。
封裝芯片
最后一步,切割晶圓,獲得單個(gè)芯片,封裝在保護(hù)殼中。這樣,成品芯片就可以用來(lái)生產(chǎn)電視、平板電腦或者其他數(shù)字設(shè)備了!
迷你摩天大樓
正如上文提到的“視需要重復(fù)制程步驟”,現(xiàn)代芯片的結(jié)構(gòu)可多達(dá)100層,需要以納米級(jí)的精度相互疊加,這精度又稱為“套刻精度”。芯片上光刻的各層圖案大小不一,這意味著,光刻各層圖案需要用到不同設(shè)備。ASML的DUV深紫外線光刻機(jī)有數(shù)種不同的機(jī)種,適合最小圖案的關(guān)鍵性光刻需求以及普通圖案的正常光刻。
多干凈才干凈?
要知道,無(wú)論灰塵或異物如何微小,一旦落到晶圓上,都會(huì)損壞芯片。何況現(xiàn)代芯片有些需要經(jīng)歷幾十甚至上百層的制程,如何保證芯片生產(chǎn)的良率,晶圓廠的清潔度至關(guān)重要。
無(wú)塵室到底有多潔凈?
比我們?nèi)粘I畹目臻g要干凈10,000倍左右!大多數(shù)芯片制造商的 “ISO 1級(jí)”無(wú)塵室都能做到幾乎“零粉塵”,具體來(lái)說(shuō),在每立方米空氣中,100到200納米的顆粒不超過(guò)10個(gè),且沒(méi)有大于200納米的顆粒。相比之下,一家干凈的現(xiàn)代醫(yī)院里,每立方米空氣中含有粉塵顆粒約10,000個(gè),這差距可不是一點(diǎn)點(diǎn)。
無(wú)塵室內(nèi)的空氣不斷過(guò)濾、循環(huán)。員工需要穿著特殊的工作服(又稱“兔子服”),維持零粉塵的工作環(huán)境。
ASML的光刻機(jī)工廠位于荷蘭菲爾德霍芬,ASML的設(shè)備也都產(chǎn)自無(wú)塵室。
各類芯片制造模式
IDMs是指同時(shí)設(shè)計(jì)并制造芯片,代表企業(yè)包括英特爾和三星。Foundries則是根據(jù)合同為其他公司制造芯片,代表企業(yè)包括臺(tái)積電、格芯和聯(lián)電。而Fabless自身不設(shè)晶圓廠,如高通、英偉達(dá)和超微半導(dǎo)體。他們專注芯片設(shè)計(jì),不涉及生產(chǎn)設(shè)施建設(shè)和維護(hù),從而避免高昂的成本。這些公司可能將生產(chǎn)外包給代工廠。
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GCIO
FOXBORO P0960HA
FOXBORO P0700WB
FOXBORO P0971WV
FOXBORO P0903ZE
FBM07 CM400YH
FBM03 P0400YD
FBM09 CM400YK
CMP10 P0400VP
FOBORO P0400VT
P0960JA CP40
P0951AP FOR FBC21
P0951BA-0E FBP10
P0951EA FBC07
P0960GC WP30
P0961BC CP40B
Foxboro I/A P0912HM
Foxboro I/A P0913ED
Foxboro I/A P0911ZZ
Foxboro I/A P0911VW MIW GCIO
Foxboro I/A P0911AC
Foxboro I/A P0904AJ
Foxboro I/A P0901VK
Foxboro I/A P0800DA
Foxboro P0972QM-0C
Foxboro I/A PM400VP
Foxboro I/A P0700WB
Foxboro I/A P0700WB
Foxboro I/A P0400YV
Foxboro I/A P0400YT
Foxboro I/A P0400YP
Foxboro I/A P0400VT
Foxboro I/A P0400VR
Foxboro I/A P0400DL
Foxboro I/A P0914ZM
Foxboro I/A P0914XA
Foxboro I/A P0961CA
Foxboro I/A P0400VP
Foxboro I/A P0911PU
Foxboro I/A P0400QK
Foxboro I/A P0400QK
Foxboro I/A P0400QJ
Foxboro I/A P0400QA
Foxboro I/A P0400DL
Foxboro I/A P0902DZ
FOXBORO I/A 83W-D01S1SSTNA
Foxboro I/A PM400YP
Foxboro I/A PM700WB
Foxboro CFT10 I/A
Foxboro FPS400-24
Foxboro I/A P0903ZE
Foxboro DO117KP
Foxboro P0971FB
Foxboro P0940BR
Foxboro P0940DH
Foxboro P0940BW
Foxboro P0940DK
P0961BC CP40B
FOXBORO P0960HA
FOXBORO P0700WB
FOXBORO P0971WV
FOXBORO P0903ZE
.............................................
P0400VE Field Bus Isolator
P0400YL FBM10, 120 VAC In/Out
P0960GC Workstation Processor 30
P0400QA Keyboard Assy.
P0400QB QWERTY Keyboard Assy.
P0500ZG Trackball w/conn. cable
P0600TA Annunciator Keypad (for P0400QA)
P0600TC QWERTY Assy. (for P0400QA)
P0600TC-B6 Numeric Kbrd. Assy. (for P0400QA)
P0600TV-F1 2x8 Annunc. Kbrd. Assy. (for P0400QA)
P0900MR Display Panel (for 2 Kbrds.)
P0901AK Auto/Manual Station
P0901YT 19 Panel Mount CRT Display w/Touchscreen
P0400VP CMP10 Processor
P0700WB NODEBUS Extender
P0970BC Dual NODEBUS Interface
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