產(chǎn)品詳情
天津瑞利光電科技有限公司優(yōu)勢經(jīng)銷日本ALNAIR硅晶圓厚度傳感器
? 品牌名稱：ALNAIR
? 規(guī)格型號：SIT-200
產(chǎn)品介紹
用于硅晶片的全光學(xué)非接觸式厚度傳感器
高動態(tài)范圍，能夠測量混亂的表面
能夠在濕蝕刻過程中進行原位測量
SIT-200使用高速掃頻可調(diào)激光器（而不是寬帶光源）來探測被測晶片。這樣就可以對每個波長進行更高功率的測量，從而實現(xiàn)高動態(tài)范圍。即使在未拋光的晶片上，例如在濕蝕刻期間/之后，也可以進行厚度測量。硅晶圓厚度傳感器由準(zhǔn)確調(diào)諧的波長掃描激光源，聚焦傳感器和光接收器（PD）構(gòu)成。波長掃描光聚焦在目標(biāo)上，并且在通過傳感器后，PD會檢測到從目標(biāo)表面反射回來的干涉圖樣。
產(chǎn)品參數(shù)
測量對象：硅片
可測厚度：10~500（n = 3.5）μm
光源：波長掃描激光源
（1515~1585）nm
光輸出功率：0.6，激光等級1 mW
引導(dǎo)光源：紅色LD，激光等級1M
測量時間：min.20 ms
重復(fù)性：小于0.1（3σ）μm
監(jiān)控輸出：干擾信號（電氣）
PC接口：以太網(wǎng)
電源：AC 100-240（50/60 Hz）V
尺寸（寬x高x深）：364 x 147 x 391 mm
重量：9.0 kg
天津瑞利光電科技有限公司于2016年成立，坐落于渤海之濱天津，地理位置得天獨厚，交通運輸便利，進出口貿(mào)易發(fā)達。憑借著歐洲的采購中心，我們始終為客戶提供歐美工業(yè)技術(shù)、高新科技等發(fā)達國原裝進口的光電設(shè)備、光學(xué)儀器、機電設(shè)備及配件、電氣成套設(shè)備、工業(yè)自動化控制設(shè)備產(chǎn)品，同時擁有多個品牌的授權(quán)經(jīng)銷和代理權(quán)。
