主體構造特點
主體:設備為半敞開式,主體使用進口 WPP15 和 10mm 厚板材,結構設計充分考慮長期工作在酸腐蝕環(huán)境,堅固耐用,雙層防漏,機臺底盤采用德國產(chǎn)瓷白 PP板,熱焊接 而成,可長期工作在酸堿腐蝕環(huán)境中.
骨 架:鋼骨架+PP 德國勞施領板組合而成,防止外殼銹蝕.
安全門:前側下開透明安全門,腳踏控制.
工藝槽:模組化設計,腐蝕槽、純水沖洗槽放置在一個統(tǒng)一的承漏底盤中.底盤采用滿焊接工藝加工而成,杜絕機臺的滲漏危險.
管路系統(tǒng):位于設備下部,所有工藝槽、管路、閥門部分均有清晰的標簽注明;藥液管路采用 PFA 管,純水管路采用白色 NPP 噴淋管,化學腐蝕槽廢液、沖洗廢水通過專用 管道排放.
電氣保護:電器控制、氣路控制和工藝槽控制部份在機臺頂部電控區(qū),電氣元件有充分的防護以免酸霧腐蝕以保障設備性能運行穩(wěn)定可靠;所有可能與酸霧接觸的電氣及線路 均經(jīng) PFA 防腐隔絕處理,電氣柜 CDA/N2 充氣保護其中的電器控制元件.
排 風:后部排風和下沉式設計,風量可調節(jié),對操作員有安全保護.
送風:設備頂部有 FFU 百級凈化送風裝置,設備沿前側板鑲嵌入墻體,保證后上部送風
水:機臺前部配備有 PTFE 純水槍和 PTFE 氮各 1 只置于右側,方便操作員手工清洗槽體或工件.
控制系統(tǒng)
PLC可程式控制器(歐姆龍)+PROFACE 彩色人機界面操作。
模塊化軟件、硬件設計,減少故障幾率,便于安裝和維護;
空氣開關、斷路器、電磁閥、按鈕、氮氣調壓閥,針閥、三色等均采用SMC、施耐德、和泉、松下、正泰等電氣產(chǎn)品,安全可靠;
配備漏電斷路保護、隔離變壓器、漏液檢測、EMO開關等安全保護裝置;
所有程序參數(shù)可修改,操作模式可分為自動/手動,加液和花籃傳遞為手動;
電路區(qū)功能分塊,強電、弱電塊,便于維護;
電氣控制部分均有清晰的標簽注明
具密碼保護功能以避免操作人員誤改參數(shù):
Password-1.啟動及可進入自動模式內容。
Password-2可進入手動模式。
Password-3可進入編輯模式修改制程參數(shù)。
江蘇英思特半導體科技有限公司是一家集研發(fā)、設計、制造和銷售為一體的專業(yè)太陽能、LED和半導體清洗設備供應商。以優(yōu)質的產(chǎn)品和優(yōu)良的服務贏得了各界用戶的贊許和信賴。目前,公司主要產(chǎn)品有:多晶制絨硅片清洗機,濕法刻蝕硅片清洗機,全自動單晶制絨清洗機,全自動去磷硅玻璃清洗機,全自動硅料/硅片清洗硅片槽式清洗設備
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