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力敏元件種類繁多，如電阻式、電容式、壓電式等。常見的是金屬應變計和半導體應變計。金屬應變計是受外力的作用使金屬箔和金屬絲伸長或縮短，使電阻值發(fā)生變化來完成信息轉換功能的。應變材料多采用銅、鎳等金屬和合金。半導體應變計是利用半導體材料的壓阻效應制成的。圖2表示N型硅的電阻值隨壓強的變化。由圖2可見，在壓強約為20吉帕以下時,N型硅的電阻值隨壓強的變化呈線性。利用這一線性段可制成半導體應變計。半導體應變計又可分為體型和擴散型兩種。擴散型半導體應變計利用半導體平面工藝制成，性能優(yōu)良，具有很大的發(fā)展前途。力敏元件的基本參數為靈敏度，即電阻值的相對變化量與應變量的比值。金屬應變計的靈敏系數為2～3，而半導體應變計的靈敏系數為 20～200。力敏元件可用來測量壓力、位移、扭矩、加速度、氣壓、氣體流量等力學量。 電參數隨環(huán)境濕度變化而變化的敏感元件。濕敏元件包括電解質濕敏元件、有機高分子膜濕敏元件、金屬氧化物濕敏元件和陶瓷濕敏元件等。濕敏電阻器的靈敏度以相對濕度變化 1%時的電阻值變化率來表示。多數濕敏電阻器的電阻值隨濕度增加而減小，這類濕敏電阻器稱為負特性濕敏電阻器。也有少數濕敏電阻器的電阻值隨濕度增加而增加。濕敏元件主要用于濕度測量和控制，按測濕范圍可分為高濕型、低濕型、全濕型三類。它在氣象、食品、紡織、輕工部門和環(huán)境空調、倉庫設施中獲得廣泛的應用。
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