德國ADL單極脈沖發(fā)生器SD 30與直流電源結(jié)合使產(chǎn)生帶有反向的單極脈沖

德國ADL單極脈沖發(fā)生器SD 30與直流電源結(jié)合使產(chǎn)生帶有反向的單極脈沖
一、產(chǎn)品概述
單極脈沖發(fā)生器用于電弧臨界和部分反應(yīng)過程高質(zhì)量和可復(fù)制的涂層
直流電源（HX、GX / GS）可通過接口X4P與單極脈沖發(fā)生器（SD）組合。因此，涂布設(shè)備可以使用直流或單極脈沖非常靈活地運(yùn)行。在“主/從”或并聯(lián)作中，多個(gè)電源的同步功率可達(dá) 240 kW。脈沖發(fā)生器的緊湊 1/2 19“ 設(shè)計(jì)使直接安裝在真空室中成為可能！與所有 ADL 電源一樣，脈沖系統(tǒng)無需維護(hù)，極少發(fā)生故障，并且后續(xù)成本極低，性價(jià)比競(jìng)爭力。
二、單極脈沖發(fā)生器應(yīng)用
直流+單極脈沖Generators_012022的組合 （440.03 KB）
ADL 單極脈沖系統(tǒng)是部分氧化過程濺射的選擇。單極脈沖與金屬靶材部分反應(yīng)或與陶瓷靶材呈亞化學(xué)計(jì)量，通過極低的電弧能量，有助于避免室壁或陽極的鈍化增加，從而有助于涂層過程的穩(wěn)定。
直流和單極脈沖發(fā)生器的組合用于生產(chǎn) OLED，或用于大平面屏幕或特殊裝飾和硬涂層的 LCD。

三、產(chǎn)品特性

具有低導(dǎo)電目標(biāo)的廣泛濺射應(yīng)用
對(duì)半氧化靶標(biāo)（例如 TiOx、NbOx）具有出色的過程控制能力
對(duì) AZO 等電弧關(guān)鍵靶材進(jìn)行穩(wěn)定加工
單極全反應(yīng)涂層工藝，例如 SiO2四3O4人工智能2O3
與直流相比，涂層形貌得到改善
四、產(chǎn)品介紹
單極脈沖發(fā)生器 SD 30 - SD 300
高達(dá) 30 kW
與 ADL 直流電源結(jié)合使用，脈沖發(fā)生器可產(chǎn)生單極脈沖。脈沖發(fā)生器以 20 kHz 的固定頻率工作。因此，使用外部信號(hào)發(fā)生器，該頻率可以在 1 kHz 到 40 kHz 之間變化。脈沖發(fā)生器配備了自動(dòng)電弧抑制功能。跳閘水平和休息時(shí)間的參數(shù)會(huì)根據(jù)特定過程自動(dòng)調(diào)整。完全不需要用戶編程。為了實(shí)現(xiàn)自動(dòng)同步，可以通過控制電纜連接多個(gè)發(fā)電機(jī)。在這種情況下，脈沖發(fā)生器會(huì)自動(dòng)切換到外部同步。
性能參數(shù)：
輸出功率 3 kW、15 kW、
30 kW
并聯(lián)運(yùn)行，功率高達(dá) 240 kW
自動(dòng)電弧處理
風(fēng)冷
緊湊型設(shè)計(jì)，1/2 19“ - 3
浮動(dòng)輸出