產(chǎn)品詳情
隨著我國工業(yè)技術(shù)的發(fā)展,其中半導(dǎo)體行業(yè)需求也加大,但隨之而來也帶有VOC廢氣對大氣污染。半導(dǎo)體行業(yè)對生產(chǎn)車間清潔度要求高,因此廢氣排放風(fēng)量較大、排放濃度小的。主要來源于芯片或者是線路板出產(chǎn)的清洗、均膠、去膠、刻蝕、顯影過程中以及對電路板進(jìn)行清洗。主要成分有機廢氣和酸堿廢氣兩類。在整個工藝加工的過程中將會有部分的有機溶劑大部分通過揮發(fā)成為廢氣排放,這部分揮發(fā)的廢氣主要成分為具有揮發(fā)性的VOCs,下面昆山鑫藍(lán)環(huán)保小編簡單介紹半導(dǎo)體廢氣處理解決方案。
半導(dǎo)體廢氣處理解決方案:
(1)預(yù)處理階段:一般采用噴淋塔先對廢氣進(jìn)行預(yù)處理,去除粉塵以及易溶于水的有害氣體。
(2)主要處理階段:在此階段,比較常見而有效方法有:UV光催化,焚燒和催化燃燒等。
這幾種單一方式各有優(yōu)劣,根據(jù)大多數(shù)電子廠廢氣的情況,在這里我們主要推薦活性炭吸附+催化燃燒組合工藝去除VOCs氣體的方案。
1、活性炭吸附
有機廢氣由風(fēng)機提供動力,正壓或負(fù)壓進(jìn)入活性炭吸附箱,由于活性炭固體表面上存在著未平衡和未飽和的分子引力,因此當(dāng)此固體表面與氣體接觸時,就能吸引氣體分子,使其濃聚并保持在固體表面,污染物質(zhì)從而被吸附,活性炭吸附到一定時間后,即可進(jìn)入脫附流程,脫附后的氣體即是濃縮后的vocs氣體
2、催化燃燒設(shè)備
本凈化裝置是根據(jù)催化燃燒的基本原理設(shè)計的,催化凈化裝置內(nèi)設(shè)加熱室、換熱室,啟動加熱裝置,進(jìn)入內(nèi)部循環(huán),當(dāng)熱氣源達(dá)到有機物的沸點時,有機物進(jìn)入催化室進(jìn)行催化分解成CO2和H2O,同時釋放出能量。利用釋放出的能量進(jìn)入吸附床脫附時,此時加熱裝置完全停止工作,有機廢氣在催化燃燒室內(nèi)維持自燃,尾氣再生,循環(huán)進(jìn)行。余熱經(jīng)過換熱器進(jìn)行回收,便于下次加熱進(jìn)氣及余熱回收,能量回收效率高,能耗小,有機物得到催化處理。
鑫藍(lán)環(huán)保科技(昆山)有限公司,專注于大型工廠廢氣處理、粉塵處理,公司主營產(chǎn)品有:RTO焚燒設(shè)備、催化燃燒設(shè)備、活性炭吸附箱、防爆除塵器、布袋除塵器、濾筒除塵器、酸堿洗滌塔、靜電除油設(shè)備等,公司獲得多項實用新型證書。本公司生產(chǎn)設(shè)備和實施項目具有:節(jié)能環(huán)保、運行穩(wěn)定、使用時間長、排放達(dá)標(biāo)、項目投入少、處理效果好、設(shè)備噪聲低、處理量大、耐摩擦、維修便捷等特點。
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