中走絲線切割加工中同內(nèi)圓切割技術(shù)相比有其明顯的弱點(diǎn)，一是片厚平均誤差較大（約為內(nèi)圓切割技術(shù)2倍）。二是切割過程中智能檢測控制不易實現(xiàn)。三是切割過程的成功率要求較高，風(fēng)險大，一但斷絲而不可挽救時，直接浪費(fèi)一根單晶棒。四是不能實現(xiàn)單片質(zhì)量控制，一次切割完成后，才能檢測一批圓片的切割質(zhì)量，并且圓片之間切割質(zhì)量也不相同。
在這些方面，電火花線切割內(nèi)圓切割技術(shù)卻顯示出其優(yōu)越性來。具體表現(xiàn)在：
a、自動、單片方式切換操作方便性。
b、小批量多規(guī)格加工時靈活的加工可調(diào)性
c、切片精度高，切片成本低，同規(guī)格級的內(nèi)圓切片機(jī)價格為線切割機(jī)價格1/3～1/4，線切割機(jī)還需配置專用粘料機(jī)，每片都可調(diào)整。
d、低成本的輔料（線切割機(jī)磨料及磨料液要定時更換）。
e、不同片厚所需較小的調(diào)整時間，不同棒徑所需較小的調(diào)整時間。
f、修刀、裝刀方便。八十年代中后期人們普遍認(rèn)為：隨著硅晶片大片徑化發(fā)展，中走絲線切割技術(shù)是硅片切割的主流技術(shù)，在規(guī)?；A片切割中將取代內(nèi)圓切割技術(shù)。因此人們加大了對200mm以上線切割機(jī)的研究，以解決其技術(shù)不足。
本文由中走絲,線切割機(jī)床,電解去毛刺,去毛刺設(shè)備-蘇州中航長風(fēng)數(shù)控科技有限公司整理發(fā)布。
更多數(shù)控機(jī)床新聞與技術(shù)資料請參考www.szcfedm.com www.zhchangfeng.com www.skwedm.com
特別聲明：以上內(nèi)容(如有圖片或視頻亦包括在內(nèi))為自媒體平臺“機(jī)電號”用戶上傳并發(fā)布，本平臺僅提供信息存儲服務(wù)
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of JDZJ Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.
