Smaract干涉儀 測(cè)振儀 編碼器 納米探針 類六足系統(tǒng) 微型夾持器 特定環(huán)境階段和系統(tǒng)

產(chǎn)品描述

產(chǎn)品作用：對(duì)于AFM等掃描應(yīng)用，SmarAct提供具有掃描速度和***小掃描誤差的SMARFLEX掃描平臺(tái)。同樣在光學(xué)顯微鏡領(lǐng)域，可以***地設(shè)置焦點(diǎn)，可以非常***地傾斜反射鏡或耦合光纖。

PLF產(chǎn)品系列提供具有不同掃描方向的***SMARFLEX壓電掃描儀。它們可以很容易地組合成多軸掃描系統(tǒng)。

產(chǎn)品作用：SLT-1213微型低溫線性載物臺(tái)，低溫***傾斜鏡支架

SL系列線性***超緊湊，專為要求***小型化的設(shè)置而設(shè)計(jì)。在保持其微型尺寸的同時(shí)，***提供相對(duì)較長(zhǎng)的行程范圍，并且可以組合以構(gòu)建復(fù)雜的多軸系統(tǒng)。SL 系列***寬 11 mm，高 5.2 mm。

您是否正在尋找***來(lái)推進(jìn)您在***技術(shù)領(lǐng)域的應(yīng)用？無(wú)論是定位技術(shù)、計(jì)量還是自動(dòng)化技術(shù)，我們都是您的合適合作伙伴。

您對(duì)我們能力和共同成功的信心使我們的團(tuán)隊(duì)發(fā)展到200名高技能成員。

我們不斷增長(zhǎng)的產(chǎn)品組合包括經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的產(chǎn)品和/或系統(tǒng)，可滿足您的各種需求。此外，我們擅長(zhǎng)設(shè)計(jì)適合您需求的特殊設(shè)備，并以簡(jiǎn)單快速的方式實(shí)施它們。我們通過(guò)建立三個(gè)業(yè)務(wù)部門來(lái)***這些能力。

在我們的運(yùn)動(dòng)業(yè)務(wù)部門，我們開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)***、緊湊的納米定位產(chǎn)品，滿足要求，同時(shí)易于操作。我們的產(chǎn)品類別包括：

SMARSLIDE——壓電定位平臺(tái)，定位范圍從幾毫米到一米以上，也可以在***環(huán)境條件下使用

SMARSHIFT – 快速且***的電磁定位平臺(tái)

SMARFLEX – 基于合規(guī)結(jié)構(gòu)的高分辨率動(dòng)態(tài)掃描儀

SMARBOTIC – 具有多個(gè)自由度的復(fù)雜定位系統(tǒng)和機(jī)器人

我們的計(jì)量業(yè)務(wù)部門提供用于高分辨率位置位移測(cè)量的組件和解決方案，以及用于組件表征和故障分析的工具。我們的測(cè)量系統(tǒng)是：

皮克刻度干涉儀 – 具有皮米分辨率的緊湊型激光干涉儀

METIRIO – 小型化光學(xué)編碼器;也適用于苛刻的環(huán)境條件

我們的組件表征解決方案包括：

皮克SCALE測(cè)振儀，用于檢測(cè)面內(nèi)和面外振動(dòng)，分辨率為pm分辨率

SMARPROBE – 納米探測(cè)平臺(tái)，允許突破晶圓、ASICS 和 MEMS 故障分析技術(shù)可行性的極限。

在我們的自動(dòng)化業(yè)務(wù)部門，我們?cè)谧詣?dòng)化生產(chǎn)小型化組件和系統(tǒng)（如光學(xué)和光電組件）的各個(gè)方面為您提供支持。我們?cè)O(shè)計(jì)和生產(chǎn)高通量生產(chǎn)設(shè)備，包括開(kāi)發(fā)生產(chǎn)工藝（如果需要）。當(dāng)然，包括在您的現(xiàn)場(chǎng)安裝和調(diào)試我們的系統(tǒng)以及通常的SmarAct服務(wù)。

公司產(chǎn)品

運(yùn)動(dòng)產(chǎn)品

線性平臺(tái)

SmarAct的產(chǎn)品組合包括多個(gè)線性定位平臺(tái)系列。每條生產(chǎn)線的開(kāi)發(fā)都考慮到了客戶的要求。不同產(chǎn)品系列的組件之間的完全兼容性允許選擇具有特定關(guān)鍵功能的階段，以將它們組合成復(fù)雜的多軸系統(tǒng)。

SLC系列的線性滑塊平臺(tái)基于帶有交叉滾子軸承的線性滑塊。SLC載物臺(tái)的特點(diǎn)是緊湊性、高剛性和直線度。它們非常適合穩(wěn)定性和***是重中之重的定位系統(tǒng)。可選地，這些載物臺(tái)有***的版本，用于高真空和***真空，也可以以不同的材料組合制造。SLC線性平臺(tái)有兩種不同的系列，主要區(qū)別在于寬度和高度。

型號(hào)：SLC-1720，SLC-1730，SLC-1740，SLC-1750，SLC-1760，SLC-1770，SLC-1780。

SLC-24系列的線性平臺(tái)（類似于SLC-17系列）也非常堅(jiān)固，因此非常適合穩(wěn)定性和***是重中之重的微納米定位系統(tǒng)。它們的尺寸為寬 24 毫米，高 10.5 毫米，比 SLC-17 更寬，但更堅(jiān)固。它們的高直線度即使在長(zhǎng)行程范圍內(nèi)也能實(shí)現(xiàn)***定位精度。為了進(jìn)一步提高機(jī)械負(fù)載能力，可以使用U形底座。然而，用于微和納米定位任務(wù)的位置傳感器可以選擇集成到每個(gè)階段中，而不會(huì)影響外部尺寸。可選地，這些載物臺(tái)有***的版本，用于高真空和***真空以及在低溫條件下運(yùn)行。這些載物臺(tái)可以以不同的材料組合制造。對(duì)于長(zhǎng)度在 30 到 75 mm 之間的 SLC-24 級(jí)，可提供用于閉環(huán)操作的低溫版本。每當(dāng)出現(xiàn)有關(guān)兼容性，規(guī)格和定制的問(wèn)題時(shí)，隨時(shí)歡迎您與我們聯(lián)系。

型號(hào)：SLC-2430,SLC-2445,SLC-2460,SLC-2475,SLC-2490,SLC-24105,SLC-24120,SLC-24150,SLC-24180,SLC-2430。

CLS系列的SMARSLIDE線性平臺(tái)是高可用性應(yīng)用中多軸設(shè)置的選擇，因?yàn)樗鼈兣鋫淞丝筛鼡Q的驅(qū)動(dòng)單元，以確保快速簡(jiǎn)便的現(xiàn)場(chǎng)維修。

它們與SmarAct模塊化系統(tǒng)的嚴(yán)格兼容性使其能夠輕松集成到多軸系統(tǒng)中：它們的安裝孔模式與我們的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)和測(cè)角儀的安裝***匹配。

型號(hào)：CLS-3232 - 帶EDU的線性載物臺(tái),CLS-3252 - 帶EDU的線性載物臺(tái),CLS-3282 - 帶EDU的線性載物臺(tái),CLS-5252 - 帶EDU的線性載物臺(tái),CLS-5282 - 帶EDU的線性載物臺(tái),CLS-9292 - 帶EDU的線性載物臺(tái),CLS-92152 - 帶EDU的線性載物臺(tái)。

CLL系列的線性平臺(tái)基于循環(huán)滾珠滑塊。Tey 提供 99、179、259 和 379 mm 的標(biāo)準(zhǔn)行程范圍。由于可根據(jù)要求提供特殊長(zhǎng)度，因此這些長(zhǎng)行程平臺(tái)是在有限空間內(nèi)長(zhǎng)距離***定位的解決方案。CLL載物臺(tái)配備了SmarActs可更換的驅(qū)動(dòng)單元，可確保輕松檢修載物臺(tái)的核心部件壓電驅(qū)動(dòng)裝置。這使得維修成為一項(xiàng)非常簡(jiǎn)單的任務(wù)。CLL載物臺(tái)可由我們的任何粘滑驅(qū)動(dòng)控制系統(tǒng)操作。
也可以將多個(gè)滑塊放在同一導(dǎo)軌上并獨(dú)立移動(dòng)它們。這允許完全電動(dòng)的光學(xué)工作臺(tái)設(shè)置。

CLL配件

提供各種附件，允許將現(xiàn)有設(shè)備安裝在CLL載物臺(tái)上。此外，CLL載物臺(tái)可以與現(xiàn)有的光學(xué)設(shè)置或試驗(yàn)板結(jié)合使用。歡迎隨時(shí)與我們聯(lián)系，討論特殊配件或完全定制的解決方案。例如，以下附件可用于將CLL平臺(tái)用作光學(xué)工作臺(tái)：被動(dòng)滑塊、機(jī)械端擋塊、試驗(yàn)板適配器、光電機(jī)械安裝座。

輔料

MCS2：MCS2是SmarAct***通用的模塊化控制系統(tǒng)

SCU - 簡(jiǎn)單控制單元：帶有一個(gè)或三個(gè)通道驅(qū)動(dòng)器的控制系統(tǒng)，可用作OEM板或集成手持控制器。

MLS產(chǎn)品系列提供SMARSLIDE電磁直線電機(jī)，用于工業(yè)應(yīng)用，實(shí)驗(yàn)室自動(dòng)化和緊湊型定位解決方案，其中高速，力和納米級(jí)***的運(yùn)動(dòng)必須與高占空比和***性相結(jié)合。這些平臺(tái)配備了非接觸式直線電機(jī)，開(kāi)辟了一個(gè)高動(dòng)態(tài)過(guò)程同時(shí)需要高速和納米精度的應(yīng)用領(lǐng)域。電磁驅(qū)動(dòng)器可實(shí)現(xiàn)高達(dá) 1 m/s 的速度。此外，它們***，幾乎免維護(hù)。其緊湊的尺寸確保無(wú)縫集成到現(xiàn)有系統(tǒng)中。

型號(hào)：MLS-3252 - 電磁直接驅(qū)動(dòng)，MLS-5282 - 電磁直接驅(qū)動(dòng)，MLS-92122 - 電磁直接驅(qū)動(dòng)。

MLL系列電機(jī)基于強(qiáng)大的長(zhǎng)壽命SMARSHIFT電機(jī)提供不同的長(zhǎng)行程電磁驅(qū)動(dòng)器。它可以很容易地與MLS系列的其他平臺(tái)和其他SmarAct定位平臺(tái)組合，形成復(fù)雜的多軸系統(tǒng)。

型號(hào)：MLL-400,MLL-82。

DLS系列，SmarAct的混合驅(qū)動(dòng)器將粘滑驅(qū)動(dòng)器和壓電掃描儀的優(yōu)點(diǎn)結(jié)合在一個(gè)緊湊的設(shè)備中?；旌蟿?dòng)力驅(qū)動(dòng)器由兩個(gè)驅(qū)動(dòng)單元組成 – 粘滑單元，用于驅(qū)動(dòng)載物臺(tái)的中心部分，從而驅(qū)動(dòng)整個(gè)蓋板，以及掃描儀單元，用于相對(duì)于中心部分驅(qū)動(dòng)蓋板的外框部分。粘滑驅(qū)動(dòng)器和掃查器都可以使用相同的反饋信號(hào)進(jìn)行閉環(huán)定位。

型號(hào)：DLS-3232-混合動(dòng)力驅(qū)動(dòng)。

PLF系列，對(duì)于AFM等掃描應(yīng)用，SmarAct提供具有掃描速度和***小掃描誤差的SMARFLEX掃描平臺(tái)。同樣在光學(xué)顯微鏡領(lǐng)域，可以***地設(shè)置焦點(diǎn)，可以非常***地傾斜反射鏡或耦合光纖。
PLF產(chǎn)品系列提供具有不同掃描方向的***SMARFLEX壓電掃描儀。它們可以很容易地組合成多軸掃描系統(tǒng)。

型號(hào)：PLF3232-x.60,PLF3232-z.60,PLF5252-x.200。

SL系列線性***超緊湊，專為要求***小型化的設(shè)置而設(shè)計(jì)。在保持其微型尺寸的同時(shí)，***提供相對(duì)較長(zhǎng)的行程范圍，并且可以組合以構(gòu)建復(fù)雜的多軸系統(tǒng)。SL 系列***寬 11 mm，高 5.2 mm。

型號(hào)：SL-0610 - 緊湊型線性平臺(tái)，SL-0620 - 緊湊型線性平臺(tái)，SL-0630 - 緊湊型線性平臺(tái)。

旋轉(zhuǎn)平臺(tái)

基于不同的驅(qū)動(dòng)技術(shù)，可提供***旋轉(zhuǎn)平臺(tái)。它們可以輕松地相互組合或與其他SmarAct***組合，以形成更復(fù)雜的設(shè)置，例如萬(wàn)向節(jié)，旋轉(zhuǎn)歐拉支架，多軸或多旋轉(zhuǎn)定位系統(tǒng)。SmarAct***允許連續(xù)和機(jī)械***制的旋轉(zhuǎn)。如有必要，可以機(jī)械限制旋轉(zhuǎn)，以避免碰撞或撕裂安裝在其上的設(shè)備的電纜。其中許多版本有高壓或特高壓兼容版本以及完全非磁性版本。

型號(hào)：SR-1908-旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，SR-2013-旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，SR-2013-旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，SR-2812-旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，SR-3211-旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，SR-4011-旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，SR-4513-旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，SR-5014-旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，SR-5714-旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，SR-5714C-旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，SR-7012-旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，SR-9219-旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，SR-9219C-旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，SR-12012-旋轉(zhuǎn)平臺(tái)。

高負(fù)載級(jí)

CHS和SHL系列的線性平臺(tái)***設(shè)計(jì)用于處理重負(fù)載。機(jī)械設(shè)計(jì)基于致動(dòng)楔塊，***了載物臺(tái)運(yùn)動(dòng)的分辨率。單獨(dú)的導(dǎo)軌確保沿負(fù)載方向直線運(yùn)動(dòng)，并允許集成位置傳感器，以實(shí)現(xiàn)直接位置反饋和閉環(huán)操作。具有一個(gè)自由度的載物臺(tái)，用于純垂直提升運(yùn)動(dòng)，可以配備額外的恒力彈簧（CFS），以將有效載荷增加到更高的值。CHS級(jí)配備了SmarAct的可更換驅(qū)動(dòng)單元，便于維護(hù)。CHS和SHL平臺(tái)也可以組合在一起，形成在所有三個(gè)維度上都具有高阻塞力的多軸系統(tǒng)。

型號(hào)：CHS-3232-1D-5 - 高負(fù)載級(jí),CHS-5237-1D-10 - 高負(fù)載級(jí),CHS-9257-1D-15 - 高負(fù)載級(jí),SHL-1D80N-1 - 高負(fù)載級(jí),SHL-3D5N-5 - 高負(fù)載級(jí)。

測(cè)角儀載物臺(tái)

CGO系列的SMARSLIDE測(cè)角儀平臺(tái)非常適合需要在小角度（±5°）上非常***旋轉(zhuǎn)的應(yīng)用。它們有兩種不同的半徑可供選擇，可以直接堆疊以形成具有共同旋轉(zhuǎn)中心的***緊湊和堅(jiān)硬的歐拉測(cè)角儀。

CGO系列具有可更換驅(qū)動(dòng)單元（EDU）和兼容的孔型，可輕松與線性或旋轉(zhuǎn)平臺(tái)集成到多維串行
系統(tǒng)中。

型號(hào)：CGO-60.5 - 測(cè)角儀載物臺(tái)，CGO-77.5 - 測(cè)角儀載物臺(tái)。

定位系統(tǒng)

在***定位樣品和工具時(shí)，科學(xué)和工業(yè)中的大多數(shù)應(yīng)用都需要一個(gè)以上的自由度。SmarAct的使命是成功解決您的特定定位任務(wù)，并讓您完全滿意。從在平面上定位組件和樣品到高度復(fù)雜的3D定位任務(wù)：SMARBOTIC定位系統(tǒng)旨在***應(yīng)對(duì)您的挑戰(zhàn)。

TRIPOD 產(chǎn)品系列提供高度模塊化的多維定位系統(tǒng)，將串行運(yùn)動(dòng)學(xué)的多功能性和并聯(lián)運(yùn)動(dòng)學(xué)的緊湊性結(jié)合在一個(gè)混合設(shè)計(jì)中。

型號(hào)：TRIPOD 400-6DoF，TRIPOD 52-6DoF，TRIPOD 92-6DoF。

SMAR POD運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)提供類似于***六足位移臺(tái)系統(tǒng)的六個(gè)自由度，同時(shí)***的分辨率和可重復(fù)性。與串聯(lián)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)相比，并聯(lián)運(yùn)動(dòng)學(xué)SMARPOD表現(xiàn)出更高的剛度。用戶友好的軟件包可輕松集成到您自己的控制環(huán)境中，確保非常短的設(shè)置時(shí)間。

型號(hào)：SMARPOD CLS-32，SMARPOD 70.42，SMARPOD 110.45，SMARPOD 225.75，SMARPOD P-SLC-17，SMARPOD P-SLC-24，SMARPOD P-CLL。

典型的定位系統(tǒng)可作為SmarAct模塊化系統(tǒng)的一部分提供。這些定位系統(tǒng)以客戶為靈感，代表了客戶***需要的系統(tǒng)和平臺(tái)。
該系統(tǒng)用途***，可用于各種定位任務(wù)。如果直接安裝方法，所有系統(tǒng)也可不帶試驗(yàn)板適配器。
在這些典型系統(tǒng)的基礎(chǔ)上，結(jié)合客戶特定的連接元件和客戶特定的***，可以實(shí)現(xiàn)非常復(fù)雜的串行定位系統(tǒng)。
如果您的應(yīng)用需要我們網(wǎng)站上未顯示的特殊配置，請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系我們的應(yīng)用***，討論您的應(yīng)用要求。

2 自由度,具有兩個(gè)自由度的自定義系統(tǒng)

型號(hào)：XY-SLC17：22,XY-SLC17：30,XY-SLC17：80,XY-SLC24：60,XY-CLS32：32,XY-CLS52：52。

3自由度,具有三個(gè)自由度的自定義系統(tǒng)

型號(hào)：XYZ-SLC17：22，XYZ-SLC17：22，XYZ-SLC23：30，XYZ-XY SLC17：40 Z SLC17：30，XYZ-SLC24：45，XYZ-CLS32：32，XYZ-CLS52：52，XYZ-SHL-3D5N-5。

4自由度,具有四個(gè)自由度的自定義系統(tǒng)

型號(hào)：XYZR-XYZ CLS32：32 R SRP32：11，XYZR-XYZ SLC17：30 R SRP20：13。

顯微鏡載物臺(tái)，在生命科學(xué)領(lǐng)域，樣品的***處理和操作是顯微鏡工作站日常工作中***重要的部分之一;因此，所使用的設(shè)備必須非常準(zhǔn)確和可靠。SmarAct為您的特定應(yīng)用提供***、堅(jiān)固和定制的顯微鏡平臺(tái)。

型號(hào)：SOM-12090，SOM-180150，SOM-505020，SOM-8080，SOM-808030。

電動(dòng)光機(jī)械

小型化、***化和模塊化使SmarAct定位系統(tǒng)成為光學(xué)領(lǐng)域復(fù)雜設(shè)置和實(shí)驗(yàn)的解決方案。除了各種多軸定位系統(tǒng)外，SmarAct還開(kāi)發(fā)了大量***光機(jī)械部件。
結(jié)合定位傳感器，它們可實(shí)現(xiàn)閉環(huán)位置控制，非常適合自動(dòng)或遠(yuǎn)程控制的實(shí)驗(yàn)設(shè)置。
為了滿足對(duì)真空光學(xué)裝置的高要求，幾乎所有組件都提供高真空或***真空版本。對(duì)于必須避免反射的設(shè)置，可以使用組件的黑色陽(yáng)極氧化版本。這里介紹的所有光機(jī)械組件和設(shè)備都可以高度定制。我們總是很樂(lè)意討論滿足您確切要求的定制解決方案。

***傾斜鏡支架，電動(dòng)傾斜鏡座是光學(xué)系統(tǒng)的關(guān)鍵部件。傾斜反射鏡支架適用于市場(chǎng)上***常見(jiàn)的光學(xué)器件，范圍從 0.5 到 2 英寸。在直徑上。還提供適用于低污染應(yīng)用的 UHV 兼容系統(tǒng)和反射鏡支架。例如，它們用于高功率激光腔。
SmarAct提供具有主動(dòng)閉環(huán)控制的可傾斜鏡座。集成編碼器基于電感式測(cè)量原理，不會(huì)產(chǎn)生雜散光。

型號(hào)：STT-12.7 - ***傾斜鏡安裝，STT-25.4 - ***傾斜鏡安裝，STT-50.8 - ***傾斜鏡安裝，STT-2013 - ***傾斜鏡安裝。

虹膜隔膜，電動(dòng)虹膜膜用于光電子、激光和醫(yī)療技術(shù)等領(lǐng)域。它們?cè)试S完全遠(yuǎn)程控制光學(xué)設(shè)置。
由于使用了高質(zhì)量的材料，即使在***條件下，虹膜片在數(shù)千次打開(kāi)/關(guān)閉循環(huán)中也很可靠。虹膜膜可以選擇配備位置傳感器。這樣就可以對(duì)孔徑進(jìn)行閉環(huán)控制。提供高真空和***真空兼容版本，以及有關(guān)孔徑尺寸、基材和整體尺寸的定制組件。

型號(hào)：SID-7 - 虹膜膜，SID-18 - 虹膜膜，SID-50 - 光圈膜片，SID-5714-ID-18 - 虹膜膜，SID-5714-ID-22 - 虹膜膜，SID-5714-ID-25 - 虹膜膜。

濾光輪

型號(hào):SFW-6-25.4 - 濾光片轉(zhuǎn)盤,SFW-8-25.4 - 濾光片轉(zhuǎn)盤,SFW-5-50.8 - 濾光片轉(zhuǎn)盤。

矩形孔徑

型號(hào)：SMS-20-0 - 矩形光圈，SMS-20-20 - 矩形孔徑。

SMARGON微型機(jī)器人

在選擇用于科學(xué)和工業(yè)的定位設(shè)備時(shí)，精度、堅(jiān)固性和可靠性是重中之重。SmarAct設(shè)計(jì)了一個(gè)具有六個(gè)自由度的機(jī)器人定位系統(tǒng)，用于實(shí)驗(yàn)或微裝配設(shè)置中的各種定位任務(wù)。其緊湊的設(shè)計(jì)造就了纖薄的輪廓，即使在狹窄的空間內(nèi)也允許較大的旋轉(zhuǎn)角度。通過(guò)智能自動(dòng)校準(zhǔn)程序，它可以在所有旋轉(zhuǎn)軸的個(gè)位數(shù)千分尺范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)混亂。
SMARGON是一種具有六個(gè)自由度的定位系統(tǒng)，基于安裝在重型旋轉(zhuǎn)平臺(tái)上的串行和并聯(lián)運(yùn)動(dòng)學(xué)的組合，定義了設(shè)備的ω軸。該旋轉(zhuǎn)平臺(tái)可以是直接驅(qū)動(dòng)或壓電驅(qū)動(dòng)平臺(tái)。***混合運(yùn)動(dòng)學(xué)方法允許末端執(zhí)行器（也可以是組件或 50 克的其他有效載荷）在 X、Y 和 Z 方向上定位，并在 χ、φ 和 ω 方向上旋轉(zhuǎn)。
SMARGON控制系統(tǒng)計(jì)算部分平行的運(yùn)動(dòng)學(xué)變換，允許直接定位末端執(zhí)行器，這使得姿勢(shì)的教學(xué)變得容易。與 MCS2 模塊化控制系統(tǒng)的兼容性***了與現(xiàn)有控制環(huán)境的輕松集成，并以直觀的方式控制定位系統(tǒng)。

SMARGON由安裝在重型旋轉(zhuǎn)平臺(tái)頂部的五個(gè)自由度的定位系統(tǒng)組合組成。壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)或***空氣軸承可用于定位系統(tǒng)的ω旋轉(zhuǎn)。五軸定位平臺(tái)允許被研究的樣品沿 X、Y 和 Z 方向定位，并在 χ 和 φ 方向
上旋轉(zhuǎn)。SMARGON控制系統(tǒng)計(jì)算部分平行的運(yùn)動(dòng)學(xué)變換，允許在梁中直接定位和對(duì)準(zhǔn)。在其標(biāo)準(zhǔn)配置中，磁性樣品架安裝在前端，這提供了一種快速便捷的方法來(lái)裝載和卸載不同的樣品。
這款***測(cè)角儀專為X射線衍射實(shí)驗(yàn)而設(shè)計(jì)。因此，SmarAct特別關(guān)注SMARGON定位系統(tǒng)的六個(gè)自由度。
測(cè)角儀整體緊湊，占地面積小，有助于限度地減少自陰影效應(yīng)。這也允許將X射線探測(cè)器放置在更靠近樣品的位置，從而產(chǎn)生要檢測(cè)的衍射錐的更大部分。SmarAct還能夠提供真空兼容版本或完全由非磁性材料制成的SMARGON。
整個(gè)設(shè)置的混淆范圍代表了整體性能，并且在很大程度上取決于每個(gè)定位階段的精度。因此，每個(gè)階段都***對(duì)齊，以確保組合多軸系統(tǒng)中的協(xié)同作用。此外，通過(guò)可用的校準(zhǔn)套件進(jìn)行的復(fù)雜校準(zhǔn)為在系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)控制器中實(shí)施的主動(dòng)補(bǔ)償程序提供了基礎(chǔ)。下表概述了成功校準(zhǔn)后現(xiàn)場(chǎng)操作期間確定的系統(tǒng)規(guī)格。

校準(zhǔn)套件由硬件和軟件部分組成，兩者都設(shè)計(jì)用于自動(dòng)測(cè)量與理想旋轉(zhuǎn)的偏差，并計(jì)算將存儲(chǔ)在PMAC中的補(bǔ)償參數(shù)。硬件部分包括配備有陶瓷球作為測(cè)試對(duì)象的校準(zhǔn)樣品。帶有力傳感器的三維定位系統(tǒng)用于測(cè)量陶瓷球的橫向位移，同時(shí)校準(zhǔn)樣品由SMARGON旋轉(zhuǎn)。復(fù)雜的例程可確保在幾分鐘內(nèi)校準(zhǔn)測(cè)角儀。

Smaract模塊化系統(tǒng)

變化在學(xué)術(shù)研究和工業(yè)制造中都是不變的。設(shè)備需要具有適應(yīng)性，以滿足新的要求并保持投資可控性。
SmarAct的模塊化系統(tǒng)是一種產(chǎn)品概念，允許客戶基于嚴(yán)格的模塊化以及線性，旋轉(zhuǎn)和測(cè)角儀平臺(tái)之間的相互兼容性，在現(xiàn)場(chǎng)調(diào)整，修改和重新配置復(fù)雜的多軸定位系統(tǒng)。它允許組合 CLS、SLC、CGO、DLS、MLS 和 SR 產(chǎn)品系列的兼容執(zhí)行器，以形成復(fù)雜且可重新配置的定位設(shè)置。標(biāo)準(zhǔn)化的尖括號(hào)、適配器和附件提供了將SmarAct的單軸平臺(tái)組合成可轉(zhuǎn)換儀器所需的靈活性，同時(shí)***了由此創(chuàng)建的定位解決方案的精度和質(zhì)量。由于高度模塊化和大量的組件和附件，SmarAct模塊化系統(tǒng)提供了幾乎***的可能性來(lái)構(gòu)建您自己的設(shè)置。下面介紹的定位系統(tǒng)作為示例，展示了SmarAct模塊化系統(tǒng)的可能性和現(xiàn)場(chǎng)可重構(gòu)性。

微型夾持器

在自動(dòng)化裝配線上***處理零件和工具以及生命科學(xué)中的樣品處理和操作通常是***關(guān)鍵的任務(wù)。
我們通過(guò)多功能抓取解決方案補(bǔ)充了我們的產(chǎn)品組合，以滿足不斷增長(zhǎng)的需求。
SmarActs的微型夾持器由線性SMARSLIDE平臺(tái)和夾爪組成，如果需要，可以輕松更換和定制。
當(dāng)配備位置傳感器時(shí)，微型夾持器可以完全控制抓取過(guò)程。此外，集成在平行微型抓手SGP-17F中的力傳感器不僅可以控制鉗口開(kāi)口，還可以在處理易碎或高度脆弱的物體時(shí)控制夾持力。

型號(hào)：SG-1730 - 微型夾持器，SGP-17F - 微型夾持器。

特定環(huán)境階段和系統(tǒng)

為了在***條件下為您提供的定位性能，SmarAct為工業(yè)和科學(xué)領(lǐng)域的各種應(yīng)用開(kāi)發(fā)了其定位平臺(tái)的***版本。對(duì)于需要在低溫、***真空或高磁場(chǎng)下運(yùn)行的應(yīng)用，SmarAct完善了特定材料、合適的布線和特殊制造工藝的使用。
我們的應(yīng)用***總是很樂(lè)意與您討論您設(shè)置的特定環(huán)境條件，并為其找到解決方案。

低溫壓電平臺(tái)和系統(tǒng)，工業(yè)和基礎(chǔ)研究中的許多應(yīng)用都需要低溫。此外，在許多情況下，不僅需要冷卻樣品，還需要在低溫恒溫器內(nèi)***地機(jī)械操作它們。SmarAct開(kāi)發(fā)了具有低熱分布和***真空兼容性的SMARSLIDE平臺(tái)，允許在低至mK的溫度下操縱樣品。此外，它們可以使用高達(dá)330K的功率，并且可以像常規(guī)UHV系統(tǒng)一樣烘烤。還提供非磁性版本。

型號(hào)：SLC-2430-F - 閉環(huán)低溫載物臺(tái)，SLC-2445-F - 閉環(huán)低溫載物臺(tái)，SLC-2460-F - 閉環(huán)低溫載物臺(tái)，SLC-2475-F - 閉環(huán)低溫載物臺(tái)，SLC-1720 - 線性壓電平臺(tái)，SLC-1730 - 線性壓電平臺(tái)，SLC-1740 - 線性壓電平臺(tái)，SLC-1750 - 線性壓電平臺(tái)，SLC-1760 - 線性壓電平臺(tái)，SLC-1770 - 線性壓電平臺(tái)，SLC-1780 - 線性壓電平臺(tái)，SLC-2430 - 線性壓電平臺(tái)，SLC-2445 - 線性壓電平臺(tái)，SLC-246 - 線性壓電平臺(tái)，SR-2812-CR - 低溫旋轉(zhuǎn)臺(tái)，SRT-2006 - 低溫旋轉(zhuǎn)階段，STT-12.7-CR低溫***傾斜鏡支架，SLT-1213- 低溫線性平臺(tái)，低溫定位系統(tǒng)。

控制系統(tǒng)和軟件

每個(gè)成功的定位解決方案都至少依賴于兩個(gè)支柱。***個(gè)由解決方案的機(jī)械部分定義，***個(gè)由控制它的電子設(shè)備和軟件定義。SmarAct復(fù)雜易用的控制系統(tǒng)，加上我們直觀的軟件解決方案和軟件開(kāi)發(fā)工具包（SDK），是將SmarAct定位技術(shù)快速輕松地集成到您的應(yīng)用中的基礎(chǔ)。
SmarAct的控制系統(tǒng)產(chǎn)品組合包括針對(duì)不同應(yīng)用和集成場(chǎng)景優(yōu)化的各種組件。從單通道手持控制器到多達(dá) 18 個(gè)通道的機(jī)架安裝模塊，我們總是很高興為您提供合適的工具。

控制系統(tǒng)

型號(hào)：MCS2，SCU - 簡(jiǎn)單控制單元，SDC2，斯瑪拉特手控制器EMS。

軟件

斯瑪滑技術(shù)

每當(dāng)將壓電原理***的分辨率與宏觀行程范圍相結(jié)合的關(guān)鍵時(shí)，SMARSLIDE平臺(tái)都是***的選擇。粘滑壓電驅(qū)動(dòng)技術(shù)使SMARSLIDE能夠提供具有從幾毫米到超過(guò)一米的線性定位范圍的載物臺(tái)，以及***旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)和超***和剛性測(cè)角儀。

低熱漂移和高諧振頻率

真空和低溫兼容性

緊湊且用途***

自?shī)A緊和無(wú)間隙

非磁性材料選項(xiàng)

高度可定制

壓電驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)

型號(hào)：SR-12012 - 旋轉(zhuǎn)平臺(tái),SR-1908 - 旋轉(zhuǎn)平臺(tái),SR-2013 - 旋轉(zhuǎn)平臺(tái),SR-2812 - 旋轉(zhuǎn)平臺(tái),SR-2812-CR - 低溫旋轉(zhuǎn)臺(tái),SR-3211 - 旋轉(zhuǎn)平臺(tái),SR-4011- 旋轉(zhuǎn)平臺(tái),SR-4513 - 旋轉(zhuǎn)平臺(tái),SR-5014 - 旋轉(zhuǎn)平臺(tái),SR-5714 - 旋轉(zhuǎn)平臺(tái),SR-5714C - 旋轉(zhuǎn)平臺(tái),SR-7012 - 旋轉(zhuǎn)平臺(tái),SR-9219 - 旋轉(zhuǎn)平臺(tái),SR-9219C - 旋轉(zhuǎn)平臺(tái),SRT-2006 - 低溫旋轉(zhuǎn)階段。

計(jì)量產(chǎn)品

***位移測(cè)量解決方案

干涉儀

位移測(cè)量用于非接觸式***位移測(cè)量的 PICOSCALE 干涉儀。

對(duì)于***位移測(cè)量，SmarAct提供PICO SCALE干涉儀，這是一款具有皮米分辨率的強(qiáng)大傳感器?；?**緊湊的邁克爾遜干涉儀，可以非常有效地實(shí)現(xiàn)對(duì)目標(biāo)反射率限制較低的非侵入式位移測(cè)量。

傳感器頭可用于通用或針對(duì)特定任務(wù)（如角度或差分測(cè)量）進(jìn)行優(yōu)化。此外，我們還提供用于真空、低溫或其他惡劣環(huán)境的傳感器頭。由于其緊湊性，它們幾乎適合所有設(shè)置。強(qiáng)大的固件模塊和多功能附件補(bǔ)充了PICOSCALE產(chǎn)品組合，強(qiáng)調(diào)其作為實(shí)驗(yàn)室設(shè)備的用途，用于與其他設(shè)備同步，信號(hào)生成，實(shí)時(shí)計(jì)算和更多應(yīng)用。

***非接觸式位移測(cè)量

為了***測(cè)量位移，SmarAct提供了PICO SCALE干涉儀。

• 一臺(tái)儀器中有 3 臺(tái)平行激光干涉儀，用于 3D 測(cè)量

• 測(cè)量帶寬高達(dá) 2.5 MHz（10 MHz 采樣率），分辨率低至 1 pm1

• 可對(duì)大多數(shù)材料（塑料、玻璃、金屬甚至水）進(jìn)行測(cè)量

• 適用于不同應(yīng)用和環(huán)境（包括真空和低溫）的各種傳感器頭

• 可通過(guò)可選模塊擴(kuò)展到***實(shí)驗(yàn)室測(cè)量和控制儀器

• 久經(jīng)考驗(yàn)的性能，擁有 100 多名滿意的客戶

測(cè)振儀

振動(dòng)測(cè)量，用于小樣品模態(tài)分析的皮克級(jí)測(cè)振儀。

PICO SCALE測(cè)振儀是一種交鑰匙解決方案，用于測(cè)量尺寸從幾微米到幾厘米的微機(jī)械結(jié)構(gòu)的振動(dòng)。應(yīng)用包括MEMS、傳感器、微型揚(yáng)聲器以及軸承和執(zhí)行器的測(cè)試。由于該儀器配備了集成顯微鏡，可以測(cè)量高達(dá)100萬(wàn)像素，因此非常適合以高空間和時(shí)間分辨率可視化振動(dòng)模式。

光學(xué)編碼器

METIRIO? 光學(xué)編碼器 – 緊湊型讀數(shù)頭，可用作 OEM 和獨(dú)立組件。

METIRIO是一款進(jìn)的***光學(xué)編碼器，其設(shè)計(jì)和制造旨在滿足閉環(huán)納米定位***嚴(yán)格的市場(chǎng)要求。該器件的開(kāi)發(fā)基于多年的經(jīng)驗(yàn)和***的產(chǎn)品和市場(chǎng)分析，并考慮了應(yīng)對(duì)當(dāng)今技術(shù)挑戰(zhàn)的基本設(shè)計(jì)規(guī)則。它具有的小型化，高分辨率和速度。讀數(shù)頭是模塊化的，可以作為OEM產(chǎn)品提供，也可以內(nèi)置到定制的金屬外殼中，以促進(jìn)集成過(guò)程和易用性。梅蒂里奧在低功耗和特高壓使用方面樹(shù)立了新標(biāo)準(zhǔn)。相關(guān)軟件的圖形用戶界面包括簡(jiǎn)化參數(shù)設(shè)置的智能功能，所有參數(shù)都可以存儲(chǔ)在內(nèi)部存儲(chǔ)器中，以便可能調(diào)用。METIRIO 編碼器設(shè)計(jì)用于測(cè)量所有間距為 20 μm 的反射增量刻度，包括參考標(biāo)記檢測(cè)。

納米探針

半導(dǎo)體器件的電氣特性。

納米探針臺(tái)SMAR探針LX的開(kāi)發(fā)旨在將納米分辨閉環(huán)探測(cè)在效率和穩(wěn)定性方面提升到一個(gè)新的水平。它允許定位多達(dá)八個(gè)探頭來(lái)分析或操作固定在其樣品臺(tái)上的樣品。該系統(tǒng)集成到電子顯微鏡中，用于5 nm晶體管的故障分析，或集成到光學(xué)顯微鏡裝置中，用于大樣品的大氣探測(cè)。