產(chǎn)品詳情
PIEZOSYSTEM分辨率定位器TRITOR 100
產(chǎn)品型號：TRITOR 100
產(chǎn)品介紹：
TRITOR 100尺寸為40 x 40 x34 mm，如立方體和每軸100μm的平行XYZ運動范圍，使其成為市場上小尺寸的3D壓電平臺之一。壓電元件TRITOR 100構(gòu)造成立方體，具有頂板和底板。 通孔用于固定定位系統(tǒng)，這對于所有動態(tài)應(yīng)用都很重要。在頂板上有幾個銷孔和螺紋孔，用于安裝外部組件。三維壓電元件采用可靠的壓電堆疊執(zhí)行器構(gòu)建，具有柔性絕緣，非常適合高動態(tài)負載。三軸壓電定位器TRITOR系列結(jié)合了高剛度和運動直線度，是纖維校準，激光技術(shù)和許多其他微定位任務(wù)的納米級高精度定位的理想解決方案。
性能特點
高度緊湊的設(shè)計帶來更好的性能
平行四邊形設(shè)計實現(xiàn)準確的平行運動
固態(tài)鉸鏈帶來高可靠性
沒有機械間隙的運動
nm和小于1nm范圍內(nèi)的高分辨率
運動高達100μm
精密針孔
產(chǎn)品尺寸
尺寸：40 x 40 x 34毫米
產(chǎn)品應(yīng)用
AFM 和 SFM 顯微鏡
光纖對齊
光束轉(zhuǎn)向/光學(xué)技術(shù)
半導(dǎo)體技術(shù)
參數(shù)：
型號：TRITOR 100
開環(huán)運動（±10％）：100μm
每軸的電容：1.8μF
分辨率：0.2nm
共振頻率x/y/z：500/550/480 Hz
剛度：1/1/1 N/μm
力（max.）生成x/y/z
拉力：10/10/10 N
推力：100/100/100 N
電壓范圍：-20...+130 V
電纜長度：1.2m
尺寸（L×W×H）：40×40×34mm
重量：165g
