日本ygkcop表面粒子掃描儀YPI-MN

數(shù)量(臺(tái)) 價(jià)格
1 1.00元/臺(tái)
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  • 發(fā)布日期:2021-03-01
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詳細(xì)參數(shù)
品牌ygkcop型號(hào)YPI-MN
加工定制

產(chǎn)品詳情

日本ygkcop表面粒子掃描儀[YPI-MN]

YPI-MX-ΘDC 

YPI-MN緊湊型高性能晶圓表面檢測(cè)設(shè)備

緊湊而高性能的晶圓表面檢測(cè)設(shè)備。表面粒子掃描儀。
新開(kāi)發(fā)的高性能,節(jié)省空間的類型。
安裝面積為YPI-200的50%。
它是一種緊湊的表面檢查
設(shè)備,可以根據(jù)使用模式進(jìn)行移動(dòng),精度高達(dá)0.15μm,同時(shí)又節(jié)省了空間。
作為可選功能,可以為透明基板安裝前/后分離功能(通過(guò)消除后表面的影響來(lái)執(zhí)行前表面的測(cè)量)。
測(cè)量結(jié)果可以通過(guò)檢測(cè)圖大小,歷史和異物圖像顯示并記錄在附帶的P / C上,并帶有顆粒數(shù)量。 

設(shè)備規(guī)格

工作尺寸200 x 200 mm,φ200mm(可提供φ300mm測(cè)量* 1
最小檢測(cè)到的顆粒尺寸(Si PSL裸顆粒)Si晶圓0.152μm
透明玻璃基板0.3μm(需要可選設(shè)備)
激光/檢測(cè)單元使用405 nm(藍(lán)色激光)和光電倍增管(PMT)
掃描方式XY,螺旋掃描
工作提供方法手動(dòng)的
設(shè)備尺寸(寬x深x高)W548 x D572 x H962(mm)通過(guò)P / C
設(shè)備重量90kg(不含P / C)
電源AC100V 15A
                   * 1當(dāng)支持φ300mm時(shí),深度尺寸會(huì)改變。
 
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