產(chǎn)品詳情
日本ygkcop表面粒子掃描儀[YPI-MN]
YPI-MX-ΘDC
YPI-MN緊湊型高性能晶圓表面檢測(cè)設(shè)備

新開(kāi)發(fā)的高性能,節(jié)省空間的類型。
安裝面積為YPI-200的50%。
它是一種緊湊的表面檢查
設(shè)備,可以根據(jù)使用模式進(jìn)行移動(dòng),精度高達(dá)0.15μm,同時(shí)又節(jié)省了空間。
作為可選功能,可以為透明基板安裝前/后分離功能(通過(guò)消除后表面的影響來(lái)執(zhí)行前表面的測(cè)量)。
測(cè)量結(jié)果可以通過(guò)檢測(cè)圖大小,歷史和異物圖像顯示并記錄在附帶的P / C上,并帶有顆粒數(shù)量。
設(shè)備規(guī)格
透明玻璃基板0.3μm(需要可選設(shè)備)
* 1當(dāng)支持φ300mm時(shí),深度尺寸會(huì)改變。


